特許6869887基板保持装置

発明の名称　基板保持装置

出願人　アイクストロン、エスイー　（識別番号 502010251）

　　　　特許公開件数ランキング 3969 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1795 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6869887

公報発行日　2021年5月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6869887

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