特許6872374圧電性ウェハの表裏判定装置及び面取り装置

発明の名称　圧電性ウェハの表裏判定装置及び面取り装置

出願人　住友金属鉱山株式会社　（識別番号 183303）

　　　　特許公開件数ランキング 241 位（131件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 116 位（226件）（共同出願を含む）

出願人　ダイトロン株式会社　（識別番号 518232168）

　　　　特許公開件数ランキング 3836 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6872374

公報発行日　2021年5月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6872374

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