特許6874584感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、積層体、及びパターン形成方法

発明の名称　感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、積層体、及びパターン形成方法

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 57 位（158件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 62 位（129件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6874584

公報発行日　2021年5月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6874584

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