特許第6875846号(P6875846)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの特許一覧

特許6875846特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー素子