特許第6879915号(P6879915)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6879915窒化アルミニウム（ＡＬＮ）ＰＶＤプロセスのためのガス冷却型最小接触面積（ＭＣＡ）静電チャック（ＥＳＣ）
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