特許第6880078号(P6880078)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6880078半導体ウェハを保持するためのサセプタ、半導体ウェハの表面上にエピタキシャル層を堆積する方法、およびエピタキシャル層を有する半導体ウェハ
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  • 特許6880078-半導体ウェハを保持するためのサセプタ、半導体ウェハの表面上にエピタキシャル層を堆積する方法、およびエピタキシャル層を有する半導体ウェハ 図000002
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