特許 6885732 研削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6885732

(24)【登録日】2021年5月17日

(45)【発行日】2021年6月16日

(54)【発明の名称】研削装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20210603BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20210603BHJP

   B23Q 1/01 20060101ALI20210603BHJP

   B23Q 1/38 20060101ALI20210603BHJP

   F16C 32/06 20060101ALI20210603BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/304 631

   B24B41/06 L

   B23Q1/01 T

   B23Q1/38 B

   H01L21/304 622K

   F16C32/06 C

【請求項の数】1

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-5927(P2017-5927)

(22)【出願日】2017年1月17日

(65)【公開番号】特開2018-117013(P2018-117013A)

(43)【公開日】2018年7月26日

【審査請求日】2019年11月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(72)【発明者】

【氏名】桑名 一孝

【審査官】 内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−０１５５７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−３２６２０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２４６６２８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２３Ｑ １／０１

Ｂ２３Ｑ １／３８

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｆ１６Ｃ ３２／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段が保持したウエーハを研削砥石の研削面で研削する研削手段とを備えた研削装置であって、
該保持手段は、
保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを装着する基台と、該基台の中心から垂下する回転軸と、該回転軸の側面に隙間を配して囲繞し該隙間に液体を流通させラジアルベアリングとスラストベアリングとを形成するケーシングと、を備え、
該スラストベアリングは、軸方向に離間して配置された上側のスラストベアリングと下側のスラストベアリングとを有し、
該ラジアルベアリングは、該上側のスラストベアリングの内周端の該隙間と該下側のスラストベアリングの内周端の該隙間とを連ねることで形成され、
該スラストベアリングは、該回転軸の中心を中心に等角度で同一面積の３つの液体噴出部と、該３つの液体噴出部から噴出する液体の流量バランスを調整する調整手段とを備え、
該ラジアルベアリングの内周面に、該回転軸の側面に液体を噴出する他の液体噴出部を備え、
該ケーシングの下部には、該液体噴出部から噴出された液体を受け止める桶部と、該桶部で受け止めた液体を排水する排水口と、が設けられ、
該調整手段による流量バランス調整により該回転軸の傾きを調整して研削する研削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウエーハを研削する研削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

研削装置は、チャックテーブルに保持されたウエーハに対して、研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転接触させることでウエーハを所望の厚みまで研削している。チャックテーブルはチャック軸ユニットに下方から支持されており、チャック軸ユニットによって中心軸回りに回転される。チャック軸ユニットの天板にチャックテーブルが装着され、天板から下方に延びる回転軸がメカニカルベアリングやエアベアリングで回転可能に支持されている。また、回転軸にはベルトを介してモータが連結されており、モータの駆動力が回転軸に伝達されることでチャックテーブルが回転される。

【0003】

ウエーハを均等な厚みに研削するためには、ウエーハの回転中心を研削砥石の旋回軌道が通過するような位置関係にチャックテーブルに研削ホイールが位置付けられ、さらにチャックテーブルの保持面に対して研削砥石の研削面を平行にする必要がある。従来、このチャックテーブルと研削砥石を平行にするために、チャックテーブル又は研削ホイールを傾ける傾き調整機構が設けられている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の傾き調整機構は、チャックテーブルが一対の可動部と１つの固定部の３点で支持されており、一対の可動部の可動によって固定部を支点にチャックテーブルが傾けられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５−１５０６４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の傾き調整機構では、一対の可動部及び固定部等の機械的な構造を備えていたため、研削装置の装置構成が複雑になるという問題があった。

【0006】

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、簡易な装置構成でチャックテーブルの傾きを適切に調整することができる研削装置を提供することを目的の１つとする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様の研削装置は、ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段が保持したウエーハを研削砥石の研削面で研削する研削手段とを備えた研削装置であって、該保持手段は、保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを装着する基台と、該基台の中心から垂下する回転軸と、該回転軸の側面に隙間を配して囲繞し該隙間に液体を流通させラジアルベアリングとスラストベアリングとを形成するケーシングと、を備え、該スラストベアリングは、該回転軸の中心を中心に等角度で同一面積の３つの液体噴出部と、該３つの液体噴出部から噴出する液体の流量バランスを調整する調整手段とを備え、該調整手段による流量バランス調整により該回転軸の傾きを調整して研削する。

【0008】

この構成によれば、回転軸とケーシングの隙間に液体が流通されてラジアルベアリングとスラストベアリングが形成される。回転軸が液体を介してケーシングに浮動支持されるため、チャックテーブルに作用した加工負荷による回転軸の傾き変化が抑えられる。また、スラストベアリングの３箇所の液体噴出部の流量バランスによって回転軸の傾きが調整される。スラストベアリング内の液体の流量バランスでチャックテーブルが傾き調整されるため、機械的な構造が不要になって装置構成が簡略化される。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、スラストベアリング内の３箇所の液体噴出部による液体の流量バランスを可変することで、簡易な装置構成でチャックテーブルの傾きを適切に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本実施の形態の研削装置の斜視図である。

【図2】本実施の形態の保持手段の模式図である。

【図3】本実施の形態の液体の供給経路の模式図である。

【図4】本実施の形態の調整手段の流量バランスの調整動作の説明図である。

【図5】本実施の形態のチャックテーブルの傾き調整の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の研削装置について説明する。図１は、本実施の形態の研削装置の斜視図である。なお、以下の説明では、研削装置は、図１に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。

【0012】

図１に示すように、研削装置１は、多数の研削砥石４５を環状に並べた小型の研削ホイール４４を用いて、チャックテーブル２１（保持手段２０）上のウエーハＷを研削するように構成されている。ウエーハＷは保護テープＴが貼着された状態で研削装置１に搬入され、保護テープＴを介してチャックテーブル２１に保持される。なお、ウエーハＷは、研削対象となる板状部材であればよく、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウエーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の光デバイスウエーハでもよいし、デバイスパターン形成前のアズスライスウエーハでもよい。

【0013】

研削装置１の基台１０の上面には、Ｘ軸方向に延在する長方形状の開口が形成され、この開口はチャックテーブル２１と共に移動可能な移動板１１及び蛇腹状の防水カバー１２に覆われている。防水カバー１２の下方には、チャックテーブル２１をＸ軸方向に進退移動させるボールねじ式の進退手段（不図示）が設けられている。チャックテーブル２１は、回転手段（不図示）に連結されており、回転手段の駆動によって回転可能に構成されている。また、チャックテーブル２１の上面には、多穴質のポーラスセラミック材によってウエーハＷを吸引保持する保持面２２が形成されている。

【0014】

基台１０上のコラム１５には、研削手段４０をチャックテーブル２１の保持面２２に対してＺ軸方向に研削送りする研削送り手段３０が設けられている。研削送り手段３０は、コラム１５に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル３２とを有している。Ｚ軸テーブル３２の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ３３が螺合されている。ボールネジ３３の一端部に連結された駆動モータ３４によりボールネジ３３が回転駆動されることで、研削手段４０がガイドレール３１に沿ってＺ軸方向に移動される。

【0015】

研削手段４０は、ハウジング３９を介してＺ軸テーブル３２の前面に取り付けられており、スピンドルユニット４１で研削ホイール４４を中心軸回りに回転させるように構成されている。スピンドルユニット４１は、いわゆるエアスピンドルであり、ケーシング４２の内側で高圧エアを介してスピンドル（不図示）を回転可能に支持している。スピンドルの先端にはマウント４３が連結されており、マウント４３には多数の研削砥石４５が環状に配設された研削ホイール４４が装着されている。研削砥石４５は、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めて形成されている。

【0016】

また、研削装置１には、装置各部を統括制御する制御手段４９が設けられている。制御手段４９は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。研削装置１では、研削ホイール４４の旋回軌道がチャックテーブル２１の中心に位置合わせされ、各研削砥石４５の研削面４５ａとチャックテーブル２１の保持面２２とが平行に調整されることで、チャックテーブル２１上のウエーハＷ全体が均一に研削される。

【0017】

ところで、通常の研削装置のチャックテーブルでは、チャックテーブルから下方に延びる回転軸がエアベアリングを介してケーシングに回転可能に浮動支持されている。研削加工時には、チャックテーブル上のウエーハに研削ホイールが押し当てられて加工負荷が生じるため、加工負荷に負けないように回転軸とケーシングの隙間を狭めてエアの圧力が高められている。このような加工負荷によるチャックテーブルの傾きを抑える一方で、研削装置にはチャックテーブルの傾きを調整する機構が設けられている。しかしながら、機械的な構造から成る一般的な傾き調整機構では、研削装置の装置構成が複雑になるという不具合がある。

【0018】

そこで、本実施の形態の保持手段２０（図２参照）では、エアベアリングの代わりに液体でベアリングを形成して回転軸５２とケーシング６１の隙間を広げ、この広がった隙間を利用してケーシング６１に対して回転軸５２を傾けたまま浮動支持するようにしている。これにより、回転軸５２とケーシング６１の隙間が広がっても、隙間が液体で満たされているため、加工負荷によるチャックテーブル２１の傾き変化が抑えられる。さらに、回転軸５２とケーシング６１の隙間を使って、ケーシング６１に対して回転軸５２を傾けるようにしたことで、機械的な構造を用いることなく簡易な構成でチャックテーブル２１の傾きを調整することができる。

【0019】

以下、図２から図４を参照して、本実施の形態の保持手段について説明する。図２は、本実施の形態の保持手段の模式図である。図３は、本実施の形態の液体の供給経路の模式図である。図４は、本実施の形態の調整手段の流量バランスの調整動作の模式図である。

【0020】

図２に示すように、保持手段２０の基台５１上には、円錐状の保持面２２を有するチャックテーブル２１が装着されている。基台５１の中心には回転軸５２が垂下しており、この回転軸５２の側面に隙間を配して囲繞するようにケーシング６１が設けられている。回転軸５２の上端部分及び下端部分には円板部５３、５４が形成されており、ケーシング６１には円板部５３、５４の間に入り込むように環状部６２が形成されている。ケーシング６１の環状部６２には液体の流路が形成されており、環状部６２から回転軸５２の外面に向けて液体が噴出されることで、環状部６２と回転軸５２の隙間が液体で満たされている。

【0021】

この場合、環状部６２の内周面には回転軸５２の側面に液体を噴出する３つ（２箇所のみ図示）の液体噴出部６３、環状部６２の上下面には円板部５３、５４に液体を噴出する３つ（２箇所のみ図示）の液体噴出部６４、６５が形成されている。各液体噴出部６３は環状部６２内の流路６６を通じて液体供給源７１に接続され、各液体噴出部６４、６５は環状部６２内の流路６７、６８を通じて液体供給源７２に接続されている。液体供給源７１、７２から供給された液体は、環状部６２内の流路６６、６７、６８を通って液体噴出部６３、６４、６５から回転軸５２とケーシング６１の隙間に流れ込む。

【0022】

環状部６２の液体噴出部６３、６４、６５から回転軸５２の外面に液体が噴出されることで、回転軸５２がケーシング６１に対して液体を介して浮動支持される。これにより、ケーシング６１にラジアルベアリングとスラストベアリングが形成され、ラジアルベアリングとスラストベアリングによって径方向及び軸方向で回転軸５２の外面が回転可能に支持される。このとき、スラストベアリングによって広い範囲で回転軸５２の円板部５３、５４が環状部６２に浮動支持されているため、回転軸５２に対してスラスト方向に作用する加工負荷が適度に分散されている。

【0023】

また、スラストベアリングには、後述する調整手段８１によって各液体噴出部６４、６５から流量バランスが調整された液体が噴出されている。環状部６２の上下面の液体噴出部６４、６５の流量バランスが調整されることで、上側及び下側のスラストベアリングのうち一方の隙間が広げられると共に他方の隙間が狭められる。流量バランスの調整がスラストベアリングの周方向の３箇所の液体噴出部６４、６５で実施されることで、回転軸５２を介してチャックテーブル２１の傾きが調整される。なお、調整手段８１及び液体の供給経路の詳細については後述する。

【0024】

ケーシング６１の下部は回転軸５２と環状部６２の隙間から排出された液体を受ける桶部７３になっており、桶部７３の底面には液体を外部に排水する排水口７４が形成されている。また、回転軸５２の下端にはロータリジョイント７５を介してモータ７６が取り付けられており、モータ７６によって回転軸５２を介してチャックテーブル２１が回転される。チャックテーブル２１の保持面２２は、基台５１、回転軸５２、ロータリジョイント７５内の流路７７を通じて吸引源７８に接続されている。吸引源７８の吸引力によって保持面２２が負圧になることでチャックテーブル２１にウエーハＷが保持される。

【0025】

図３に示すように、上側のスラストベアリング及び下側のスラストベアリングでは、液体噴出部６４ａ−６４ｃ、６５ａ−６５ｃが回転軸５２の中心を中心に等角度で同一面積の扇状に形成されている。各液体噴出部６４ａ−６４ｃ、６５ａ−６５ｃは、それぞれポーラス材で形成されており、円板部５３、５４（図３参照）に対して全体に亘って均一に液体を噴き当てることができるように構成されている。上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃにはそれぞれ流路６７ａ−６７ｃを通じて各調整手段８１ａ−８１ｃの一方の流出口が接続され、下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃにはそれぞれ流路６８ａ−６８ｃを通じて各調整手段８１ａ−８１ｃの他方の流出口が接続される。

【0026】

各調整手段８１ａ−８１ｃの流入口には液体供給源７２が接続されており、液体供給源７２からの液体が各調整手段８１ａ−８１ｃで流量調整される。上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃよりも下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃからの流量が増加すると、上側のスラストベアリングよりも下側のスラストベアリングの隙間が広げられる。一方で、上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃよりも下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃの流量が減少すると、上側のスラストベアリングよりも下側のスラストベアリングの隙間が狭められる。上下のスラストベアリングの隙間調整によって回転軸５２を介してチャックテーブル２１（図２参照）が傾けられる。

【0027】

例えば、各調整手段８１ａ−８１ｃで上側の液体噴出部６４ａの流量が増加して液体噴出部６４ｂ、６４ｃの流量が減少するように調整すると、下側の液体噴出部６５ａの流量が減少して液体噴出部６５ｂ、６５ｃの流量が増加する。このため、矢印Ａ側では上側のスラストベアリングの隙間が広がって下側のスラストベアリングの隙間が狭められ、矢印Ｂ、Ｃ側では上側のスラストベアリングの隙間が狭まって下側のスラストベアリングの隙間が広げられる。これにより、チャックテーブル２１の矢印Ａ側が低くなるように、回転軸５２の傾きが調整される。

【0028】

図４Ａに示すように、各調整手段８１は、筒状部８２の内側の流体室８３内で調整棒８４を摺動させることで、液体供給源７２からの液体を上下のスラストベアリングに配分するように形成されている。筒状部８２には中央には液体供給源７２に連なる流入口８５が形成され、流入口８５よりも一端寄りに上側のスラストベアリングに連なる流出口８６、流入口８５よりも他端寄りに下側のスラストベアリングに連なる流出口８７が形成されている。また、調整棒８４は、中央の大径部９１を小径部９２、９３で挟んだ段付きの円柱状に形成され、小径部９２、９３の両端に流体室８３を液密に仕切るパッキン９４、９５が設けられている。

【0029】

大径部９１の外周面と筒状部８２の内周面の間には、流入口８５に連なる隙間９６が狭く空けられており、小径部９２、９３の外周面と筒状部８２の内周面の間には、流出口８６、８７に連なる隙間９７、９８が広く空けられている。これら隙間９６、９７、９８は液体の流路を形成しており、流路の広さによって液体の流量が調整される。この場合、調整棒８４（小径部９２）の一端側に連結したアクチュエータ９９によって流体室８３内で調整棒８４が摺動され、流入口８５と流出口８６、８７を連ねる流路の広さが可変される。これにより、流入口８５から流出口８６、８７に向かう流路の広さに応じて液体の流量が配分される。

【0030】

アクチュエータ９９で調整棒８４が流体室８３の中央に位置付けられる場合には、流入口８５に調整棒８４の大径部９１の中心位置が合わせられている。このため、流入口８５から各流出口８６、８７に向かう流路に、筒状部８２の内周面と大径部９１の外周面の狭い隙間９６が均等に用いられる。流出口８６側の流路と流出口８７側の流路の流路抵抗が均等になるため、流入口８５から流出口８６、８７に配分される液体の流量が同一になるように流量バランスが調整される。これにより、上側のスラストベアリングと下側のスラストベアリングに対して液体が同一の流量で供給される。

【0031】

図４Ｂに示すように、アクチュエータ９９で調整棒８４が流体室８３の一端側に位置付けられる場合には、流入口８５に調整棒８４の大径部９１の他端側が合わせられている。このため、主に流入口８５から流出口８６に向かう流路に、筒状部８２の内周面と大径部９１の外周面の狭い隙間９６が用いられる。流出口８６側の流路が流出口８７側の流路よりも流路抵抗が大きくなるため、流入口８５から流出口８６への液体の流量よりも、流入口８５から流出口８７への液体の流量が多くなるように流量バランスが調整される。これにより、上側のスラストベアリングよりも下側のスラストベアリングに多くの液体が供給される。

【0032】

図４Ｃに示すように、アクチュエータ９９で調整棒８４が流体室８３の他端側に位置付けられる場合には、流入口８５に調整棒８４の大径部９１の一端側が合わせられている。このため、主に流入口８５から流出口８７に向かう流路に、筒状部８２の内周面と大径部９１の外周面の狭い隙間９６が用いられる。流出口８７側の流路が流出口８６側の流路よりも流路抵抗が大きくなるため、流入口８５から流出口８７への液体の流量よりも、流入口８５から流出口８６への液体の流量が多くなるように流量バランスが調整される。これにより、上側のスラストベアリングに下側のスラストベアリングよりも多くの液体が供給される。

【0033】

続いて、図５を参照して、チャックテーブルの傾き調整について説明する。図５は、本実施の形態のチャックテーブルの傾き調整の説明図である。なお、図５においては、説明の便宜上、２つの調整手段だけを図示している。

【0034】

図５Ａに示すように、調整手段８１ａ−８１ｃで上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃ及び下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃから噴出する液体の流量バランスが均一に調整されている。上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃ及び下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃから同量の液体が噴射されているため、上下のスラストベアリングの隙間が同じ大きさに調整されてケーシング６１に対して回転軸５２が直立姿勢で支持される。この場合、チャックテーブル２１の保持面２２が円錐状に形成されているため、研削ホイール４４の研削面４５ａに対してチャックテーブル２１の保持面２２が傾斜している。

【0035】

図５Ｂに示すように、調整手段８１ａ−８１ｃで上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃ及び下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃから噴出する液体の流量バランスが可変され、研削ホイール４４の研削面４５ａに合わせてチャックテーブル２１が傾けられる。例えば、調整手段８１ａで上側の液体噴出部６４ａから噴出する液体の流量が、下側の液体噴出部６５ａから噴出する液体の流量よりも多くなるように流量バランスが調整される。また、調整手段８１ｂ、８１ｃで上側の液体噴出部６４ｂ、６４ｃから噴出する液体の流量が、下側の液体噴出部６５ｂ、６５ｃから噴出する液体の流量よりも少なくなるように流量バランスが調整される。

【0036】

保持手段２０の図示右側では上側のスラストベアリングの隙間が下側のスラストベアリングの隙間よりも広がり、保持手段２０の図示左側では上側のスラストベアリングの隙間が下側のスラストベアリングの隙間よりも狭くなる。これにより、研削ホイール４４の研削面４５ａに対してチャックテーブル２１の保持面２２の傾斜（半径領域）が平行になるように角度θだけ回転軸５２が傾けられる。このとき、液体の流通によってスラストベアリングが形成されるため、ウエーハＷとしてサファイア等の硬質ワークを研削する時の研削加工負荷にスラストベアリングが押し負けることがない。そのため、ウエーハの径方向の厚み差が発生しない。このようにして、調整手段８１ａ−８１ｃによる上側の液体噴出部６４ａ−６４ｃ及び下側の液体噴出部６５ａ−６５ｃに対する流量バランスの調整によって、回転軸５２と共にチャックテーブル２１の傾きが調整される。

【0037】

ここで、上側のスラストベアリングと下側のスラストベアリングを構成する液体の流量バランスによって調整される回転軸５２の傾き調整は、研削したウエーハの径方向の厚み変化傾向を参考に調整される。例えば、ウエーハの中心が薄く外周に至ほど厚く研削されたら、その研削結果をもとに、保持面２２の外周部分を研削面４５ａに近づける方向に回転軸５２の傾きを調整して研削されたウエーハの径方向での厚み差がなくなるようにする。

【0038】

以上のように、本実施の形態の研削装置１では、回転軸５２とケーシング６１の隙間に液体が流通されてラジアルベアリングとスラストベアリングが形成される。回転軸５２が液体を介してケーシング６１に浮動支持されるため、チャックテーブル２１に作用した加工負荷による回転軸５２の傾きの変化が抑えられる。また、上側のスラストベアリングの液体噴出部６４ａ−６４ｃと下側のスラストベアリングの液体噴出部６５ａ−６５ｃの流量バランスによって回転軸５２の傾きが調整される。スラストベアリング内の液体の流量バランスでチャックテーブル２１が傾き調整されるため、機械的な構造が不要になって装置構成が簡略化される。

【0039】

なお、本実施の形態では、３つの調整手段にアクチュエータを設けて、各調整手段で個々に流量バランスを調整する構成にしたが、この構成に限定されない。調整手段は、３つの液体噴出部から噴出する液体の流量バランスを調整可能な構成であればよく、例えば、一部の調整手段でのみ調整棒がアクチュエータで摺動され、他の調整手段では調整棒が自由に摺動可能に構成されていてもよい。この場合、３つの調整手段が流路を介して連結されているため、一部の調整手段のアクチュエータによって調整棒を摺動させることで、他の調整手段の調整棒が連れ動きされる。また、アクチュエータの代わりにハンドルを備え、ハンドルを回転させ調整棒が摺動される構成としてもよい。

【0040】

また、本実施の形態では、研削装置の保持手段について説明したが、この構成に限定されない。研磨装置の保持手段も同じように構成されてもよく、保持手段で保持されたウエーハを研磨手段の研磨パッドで研磨してもよい。すなわち、本実施の形態において研削とは研磨を含む概念である。研削加工、研磨加工においてウエーハに加工熱が伝達（蓄熱）され、ウエーハに伝達された加工熱はウエーハを保持するチャックテーブルに伝達（蓄熱）され、チャックテーブルを変形させウエーハの厚みばらつきを発生される。本発明のベアリングには液体を流通させているのでエアを流通させるより冷却効果が高く、チャックテーブルが冷却され変形を抑えることができる。

【0041】

また、本実施の形態では、液体噴出部がポーラス材によって形成される構成にしたが、この構成に限定されない。液体噴出部は液体を均一に噴出可能に形成されていればよく、例えば無数の小孔によって形成されていてもよい。

【0042】

また、本実施の形態では、筒状部の流体室で調整棒を摺動させることで、流量バランスを調整する構成にしたが、この構成に限定されない。調整手段は、液体の流量バランスを調整可能に構成されていれば、どのように構成されていてもよい。

【0043】

また、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

【0044】

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

【0045】

また、本実施の形態では、本発明を研削装置に適用した構成について説明したが、簡易な装置構成でテーブルの傾きを適切に調整することができる他の装置に適用することも可能である。

【産業上の利用可能性】

【0046】

以上説明したように、本発明は、簡易な装置構成でチャックテーブルの傾きを適切に調整することができるという効果を有し、特に、ウエーハを研削する研削装置に有用である。

【符号の説明】

【0047】

１ 研削装置
２０ 保持手段
２１ チャックテーブル
２２ 保持面
４０ 研削手段
４５ 研削砥石
５１ 基台
５２ 回転軸
６１ ケーシング
６４、６５ 液体噴出部
８１ 調整手段
Ｗ ウエーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】