特許6886476物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置

発明の名称　物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 492 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6886476

公報発行日　2021年6月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6886476

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