特許 6916623 モータ取付用ブラケット、モータ取付構造、基板処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6916623

(24)【登録日】2021年7月20日

(45)【発行日】2021年8月11日

(54)【発明の名称】モータ取付用ブラケット、モータ取付構造、基板処理装置

(51)【国際特許分類】

   H02K 5/20 20060101AFI20210729BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20210729BHJP

   H02K 9/19 20060101ALI20210729BHJP

【ＦＩ】

   H02K5/20

   H01L21/304 644C

   H01L21/304 648Z

   H02K9/19 A

【請求項の数】5

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2017-14291(P2017-14291)

(22)【出願日】2017年1月30日

(65)【公開番号】特開2018-125914(P2018-125914A)

(43)【公開日】2018年8月9日

【審査請求日】2019年10月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100149548

【弁理士】

【氏名又は名称】松沼 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100169764

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 雄一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100167553

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 久典

(74)【代理人】

【識別番号】100189326

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 崇暢

(72)【発明者】

【氏名】田中 英明

【審査官】 佐藤 彰洋

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−３０４５４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２９７４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−３０９４２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１９６０５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−１４９２４３（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０２Ｋ ５／００−５／２６

Ｈ０２Ｋ ９／００−９／２８

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

モータの出力軸が挿通される出力軸挿通孔が貫通され前記出力軸挿通孔に前記出力軸を挿入してモータ収容体の内部空間において前記モータが固定される板状のモータマウント部を有し、前記モータマウント部が形成された金属製部材に冷却用流体が流通される流体通路が形成されており、前記冷却用流体は流体送給管路を介して前記モータ収容体の外部から供給されるとともに流体排出管路を介して前記モータ収容体の外部へと排出されることを特徴とするモータ取付用ブラケット。

【請求項2】

請求項１に記載のモータ取付用ブラケットにおいて、
前記モータマウント部から延出され前記流体通路が形成された板状の冷却部を有することを特徴とするモータ取付用ブラケット。

【請求項3】

請求項２に記載のモータ取付用ブラケットにおいて、
前記冷却部は、前記モータマウント部から前記モータマウント部に垂直に延出されていることを特徴とするモータ取付用ブラケット。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか１項に記載のモータ取付用ブラケットの前記モータマウント部が支持体に固定されて前記支持体表面に沿って配置され、前記モータマウント部の前記支持体とは反対の側に前記モータが固定され、前記モータの出力軸が前記モータマウント部の前記出力軸挿通孔を介して前記支持体に形成された軸挿入孔に挿入されていることを特徴とするモータ取付構造。

【請求項5】

基板を研磨または洗浄する処理室内にモータ収容体を有し、
前記モータ収容体内に請求項１〜３のいずれか１項に記載のモータ取付用ブラケットと、前記モータ取付用ブラケットの前記モータマウント部に固定された前記モータとが収容され、
前記モータ取付用ブラケットの前記モータマウント部は前記モータ収容体に設けられたモータ取付壁に固定して前記モータ取付壁に沿って配置され、前記モータは前記モータマウント部の前記モータ取付壁とは反対の側に固定され、前記モータの出力軸が前記モータマウント部の前記出力軸挿通孔及び前記モータ取付壁に貫通形成された軸挿入孔に挿入されていることを特徴とする基板処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、モータの支持部材への取り付けに使用されるモータ取付用ブラケット、それを用いたモータ取付構造、基板処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェハ等の基板の研磨あるいは洗浄を行なう基板処理装置内のモータ設置場所は、防水性を考慮した密閉構造であることが多い。
例えば、基板の表面をロール洗浄部材でスクラブ洗浄する基板洗浄装置にあっては、洗浄ロール、洗浄用シートが設けられた洗浄用回転体といった洗浄用部材をモータ（電動モータ）の駆動力によって回転駆動させ基板表面に押し付けて洗浄を行なう（例えば特許文献１〜３）。洗浄用部材を回転駆動させるモータは、防水性を考慮した密閉構造の筐体等の内部に設置されることが多い。
密閉構造の設置場所に設置されたモータのその駆動による発熱の冷却は、モータ周辺の部品あるいは空間（空気）に自然放出する放冷が一般的である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２−０６６８９９号公報

【特許文献2】特開２００２−０６６４６６号公報

【特許文献3】特開平８−２４３５１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、密閉構造の設置場所に設置されたモータの熱は放出されにくく、モータに掛かる負荷とその連続使用時間によってはモータの表面温度が１００℃を超え、モータ自体（モータに設けられたエンコーダ等を含む）が破損する可能性があった。
さらには、モータからの熱がモータの周辺部品に悪影響を及ぼす場合があり、例えば塩化ビニル材（一般的な耐熱温度は６０℃）の熱変形を生じるケースが生じていた。

【0005】

これに鑑みて、例えば、モータの周囲への、水等の冷却用流体が通される冷却チューブの巻き付けも考えられるが、モータの周囲の空間は狭く、冷却チューブの巻き付けが不可能なケースが多い。このため、適用可能な場合が限られる。
また、例えば、特開２０１５−５７０１４号公報に開示されるように防水性と放熱を実現する技術の提案もあるが、構造が複雑で、大幅なコストアップを余儀なくされる。

【0006】

本発明の幾つかの実施形態が解決しようとする課題は、省スペース、低コストでモータを冷却できるモータ取付用ブラケット、それを用いたモータ取付構造、基板処理装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明の一態様に係るモータ取付用ブラケットは、モータの出力軸が挿通される出力軸挿通孔が貫通され前記出力軸挿通孔に前記出力軸を挿入した前記モータが固定される板状のモータマウント部を有し、前記モータマウント部が形成された金属製部材に冷却用流体が流通される流体通路が形成されている。
（２）上記（１）に記載されたモータ取付用ブラケットは、前記モータマウント部から延出され前記流体通路が形成された板状の冷却部を有していても良い。
（３）上記（２）に記載されたモータ取付用ブラケットにおいて、前記冷却部は、前記モータマウント部から前記モータマウント部に垂直に延出されていても良い。

【0008】

（４）本発明の一態様に係るモータ取付構造は、上記（１）〜（３）のいずれか１つに記載のモータ取付用ブラケットの前記モータマウント部が支持体に固定されて前記支持体表面に沿って配置され、前記モータマウント部の前記支持体とは反対の側に前記モータが固定され、前記モータの出力軸が前記モータマウント部の前記出力軸挿通孔を介して前記支持体に形成された軸挿入孔に挿入されている。

【0009】

（５）本発明の一態様に係る基板処理装置は、基板を研磨または洗浄する処理室内にモータ収容体を有し、前記モータ収容体内に上記（１）〜（３）のいずれか１つに記載のモータ取付用ブラケットと、前記モータ取付用ブラケットの前記モータマウント部に固定された前記モータとが収容され、前記モータ取付用ブラケットの前記モータマウント部は前記モータ収容体に設けられたモータ取付壁に固定して前記モータ取付壁に沿って配置され、前記モータは前記モータマウント部の前記モータ取付壁とは反対の側に固定され、前記モータの出力軸が前記モータマウント部の前記出力軸挿通孔及び前記モータ取付壁に貫通形成された軸挿入孔に挿入されている。

【発明の効果】

【0010】

本発明の幾つかの実施形態によれば、機器構成部材等の支持体に固定したモータ取付用ブラケットのモータマウント部にモータを固定することで、モータをモータマウント部を介して支持体に固定できる。また、モータ取付用ブラケットは、冷却部の流体通路に冷却用流体を流通させることで、回転駆動によって発熱したモータをモータマウント部を介して冷却できる。
モータ取付用ブラケットは、支持体とモータとの間にモータマウント部を介在させるだけでモータマウント部に固定されたモータを冷却でき、モータの熱が支持体に伝わることを防ぐことができる。モータ取付用ブラケットは、省スペースで設置でき、狭隘なモータ設置場所（モータ設置スペース）への設置を容易に実現できる。また、モータ取付用ブラケットは、構造が単純であり低コスト化が容易であり、モータの冷却を低コストで実現できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に係る１実施形態の基板処理装置（基板洗浄装置）の構造を示す正断面図である。

【図2】図１の基板処理装置のモータ取付用ブラケット、モータ取付構造を説明する図である。

【図3】凹形のモータ設置スペースにモータ取付用ブラケット及びモータを収容した例を示す図である。

【図4】モータ取付用ブラケットのモータマウント部及びモータをモータ設置スペースに収容し、モータ取付用ブラケットの冷却部をモータ設置スペース外側に配置した例を示す図である。

【図5】モータ取付用ブラケットの変形例を説明する図であって、モータマウント部からその面方向に延出する冷却部を有する構成のモータ取付用ブラケットの一例を示す。

【図6】モータ取付用ブラケットの変形例を説明する図であって、モータマウント部に流体通路が形成された構成のモータ取付用ブラケットの一例を示す。

【図7】基板処理装置の別実施形態を説明する図であって、処理室筐体外に配置したモータをモータ取付用ブラケットを介して上部洗浄ロールを支持する上部ロールホルダに固定した構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の幾つかの実施形態のモータ取付用ブラケット、それを用いたモータ取付構造、基板処理装置について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る実施形態のモータ取付用ブラケット、それを用いたモータ取付構造を適用した基板処理装置１０の一例を示す。
図１に例示した基板処理装置１０は、半導体ウェハ等の半導体基板の表面を洗浄する基板洗浄装置である。以下、図１の基板処理装置１０を基板洗浄装置とも言う。

【0013】

図１に例示した基板洗浄装置１０は、半導体ウェハ等の半導体基板を化学機械研磨（Chemical Mechanical Polishing:ＣＭＰ）、洗浄、乾燥する装置（以下、ＣＭＰ装置、とも言う）の一部である。
但し、基板洗浄装置１０は、ＣＭＰ装置の一部である構成に限定されず、研磨を伴わない半導体基板製造プロセスにおける基板洗浄に使用されるものであっても良い。

【0014】

図１の基板洗浄装置１０は、処理室（洗浄室）を形成する筐体２０（以下、処理室筐体、とも言う）を有する。基板洗浄装置１０は、処理室筐体２０内に、上部洗浄ロール３１を軸回り回転自在に支持した上部ロールホルダ３２と、下部洗浄ロール４１を上部洗浄ロール３１の下方に軸回り回転自在に支持する下部ロールホルダ４２とを有する。
また、基板洗浄装置１０は、上部ロールホルダ３２を昇降させる上部ホルダ昇降装置５０、及び下部ロールホルダ４２を昇降させる下部ホルダ昇降装置６０も有している。

【0015】

上部ホルダ昇降装置５０は、処理室筐体２０外側に配置された昇降装置本体５１と、昇降装置本体５１によって昇降される昇降アーム５２とを有する。昇降アーム５２は、処理室筐体２０上部に形成された開口部（図示略）に通され、処理室筐体２０内に配置された先端部に上部ロールホルダ３２を支持している。上部ホルダ昇降装置５０は、昇降装置本体５１によって昇降アーム５２を昇降させることで、上部ロールホルダ３２及び上部洗浄ロール３１を昇降させる。
なお、処理室筐体２０上部には、昇降アーム５２の上下（図１上下）方向への移動時に処理室筐体２０上部の開口部を開放し、昇降アーム５２の停止時には開口部を閉じるシャッター機構２１が設けられている。

【0016】

下部ホルダ昇降装置６０は、処理室筐体２０下方に配置された昇降装置本体６１と、昇降装置本体６１によって昇降される昇降軸６２とを有する。昇降軸６２は、処理室筐体２０下部に形成された開口部（図示略）に通され、処理室筐体２０内に配置された先端部に下部ロールホルダ４２を支持している。下部ホルダ昇降装置６０は、昇降装置本体６１によって昇降アーム６２を昇降させることで、下部ロールホルダ４２及び下部洗浄ロール４１を昇降させる。
なお、昇降軸６２と、昇降軸６２が通された処理室筐体２０下部の開口部内周との間は、図示略のラビリンス構造によって処理室筐体２０外部への水漏れを防ぎつつ昇降軸６２の円滑昇降を可能としている。

【0017】

上部洗浄ロール３１と下部洗浄ロール４１とは、それぞれ、回転中心軸線が水平（図１左右方向）に延在する向きでロールホルダ（上部ロールホルダ、下部ロールホルダ）に支持されている。上部洗浄ロール３１と下部洗浄ロール４１との間の離隔距離は、上部ホルダ昇降装置５０及び下部ホルダ昇降装置６０の一方または両方の駆動によって変更される。
図１の基板洗浄装置１０は、処理室筐体２０に設けられた図示略の開閉扉を介して処理室筐体２０内に搬入された基板Ｗ（図１では半導体ウェハ）を上部洗浄ロール３１と下部洗浄ロール４１との間に挟み込み、互いに逆向きに軸回り回転させた上部洗浄ロール３１及び下部洗浄ロール４１の外周面をそれぞれ基板Ｗに接触させながら洗浄液を供給し基板Ｗを洗浄する。

【0018】

図１において、上部ロールホルダ３２及び下部ロールホルダ４２はプラスチック製部材である。
上部ロールホルダ３２は、上部ホルダ昇降装置５０の昇降アーム５２先端部に支持されて水平方向に延在するホルダ本体３２ａと、ホルダ本体３２ａの延在方向両端部から下方に突出されたロール支持部３２ｂ１、３２ｂ２とを有する。上部ロールホルダ３２は、ホルダ本体３２ａの延在方向両端部のロール支持部３２ｂ１、３２ｂ２によって、上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａの両端部を軸回り回転自在に支持する。

【0019】

上部ロールホルダ３２のホルダ本体３２ａ（以下、上部ロールホルダ本体、とも言う）はその延在方向に沿って延在する内側空間３２ｃが形成されたハウジングである。上部ロールホルダ本体３２ａはその内側空間３２ｃに上部洗浄ロール３１を回転駆動するためのモータ３３及び後述のモータ取付用ブラケット７０を収容している。

【0020】

なお、処理室筐体２０内に設けられた上部ロールホルダ３２は、基板Ｗ洗浄に伴い飛散する洗浄液に晒される。しかし、上部ロールホルダ３２は、密閉構造により防水性が確保されており、その内側への洗浄液の侵入を防止できる。このため、上部ロールホルダ３２内に収容されたモータ３３が洗浄液によって濡れる心配が無い。

【0021】

以下、一対のロール支持部３２ｂ１、３２ｂ２のうち、図１中符号３２ｂ１のロール支持部を第１ロール支持部、符号３２ｂ２のロール支持部を第２ロール支持部、とも言う。
第２ロール支持部３２ｂ２は、上部ロールホルダ本体３２ａのその延在方向片側に形成されている。また、第２ロール支持部３２ｂ２は、上部ロールホルダ本体３２ａよりも下方に突出する部分（突出支持部３２ｈ）を有し、この突出支持部３２ｈによって上部洗浄ロール３１（具体的にはその中心軸３１ａ）を第１ロール支持部３２ｂ１の反対側から支持している。
第２ロール支持部３２ｂ２の内側には、モータ３３の出力軸３３ａの上部ロールホルダ本体３２ａから突出された端部及び上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａの端部を収容する空間３２ｄ（支持部内側空間）が確保されている。第２ロール支持部３２ｂ２は、支持部内側空間３２ｄが上部ロールホルダ本体３２ａ（具体的には内側空間３２ｃの延在方向片端を塞ぐ壁部３２ｅ）と隣接する形で形成され、上部ロールホルダ３２の一部を形成している。

【0022】

上部ロールホルダ本体３２ａのその延在方向片端の壁部３２ｅは、内側空間３２ｃと支持部内側空間３２ｄとの間を仕切る仕切壁として機能する。以下、壁部３２ｅを仕切壁とも言う。
仕切壁３２ｅは上部ロールホルダ本体３２ａの一部である。
仕切壁３２ｅはプラスチック製の壁部である。

【0023】

図１に例示したモータ取付用ブラケット７０は、上部ロールホルダ本体３２ａの仕切壁３２ｅに固定された板状のモータマウント部７１と、モータマウント部７１の面方向の外周部の一部からモータマウント部７１に垂直に延出する板状の冷却部７２とを有するＬ字板状に形成されている。
モータマウント部７１は、仕切壁３２ｅに固定されて仕切壁３２ｅに沿って配置されている。仕切壁３２ｅに固定されたモータマウント部７１は、具体的には、仕切壁３２ｅの内側空間３２ｃに臨む面（表面）に沿って設けられている。モータマウント部７１はその面方向の外周部を仕切壁３２ｅにボルト固定等によって固定して取り付けられている。

【0024】

モータマウント部７１の面方向中央部には、モータマウント部７１に固定するモータ３３の出力軸３３ａが挿通される出力軸挿通孔７３がモータマウント部７１の厚みを貫通して形成されている。
また、図１において、モータマウント部７１は、出力軸挿通孔７３を、仕切壁３２ｅに貫通形成された軸挿入孔３２ｆに位置合わせし連通させて仕切壁３２ｅに固定されている。

【0025】

モータ３３の出力軸３３ａは、出力軸３３ａの回転力発生用の構成部品を外装ケースに収容した構成のモータ本体３３ｂから突出されている。
モータ３３は、その出力軸３３ａをモータマウント部７１の出力軸挿通孔７３及び仕切壁３２ｅの軸挿入孔３２ｆに挿入、貫通させ、モータ本体３３ｂをモータマウント部７１に固定してモータ取付用ブラケット７０に取り付けられている（モータ取付構造）。モータ３３（具体的にはそのモータ本体３３ｂ）は、モータマウント部７１の仕切壁３２ｅとは反対側の面７４（以下、モータ固定面、とも言う）に固定されている。モータ３３は、モータ取付用ブラケット７０を介して仕切壁３２ｅ（上部ロールホルダ３２）に固定されている。

【0026】

図１に例示した上部ロールホルダ３２は、モータ取付用ブラケット７０が固定される支持体、及びモータ３３を収容するモータ収容体として機能する。
上部ロールホルダ３２の仕切壁３２ｅはモータ取付壁として機能する。

【0027】

図１に示すように、モータ３３の出力軸３３ａは支持部内側空間３２ｄに突出されている。上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａも支持部内側空間３２ｄに突出されている。
モータ３３の出力軸３３ａの支持部内側空間３２ｄに突出された先端部、及び上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａの支持部内側空間３２ｄに突出された先端部には、それぞれプーリ（図示略）が固定されている。モータ３３は、モータ３３の出力軸３３ａに固定されたプーリ及び上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａに固定されたプーリに巻き掛けられたベルト３４を介して上部洗浄ロール３１に回転駆動力を伝達して上部洗浄ロール３１を回転させる。

【0028】

モータ取付用ブラケット７０の冷却部７２は、モータマウント部７１からそのモータ固定面７４側へモータマウント部７１に垂直（モータ固定面７４に垂直）に突出されている。冷却部７２は、モータマウント部７１から、モータマウント部７１のモータ固定面７４に固定されたモータ３３（具体的にはそのモータ本体３３ｂ）に沿って延在配置されている。

【0029】

図２は上部ロールホルダ３２のモータ取付用ブラケット７０付近を示す部分断面拡大図である。
図２に示すように、冷却部７２には、その内部に、冷却用流体（例えば水）が流通される流体通路７５が形成されている。冷却部７２の外側には、流体通路７５に冷却用流体を流入させる流体入口７２ａ、及び流体通路７５に流入させた冷却用流体が流体通路７５から排出される流体出口７２ｂが設けられている。
流体通路７５には、流体入口７２ａに接続された流体送給管路８１を介して流体送給装置（図示略）から冷却用流体が送給される。流体通路７５に送給された冷却用流体は、流体通路７５への冷却用流体の送給継続により、流体通路７５から流体出口７２ｂに接続された流体排出管路８２へ排出される。

【0030】

モータ取付用ブラケット７０の冷却部７２は、流体通路７５への冷却用流体の流通によって冷却される。
モータ取付用ブラケット７０は、その全体が、ステンレス、アルミニウム等の熱伝導性に優れた金属によって形成された金属製部材である。このため、モータ取付用ブラケット７０は、流体通路７５への冷却用流体の流通によって冷却部７２を冷却することでモータマウント部７１及びモータマウント部７１に固定されたモータ３３をも冷却することができる。

【0031】

図１，図２のモータ取付用ブラケット７０の流体通路７５に流通させる冷却用流体は具体的には水である。
流体通路７５に水を流通させるモータ取付用ブラケット７０は耐蝕性の点でステンレス製であることが好適である。
なお、冷却用流体は水以外の液体や気体も採用可能である。

【0032】

図１の基板洗浄装置１０では、流体通路７５から流体排出管路８２へ排出された水を、例えば、基板洗浄装置１０における部材同士の摺動部分に潤滑水として流体排出管路８２から供給する。但し、基板洗浄装置は、流体通路７５から流体排出管路８２へ排出された水は潤滑水として利用しない構成も採用可能である。

【0033】

モータ３３の回転駆動に伴い生じた熱は、モータ３３からモータマウント部７１に伝達される。しかし、モータ取付用ブラケット７０は、流体通路７５への冷却用流体の流通によって冷却部７２を冷却することでモータマウント部７１を冷却できるため、モータマウント部７１の温度上昇を抑えることができる。
その結果、モータ取付用ブラケット７０は、モータマウント部７１を介してモータ３３を冷却でき、モータ３３の温度上昇を抑えることができる。

【0034】

また、モータ取付用ブラケット７０は、モータ３３の熱の仕切壁３２ｅへの伝達、それによる仕切壁３２ｅの温度上昇を抑えることができる。したがって、プラスチック製の仕切壁３２ｅのモータ３３の熱による熱変形を防止できる。

【0035】

図１、図２等に示すように、モータ取付用ブラケット７０は、モータマウント部７１を、その両面の片方を仕切壁３２ｅに直接当接させて仕切壁３２ｅ（モータ取付壁）に固定できる。
モータマウント部７１をその両面の片方を仕切壁３２ｅに直接当接させて仕切壁３２ｅに固定する構成は、例えばモータマウント部７１と仕切壁３２ｅとの間に断熱材等の介挿物が設けられた場合に比べて、モータマウント部７１及びモータ３３の収容に要するスペースを縮小（省スペース化）できる。その結果、より狭隘なモータ設置場所（モータ設置スペース）へのモータマウント部７１の収容、設置（モータ取付壁への固定）が可能になる。

【0036】

モータ取付用ブラケット７０は、構成が単純であり、低コストで製造可能である。モータ取付用ブラケット７０は、モータ３３の冷却を低コストで実現できる。
また、モータ取付用ブラケット７０は、特にモータマウント部７１及びモータ３３の収容に要するスペースの縮小（省スペース化）が可能であり、狭隘なモータ設置場所（モータ設置スペース）へのモータマウント部７１の収容、設置（モータ取付壁への固定）に有利である。

【0037】

図１の基板洗浄装置１０の下部ロールホルダ４２は、上部ロールホルダ３２を上下反転した構成である。下部ロールホルダ４２の上部ロールホルダ３２と共通の構成部分には共通の符号を付し、その説明を省略する。

【0038】

下部ロールホルダ４２のホルダ本体３２ａは、下部ホルダ昇降装置６０の昇降軸６２先端部に支持されて水平方向に延在する。
下部ロールホルダ４２は、ホルダ本体３２ａの延在方向両端部から上方に突出されたロール支持部３２ｂ１、３２ｂ２（第１ロール支持部３２ｂ１及び第２ロール支持部３２ｂ２）によって、下部洗浄ロール４１の中心軸４１ａの両端部を軸回り回転自在に支持する。第２ロール支持部３２ｂ２は、下部ロールホルダ４２のホルダ本体３２ａよりも上方に突出する突出支持部３２ｈを有し、この突出支持部３２ｈによって下部洗浄ロール４１（具体的にはその中心軸４１ａ）を第１ロール支持部３２ｂ１の反対側から支持している。
第２ロール支持部３２ｂ２の内側には、モータ３３の出力軸３３ａの下部ロールホルダ４２のホルダ本体３２ａから突出された端部及び下部洗浄ロール４１の中心軸４１ａの端部を収容する空間３２ｄ（支持部内側空間）が確保されている。第２ロール支持部３２ｂ２は、支持部内側空間３２ｄが下部ロールホルダ４２のホルダ本体３２ａ（具体的には内側空間３２ｃの延在方向片端を塞ぐ壁部３２ｅ）と隣接する形で形成され、下部ロールホルダ４２の一部を形成している。

【0039】

下部洗浄ロール４１は、下部ロールホルダ４２のホルダ本体３２ａの内側空間３２ｃに収容されたモータ３３によって回転駆動される。
モータ３３の出力軸３３ａの支持部内側空間３２ｄに突出された先端部、及び下部洗浄ロール４１の中心軸４１ａの支持部内側空間３２ｄに突出された先端部には、それぞれプーリ（図示略）が固定されている。モータ３３は、モータ３３の出力軸３３ａに固定されたプーリ及び下部洗浄ロール４１の中心軸４１ａに固定されたプーリに巻き掛けられたベルト３４を介して下部洗浄ロール４１に回転駆動力を伝達して下部洗浄ロール４１を回転させる。

【0040】

モータ３３をモータ取付用ブラケット７０を介してホルダ本体３２ａの仕切壁３２ｅに固定した構成（モータ取付構造）は、上部ロールホルダ３２と同様である。
下部ロールホルダ４２においても、上部ロールホルダ３２と同様に、モータ取付用ブラケット７０の流体通路７５への冷却用流体の流通によって冷却部７２を冷却することでモータマウント部７１を冷却できる。その結果、モータマウント部７１を介してモータ３３を冷却でき、モータ３３の温度上昇を抑えることができる。また、下部ロールホルダ４２においても、モータ３３の熱の仕切壁３２ｅへの伝達、それによる仕切壁３２ｅの温度上昇を抑えることができ、プラスチック製の仕切壁３２ｅのモータ３３の熱による熱変形を防止できる。

【0041】

図３、図４に示すように、モータ取付用ブラケット７０は、例えば図１の基板洗浄装置１０の上部ロールホルダ３２、下部ロールホルダ４２等のモータ収容体内におけるモータ設置場所（モータ設置スペース）の形状やその周囲の構造に幅広く対応して、モータ収容体に形成されたモータ取付壁に固定できる。

【0042】

図３は、モータ収容体９０に凹形に形成されたモータ設置スペースＳ１の一例を示す。 また、図３は、モータ設置スペースＳ１内面の一部を形成するモータ取付壁９１にモータマウント部７１を固定して取り付けたモータ取付用ブラケット７０、及びモータ取付用ブラケット７０のモータマウント部７１に固定したモータ３３を収容した状態を示す。
なお、図３では、モータ取付用ブラケットの流体通路７５に接続された流体送給管路８１、流体排出管路８２、モータ取付用ブラケットの流体入口及び流体出口の図示を省略している。流体送給管路８１、流体排出管路８２、流体入口及び流体出口の図示省略は、図４、図５でも同様である。

【0043】

モータ取付用ブラケット７０の冷却部７２は、例えば、モータマウント部７１から垂直に突出してモータ３３を取り囲む筒状に形成しても良い。
但し、モータマウント部７１からその面方向に垂直に突出する冷却部７２は、モータ設置スペースの形状やその周囲の構造に幅広く対応して、モータ取付用ブラケット７０のモータ取付壁への固定を実現する点で、モータマウント部７１の面方向外周部の一部から突出された板状部であることが好適である。冷却部７２は、例えば四角板状のモータマウント部７１の面方向外周の４辺の１つに沿う部分から突出された平板状の構成等、を好適に採用できる。冷却部７２は、モータマウント部７１の面方向外周部全周の５０％以下、２５％程度の範囲から突出された板状部であることが、モータ設置スペースの形状やその周囲の構造に幅広く対応して、モータ取付用ブラケット７０のモータ取付壁への固定を実現する点で有利である。

【0044】

図３において、モータ設置スペースＳ１内のモータ３３は、モータ設置スペースＳ１の内底面９２の近傍に設けられている。モータ３３とモータ設置スペースＳ１の内底面９２との間には、モータ取付用ブラケット７０の冷却部７２を収容可能な大きさのスペースが確保されていない。
図３においては、モータ取付用ブラケット７０は、冷却部７２を、モータマウント部７１に固定したモータ３３を介してモータ設置スペースＳ１の内底面９２とは反対の側に配置することで、モータ取付壁９１へのモータマウント部７１の固定を実現している。

【0045】

図１〜図４に示すモータ取付用ブラケット７０のモータマウント部７１は具体的には平板状である。
モータ取付用ブラケット７０は、平板状のモータマウント部７１の両面のいずれも、モータ取付壁９１に当接可能な取付用当接面７６、及びモータ固定面７４、に使用可能である。平板状のモータマウント部７１は、両面の一方を取付用当接面７６として使用したとき、両面の他方をモータ固定面７４に使用する。

【0046】

図４に示すように、モータ取付用ブラケット７０は、モータマウント部７１の冷却部７２が突出されている側の面を取付用当接面７６に使用してモータ取付壁９１に当接させてモータマウント部７１をモータ取付壁９１に固定し、冷却部７２をモータ設置スペースＳ１の外側に配置することも可能である。
なお、図４の場合は、取付用当接面７６とは反対側の面、すなわちモータマウント部７１の冷却部７２が突出されている側とは反対側の面をモータ固定面７４に使用し、このモータ固定面７４にモータ本体３３ｂを当接させたモータ３３をモータマウント部７１に固定する。

【0047】

図５に示すように、モータ取付用ブラケットは、冷却部７２がモータマウント部７１からモータマウント部７１に対して垂直に突出（延出）する構成の金属製部材に限定されない。モータ取付用ブラケットは、冷却部７２がモータマウント部７１からモータマウント部７１に対して垂直以外の角度で突出（延出）する構成の金属製部材も採用可能である。
図５に示すモータ取付用ブラケット７０Ａは、モータマウント部７１からその面方向に延出する冷却部７２を有する構成である。
また、図５では、モータ収容体９０におけるモータ設置スペースＳ１外側の空間が狭く、モータマウント部７１をモータ取付壁９１に固定したモータ取付用ブラケット７０Ａの冷却部７２をモータ設置スペースＳ１に連通する溝状スペースＳ２に配置した構成を例示する。

【0048】

モータ取付用ブラケットは、モータマウント部７１から延出する板状の冷却部７２を有する構成に限定されず、図６に示すように、モータマウント部７１自体に流体通路７５が形成された板状構成の金属製部材であっても良い。
図６のモータ取付用ブラケット７０Ｂのモータマウント部７１は冷却部を兼ねる。モータマウント部７１外側に形成された流体入口７１ａには流体送給管路８１、流体出口７１ｂには流体排出管路８２が接続されている。モータ取付用ブラケット７０Ｂは、流体送給管路８１から流体入口７１ａを介して流体通路７５に送給された冷却用流体を流体通路７５から流体出口７１ｂを介して流体排出管路８２へ排出させることができる。

【0049】

図６のモータ取付用ブラケット７０Ｂは、モータマウント部７１から延出する板状の冷却部７２を有する構成のモータ取付用ブラケットに比べて構造が単純であるため、一層の低コスト化が可能である。
但し、図１〜図５の例示のように、モータマウント部７１から延出する板状の冷却部７２を有する構成のモータ取付用ブラケットは、流体通路７５がモータマウント部７１とは別の冷却部７２に形成されていることで、図６のモータ取付用ブラケット７０Ｂに比べてモータマウント部７１の厚さ寸法を小さくできる。したがい、モータ設置スペースにおけるモータマウント部７１及びモータ３３の収容に要するスペースの省スペース化の点では、モータマウント部７１から延出する板状の冷却部７２を有する構成のモータ取付用ブラケットの方が、冷却部を兼ねるモータマウント部７１を有する構成に比べて有利である。

【0050】

図７は、別実施形態の基板洗浄装置１１０を示す。
図７の基板洗浄装置１１０は、図１の基板洗浄装置１０について、上部洗浄ロール３１の回転駆動用のモータ３３を、上部ロールホルダ３２内ではなく、処理室筐体２０外側に配置したものである。
なお、図７の基板洗浄装置１１０は、図１の基板洗浄装置１０と同様の構成の下部洗浄ロール４１、下部ロールホルダ４２、下部ホルダ昇降装置６０を有する。下部ロールホルダ４２内部のモータ３３、ベルト３４等の配置、モータ３３の回転駆動力を下部洗浄ロール４１に伝達して下部洗浄ロール４１を回転駆動させるための構成も図１の基板洗浄装置１０と同様である。

【0051】

上部洗浄ロール３１の回転駆動用のモータ３３の出力軸３３ａは、ジョイント９３を介して上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａと同軸に接続されている。図７の基板洗浄装置１１０は、処理室筐体２０外側に配置したモータ３３の回転駆動力をジョイント９３を介して上部洗浄ロール３１に伝達して上部洗浄ロール３１を回転駆動する。
図７の基板洗浄装置１１０の上部ロールホルダ３２Ａは、上部ロールホルダ本体３２ａの延在方向両側のロール支持部（第１ロール支持部３２ｂ１及び第２ロール支持部３２ｂ２）によって、上部洗浄ロール３１の中心軸３１ａの両端部を軸回り回転自在に支持する。但し、図７の基板洗浄装置１１０は、上部ロールホルダ本体３２ａの延在方向片側の第２ロール支持部３２ｂ２がその内側（支持部内側空間３２ｄ）にジョイント９３を収容するジョイント収容ケース部３２ｇを兼ねる点が図１の基板洗浄装置１０の上部ロールホルダ３２と異なる。ジョイント収容ケース部３２ｇはその内側の支持部内側空間３２ｄにジョイント９３を収容する。また、図７の基板洗浄装置１１０は、図１の基板洗浄装置１０にてモータ３３の回転駆動力を上部洗浄ロール３１に伝達するためのベルト３４及びプーリを有していない点でも図１の基板洗浄装置１０と異なる。図７の基板洗浄装置１１０の上部ロールホルダ３２Ａはその内側にモータ３３の回転駆動力を上部洗浄ロール３１に伝達するためのベルト３４及びプーリを収容していない。
また、既述のように、図７の基板洗浄装置１１０は、上部洗浄ロール３１の回転駆動用のモータ３３を処理室筐体２０外側に配置しており、上部ロールホルダ３２Ａ内には上部洗浄ロール３１の回転駆動用のモータ３３を収容していない。図７の基板洗浄装置１１０の上部ロールホルダ３２Ａには、上部洗浄ロール３１の回転駆動用のモータ３３を収容するスペースを確保する必要が無い。

【0052】

ジョイント収容ケース部３２ｇは、処理室筐体２０上部の開口部（図示略）を介して処理室筐体２０の外側に突出されている。
上部洗浄ロール３１の回転駆動用のモータ３３は、ジョイント収容ケース部３２ｇの処理室筐体２０の外側に突出された部分に図６に例示した構成のモータ取付用ブラケット７０Ｂを介して固定されている。
上部洗浄ロール３１回転駆動用のモータ３３は、上部ホルダ昇降装置５０によって昇降アーム５２及び上部ロールホルダ３２Ａとともに昇降される。

【0053】

モータ３３の出力軸３３ａは、モータ取付用ブラケット７０Ｂのモータマウント部７１を貫通する出力軸挿通孔７３と、ジョイント収容ケース部３２ｇに形成された軸挿通孔３２ｆとに通されている。モータ３３は、モータ本体３３ｂを、モータ取付用ブラケット７０Ｂのモータマウント部７１に、そのジョイント収容ケース部３２ｇとは反対側のモータ固定面７６に当接させて固定されている。

【0054】

モータ取付用ブラケット７０Ｂのモータマウント部７１に固定されたモータ３３は、回転駆動によって発熱しても、流体通路７５に冷却用流体が流通されたモータマウント部７１によって冷却され、温度上昇が抑えられる。また、モータ３３をジョイント収容ケース部３２ｇにモータ取付用ブラケット７０Ｂを介して固定した構造（モータ取付構造）であれば、モータ３３の回転駆動による熱がジョイント収容ケース部３２ｇに影響を与えることを防止できる。

【0055】

なお、モータ３３のジョイント収容ケース部３２ｇへの固定に使用するモータ取付用ブラケットは、図６に例示した構成のモータ取付用ブラケット７０Ｂに限定されない。モータ３３のジョイント収容ケース部３２ｇへの固定に使用するモータ取付用ブラケットは、図１〜図５の例示のように、モータマウント部７１から延出する板状の冷却部７２を有する構成のモータ取付用ブラケットも採用可能である。

【0056】

また、別の変形実施例としては、例えば、チャンバ本体と、チャンバ内に配置され基板を略垂直な姿勢で支持する２つのローラと、基板に対して平行に移動されながら加圧流体を基板の１つ以上の領域に向かって噴射するノズルとを備えた基板洗浄装置において、２つのローラをそれぞれ回転させるモータの支持（装置構成部材への取り付け）に本発明のモータ取付用ブラケットを採用して、モータを冷却させるようにすることも可能である。
また、各種の半導体製造装置に用いられる基板搬送装置において、駆動系の一つにモータが使用されることがあるが、スペースとの関係でモータを冷却するスペースが不足する可能性もありうる。そういった場合にも、本発明のモータ取り付け用ブラケットを採用して、モータを冷却させるようにすることも可能である。

【0057】

以上、本発明を最良の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の最良の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
例えば、基板処理装置は、基板洗浄装置に限定されず、半導体ウェハ等の基板の表面を研磨する基板研磨装置といった各種の半導体製造装置に対しても採用可能である。

【符号の説明】

【0058】

１０、１１０…基板処理装置（基板洗浄装置）、３２、３２Ａ…支持体、モータ収容体（上部ロールホルダ）、３２ｅ…モータ取付壁（仕切壁）、３２ｆ…軸挿通孔、３３…モータ、３３ａ…出力軸、４２…支持体、モータ収容体（下部ロールホルダ）、７０、７０Ａ、７０Ｂ…モータ取付用ブラケット、７１…モータマウント部、７２…冷却部、７３…出力軸挿通孔、７４…モータ固定面、７５…流体通路、７６…取付用当接面、９０…モータ収容体、９１…モータ取付壁。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】