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特許6922009スパッタリングターゲットの製造方法
発明の名称 スパッタリングターゲットの製造方法
出願人 株式会社東芝 （識別番号 3078）
特許公開件数ランキング 6 位（548件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12 位（321件）（共同出願を含む）
出願人 東芝マテリアル株式会社 （識別番号 303058328）
特許公開件数ランキング 625 位（11件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 462 位（15件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6922009
公報発行日 2021年8月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6922009
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