特許 6925143 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6925143

(24)【登録日】2021年8月5日

(45)【発行日】2021年8月25日

(54)【発明の名称】液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/00 20060101AFI20210812BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20210812BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20210812BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20210812BHJP

【ＦＩ】

   B05C11/00

   B05C5/00 102

   B05D1/26 Z

   B05D3/00 D

【請求項の数】20

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2017-42756(P2017-42756)

(22)【出願日】2017年3月7日

(65)【公開番号】特開2018-143977(P2018-143977A)

(43)【公開日】2018年9月20日

【審査請求日】2019年12月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096389

【弁理士】

【氏名又は名称】金本 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100101557

【弁理士】

【氏名又は名称】萩原 康司

(74)【代理人】

【識別番号】100167634

【弁理士】

【氏名又は名称】扇田 尚紀

(72)【発明者】

【氏名】宮▲崎▼ 文宏

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 一仁

(72)【発明者】

【氏名】相良 典秀

(72)【発明者】

【氏名】吉富 済

(72)【発明者】

【氏名】尾上 幸太朗

【審査官】 團野 克也

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−０７４１４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０９６２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−３００６９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１７４８２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−０７７９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１９８０２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０９０８８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

ＩＰＣ Ｂ０５Ｃ ５／００−２１／００

Ｂ０５Ｄ １／００− ７／２６

Ｂ４１Ｊ ２／０１− ２／２１５

２９／００−２９／７０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるワーク移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する位置検出器と、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する制御部と、
前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向に移動させるヘッド移動機構と、を有し、
前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッドに対応し、主走査方向に並べて形成された少なくとも１つ以上の基準マークの位置を検出することを特徴とする、液滴吐出装置。

【請求項2】

前記位置検出器は、２つ以上の基準マークの位置を検出し、
前記制御部は、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出タイミングを補正すると共に、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、副走査方向及び回転方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの副走査方向及び回転方向の位置を補正することを特徴とする、請求項１に記載の液滴吐出装置。

【請求項3】

前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスユニットと、
前記メンテナンスユニットと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるユニット移動機構と、をさらに有し、
前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。

【請求項4】

前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッド側に設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。

【請求項5】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記位置検出器は、複数の前記液滴吐出ヘッドに対応する位置に複数設けられていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。

【請求項6】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記位置検出器は副走査方向に移動自在に構成されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。

【請求項7】

ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるワーク移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する位置検出器と、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する制御部と、
前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスユニットと、
前記メンテナンスユニットと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるユニット移動機構と、を有し、
前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていることを特徴とする、液滴吐出装置。

【請求項8】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記位置検出器は、複数の前記液滴吐出ヘッドに対応する位置に複数設けられていることを特徴とする、請求項７に記載の液滴吐出装置。

【請求項9】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記位置検出器は副走査方向に移動自在に構成されていることを特徴とする、請求項７に記載の液滴吐出装置。

【請求項10】

ワークテーブルと液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置されたワークに前記液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
位置検出器によって前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する第１の工程と、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する第２の工程と、を有し、
前記第１の工程において、前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッドに対応し、主走査方向に並べて形成された少なくとも１つ以上の基準マークの位置を検出することを特徴とする、液滴吐出方法。

【請求項11】

前記位置検出器は、２つ以上の基準マークの位置を検出し、
前記第２の工程において、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出タイミングを補正すると共に、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの副走査方向及び回転方向の位置を補正することを特徴とする、請求項１０に記載の液滴吐出方法。

【請求項12】

前記第１の工程は、前記ワークに前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前であって、メンテナンスユニットを用いて前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行う際に行われ、
前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていることを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液滴吐出方法。

【請求項13】

前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッド側に設けられていることを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液滴吐出方法。

【請求項14】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記位置検出器は副走査方向に複数設けられ、
前記第１の工程において、複数の前記位置検出器はそれぞれ対応する前記液滴吐出ヘッドの位置を検出することを特徴とする、請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。

【請求項15】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記第１の工程において、前記位置検出器は副走査方向に移動しながら、複数の前記液滴吐出ヘッドの位置を検出することを特徴とする、請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。

【請求項16】

ワークテーブルと液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置されたワークに前記液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
位置検出器によって前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する第１の工程と、
前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する第２の工程と、を有し、
前記第１の工程は、前記ワークに前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前であって、メンテナンスユニットを用いて前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行う際に行われ、
前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていることを特徴とする、液滴吐出方法。

【請求項17】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記位置検出器は副走査方向に複数設けられ、
前記第１の工程において、複数の前記位置検出器はそれぞれ対応する前記液滴吐出ヘッドの位置を検出することを特徴とする、請求項１６に記載の液滴吐出方法。

【請求項18】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記第１の工程において、前記位置検出器は副走査方向に移動しながら、複数の前記液滴吐出ヘッドの位置を検出することを特徴とする、請求項１６に記載の液滴吐出方法。

【請求項19】

請求項１０〜１８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。

【請求項20】

請求項１９に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置、当該液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、機能液を使用してワークに描画を行う装置として、当該機能液を液滴にして吐出するインクジェット方式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、例えば有機ＥＬ装置、カラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際など、広く用いられている。

【0003】

例えば特許文献１に記載された液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）と、ワークを搭載するワークステージ（ワークテーブル）と、案内用の一対の支持ベースが延伸する方向（主走査方向）に沿ってワークテーブルを移動させる移動機構（リニアモータ）と、を備えている。そして、ワークテーブルにより液滴吐出ヘッドに対してワークを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドからワーク上に予め形成されたバンクに対して機能液を吐出することで、ワークに対する描画が行われる。

【0004】

また、液滴吐出装置における描画動作では、液滴吐出ヘッドに対してワークを相対的に主走査方向に往復動させると共に、適宜、主走査方向に直交する副走査方向に移動させる。このような描画動作により、ワーク全面に対して描画が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−１９８０２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述した液滴吐出装置においては、当該液滴吐出装置の立ち上げ時に、液滴吐出ヘッドから吐出された液滴がワークに着弾する際の着弾位置を調節する。具体的には、位置調節用のワークに液滴を着弾させ、その着弾位置を測定し、測定された着弾位置と目標位置との位置ずれ量を算出する。そして、この位置ずれ量に基づいて、例えば液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングが補正され、またワークテーブルと液滴吐出ヘッドの、主走査方向及び副走査方向の相対的な移動が補正される。

【0007】

しかしながら、このように液滴吐出装置の立ち上げ時に着弾位置の調節を行った後、例えば液滴吐出装置における部材、例えば液滴吐出ヘッドを複数備えるキャリッジの温度変化や経時変化といった要因により、滴吐出ヘッドとワーク上のバンクとの位置関係が変化してしまう場合がある。かかる場合、ワーク上における液滴の着弾位置もずれてしまう。

【0008】

また近年、液滴吐出装置で製造されるテレビなどの製品は、大型で高精細（例えば４Ｋ、８Ｋ）が主流になっており、ワークの大型化に対応すべく液滴吐出装置も大型化している。このため、上述した要因による液滴吐出ヘッドとバンクとの位置ずれ、すなわち着弾位置の位置ずれが無視できない状況になっている。しかも、ピクセルサイズの影響で、その位置ずれの許容範囲も例えば±２μｍ以下と小さくなってきている。

【0009】

そこで、液滴吐出装置のように精密制御が必要な装置においては、環境変化にロバストに対応できる着弾位置の位置補正の技術が求められている。しかしながら現状では、このような液滴吐出装置において、着弾位置を適切に補正するには至っていない。

【0010】

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の着弾精度を向上させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

前記の目的を達成するため、本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるワーク移動機構と、前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する制御部と、前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向に移動させるヘッド移動機構と、を有し、前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッドに対応し、主走査方向に並べて形成された少なくとも１つ以上の基準マークの位置を検出することを特徴としている。

【0012】

本発明によれば、液滴吐出装置におけるキャリッジの温度変化や経時変化といった要因により液滴吐出ヘッドとワークとの位置関係が変化した場合でも、制御部において補正された吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッドからワークに液滴を適切に吐出することができる。したがって、液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の吐出精度（着弾精度）を向上させることができる。

【0014】

前記位置検出器は、２つ以上の基準マークの位置を検出し、前記制御部は、前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出タイミングを補正すると共に、前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、副走査方向及び回転方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの副走査方向及び回転方向の位置を補正してもよい。

【0015】

前記液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスユニットと、前記メンテナンスユニットと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるユニット移動機構と、をさらに有し、前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていてもよい。
別な観点による本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるワーク移動機構と、前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する制御部と、前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスユニットと、前記メンテナンスユニットと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させるユニット移動機構と、を有し、前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていることを特徴としている。

【0016】

前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッド側に設けられていてもよい。

【0017】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、前記位置検出器は、複数の前記液滴吐出ヘッドに対応する位置に複数設けられていてもよい。

【0018】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、前記位置検出器は副走査方向に移動自在に構成されていてもよい。

【0019】

別な観点による本発明は、ワークテーブルと液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置されたワークに前記液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、位置検出器によって前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する第１の工程と、前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する第２の工程と、を有し、前記第１の工程において、前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッドに対応し、主走査方向に並べて形成された少なくとも１つ以上の基準マークの位置を検出することを特徴としている。

【0021】

前記位置検出器は、２つ以上の基準マークの位置を検出し、前記第２の工程において、前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出タイミングを補正すると共に、前記位置検出器で検出された検出位置と前記基準マークの基準位置との、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの副走査方向及び回転方向の位置を補正してもよい。

【0022】

前記第１の工程は、前記ワークに前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前であって、メンテナンスユニットを用いて前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行う際に行われ、前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていてもよい。
ワークテーブルと液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記ワークテーブルに載置されたワークに前記液滴吐出ヘッドから機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、位置検出器によって前記液滴吐出ヘッドの位置を検出する第１の工程と、前記位置検出器で検出された検出位置と前記液滴吐出ヘッドの基準位置との、主走査方向の位置ずれ量を算出し、当該位置ずれ量に基づいて、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出タイミングを補正する第２の工程と、を有し、前記第１の工程は、前記ワークに前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する前であって、メンテナンスユニットを用いて前記液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行う際に行われ、前記位置検出器は、前記メンテナンスユニット側又は前記ワークテーブル側に設けられていることを特徴としている。

【0023】

前記位置検出器は、前記液滴吐出ヘッド側に設けられていてもよい。

【0024】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、前記位置検出器は副走査方向に複数設けられ、前記第１の工程において、複数の前記位置検出器はそれぞれ対応する前記液滴吐出ヘッドの位置を検出してもよい。

【0025】

前記液滴吐出ヘッドは主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、前記第１の工程において、前記位置検出器は副走査方向に移動しながら、複数の前記液滴吐出ヘッドの位置を検出してもよい。

【0026】

また別な観点による本発明によれば、前記液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。

【0027】

さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。

【発明の効果】

【0028】

本発明によれば、液滴吐出装置における各部材の温度変化や経時変化といった要因により滴吐出ヘッドとワークとの位置関係が変化した場合でも、液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の着弾精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す側面図である。

【図2】本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す平面図である。

【図3】キャリッジの構成の概略を示す平面図である。

【図4】キャリッジの基準位置を示した説明図である。

【図5】ワークを液滴吐出ヘッドに向けて移動させる様子を示す側面視における説明図である。

【図6】第１の撮像位置において撮像部が第１のキャリッジマークを撮像する様子を示す側面視における説明図である。

【図7】第１の撮像位置において撮像部が第１のキャリッジマークを撮像する様子を示す平面視における説明図である。

【図8】第２の撮像位置において撮像部が第２のキャリッジマークを撮像する様子を示す側面視における説明図である。

【図9】第２の撮像位置において撮像部が第２のキャリッジマークを撮像する様子を示す平面視における説明図である。

【図10】撮像部で検出されたキャリッジの検出位置（実線）を、キャリッジの基準位置（点線）と共に示した説明図である。

【図11】他の実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す平面図である。

【図12】他の実施の形態において第１の撮像位置で撮像部が第１のキャリッジマークを撮像する様子を示す平面視における説明図である。

【図13】他の実施の形態において第２の撮像位置で撮像部が第２のキャリッジマークを撮像する様子を示す平面視における説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

【0031】

＜液滴吐出装置の構成＞
先ず、本実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す側面図である。図２は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す平面図である。なお、以下においては、ワークＷの主走査方向をＹ軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に直交する鉛直方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回転方向をθ方向とする。

【0032】

液滴吐出装置１は、主走査方向（Ｙ軸方向）に延在して、ワークＷを主走査方向に移動させるＹ軸ステージ１０と、Ｙ軸ステージ１０を跨ぐように架け渡され、副走査方向（Ｘ軸方向）に延在する一対のＸ軸ステージ１１、１１とを有している。Ｙ軸ステージ１０の上面には、一対のＹ軸ガイドレール１２、１２がＹ軸方向に延伸して設けられ、各Ｙ軸ガイドレール１２には、Ｙ軸リニアモータ１３が設けられている。各Ｘ軸ステージ１１の上面には、Ｘ軸ガイドレール１４がＸ軸方向に延伸して設けられ、当該Ｘ軸ガイドレール１４には、Ｘ軸リニアモータ１５が設けられている。なお、以下の説明では、Ｙ軸ステージ１０上において、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸負方向側のエリアを搬入出エリアＡ１といい、一対のＸ軸ステージ１１、１１間のエリアを処理エリアＡ２といい、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸正方向側のエリアを待機エリアＡ３という。

【0033】

一対のＸ軸ステージ１１、１１には、キャリッジユニット２０と第１の撮像ユニット３０が設けられている。Ｙ軸ステージ１０上には、ワークテーブル４０と、フラッシングユニット５０と、吐出検査ユニット６０と、第２の撮像ユニット７０とが設けられている。これらワークテーブル４０、フラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０、第２の撮像ユニット７０は、Ｙ軸方向にこの順で配置されている。

【0034】

キャリッジユニット２０は、Ｘ軸ステージ１１において、複数、例えば１０個設けられている。各キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート２１と、キャリッジ保持機構２２と、キャリッジ２３とを有している。キャリッジ保持機構２２は、キャリッジプレート２１の下面の中央部に設けられ、当該キャリッジ保持機構２２の下端部にキャリッジ２３が着脱自在に取り付けられている。

【0035】

キャリッジプレート２１は、Ｘ軸ガイドレール１４に取り付けられ、Ｘ軸リニアモータ１５によってＸ軸方向に移動自在になっている。なお、複数のキャリッジプレート２１を一体としてＸ軸方向に移動させることも可能である。

【0036】

キャリッジ２３には、モータ（図示せず）が取り付けられている。このモータにより、キャリッジ２３はＸ軸方向及びθ方向に移動自在に構成されている。そして、キャリッジ２３に設けられた、後述する液滴吐出ヘッド２４も、Ｘ軸方向及びθ方向も移動させることができる。本実施の形態ではキャリッジ２３が、本発明のヘッド移動機構を構成している。なお、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向及びθ方向の移動は、例えばキャリッジ保持機構２２によって行われてもよい。

【0037】

キャリッジ２３の下面には、図３に示すように複数の液滴吐出ヘッド２４がＹ軸方向及びＸ軸方向に並べて設けられている。本実施の形態では、例えばＹ軸方向に６個、Ｘ軸方向に２個、すなわち合計１２個の液滴吐出ヘッド２４が設けられている。液滴吐出ヘッド２４の下面、すなわちノズル面には複数の吐出ノズル（図示せず）が形成されている。そして、当該吐出ノズルからは、液滴吐出ヘッド２４直下の液滴吐出位置に対して機能液の液滴が吐出されるようになっている。

【0038】

また、キャリッジ２３の下面には、複数の液滴吐出ヘッド２４の両側（Ｙ軸正方向側及びＹ軸負方向側）において、それぞれ基準マークとしてのキャリッジアライメントマーク２５（以下、キャリッジマーク２５という。）が設けられている。キャリッジマーク２５は、複数の液滴吐出ヘッド２４をキャリッジ２３に組み付ける際の基準となるマークであって、キャリッジ２３の絶対的基準位置となる。以下の説明においては、液滴吐出ヘッド２４のＹ軸正方向側のキャリッジマーク２５を第１のキャリッジマーク２５ａといい、Ｙ方向負方向側のキャリッジマーク２５を第２のキャリッジマーク２５ｂという。

【0039】

図１及び図２に示すように第１の撮像ユニット３０は、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）を挟んでＹ軸方向に対向して設けられた第１の撮像部３１と第２の撮像部３２を有している。第１の撮像部３１及び第２の撮像部３２としては、例えばＣＣＤカメラが用いられ、ワークテーブル４０の移動中、停止中、ワーク処理中（液滴吐出中）のいずれにおいても、当該ワークテーブル４０に載置されたワークＷを撮像することができる。第１の撮像部３１は、キャリッジ２３に対してＹ軸負方向側に配置されており、第２の撮像部３２は、キャリッジ２３に対してＹ軸正方向側に配置されている。なお、第１の撮像ユニット３０はＸ軸方向に移動可能に構成されていてもよい。

【0040】

第１の撮像部３１は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸負方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース３３に支持されている。そして、第１の撮像部３１の直下にワークテーブル４０が案内された際、第１の撮像部３１は、ワークテーブル４０上に載置されたワークＷを撮像する。

【0041】

第２の撮像部３２は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸正方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース３４に支持されている。そして、第２の撮像部３２の直下にワークテーブル４０が案内された際、第２の撮像部３２は、ワークテーブル４０上に載置されたワークＷを撮像する。

【0042】

ワークテーブル４０は、例えば真空吸着テーブルであり、ワークＷを吸着して載置する。ワークテーブル４０は、当該ワークテーブル４０の下面側に設けられたテーブル移動機構４１によって、Ｘ軸方向に移動自在であると共にθ方向に回転自在に支持されている。ワークテーブル４０とテーブル移動機構４１は、テーブル移動機構４１の下面側に設けられた第１のＹ軸スライダ４２に支持されている。第１のＹ軸スライダ４２は、Ｙ軸ガイドレール１２に取り付けられ、Ｙ軸リニアモータ１３によってＹ軸方向に移動自在に構成されている。したがって、ワークＷを載置した状態でワークテーブル４０を第１のＹ軸スライダ４２によってＹ軸ガイドレール１２に沿ってＹ軸方向に移動させることで、ワークＷをＹ軸方向に移動させることができる。なお、本実施の形態では、Ｙ軸リニアモータ１３（第１のＹ軸スライダ４２）及びテーブル移動機構４１が、本発明のワーク移動機構を構成している。また、本実施の形態では、テーブル移動機構４１がワークテーブル４０をＸ軸方向に移動させ、且つθ方向に回転させていたが、ワークテーブル４０をＸ軸方向に移動させる機構とθ方向に回転させる機構はそれぞれ別であってもよい。

【0043】

なお、搬入出エリアＡ１におけるワークテーブル４０の上方には、ワークテーブル４０上のワークＷを撮像するワークアライメントカメラ（図示せず）が設けられている。そして、ワークアライメントカメラで撮像された画像に基づいて、第１のＹ軸スライダ４２及びテーブル移動機構４１により、ワークテーブル４０に載置されたワークＷのＹ軸方向、Ｘ軸方向及びθ方向の位置が必要に応じて補正される。これにより、ワークＷがアライメントされて所定の初期位置に設定される。

【0044】

フラッシングユニット５０は、液滴吐出ヘッド２４からの捨て吐出を受けるユニットである。フラッシングユニット５０には、複数、例えば１０個のフラッシング回収台５１がＸ軸方向に並べて設けられている。このフラッシング回収台５１の数はキャリッジ２３の数と同じであって、フラッシング回収台５１のピッチもキャリッジ２３のピッチと同じである。

【0045】

フラッシング回収台５１は、その上面が開口し、フラッシング回収台５１が対応するキャリッジ２３の直下に案内された際に、キャリッジ２３の液滴吐出ヘッド２４から液滴が吐出され（フラッシングされ）、その液滴を受け止めて収容するようになっている。すなわち、ワークＷに液滴で描画する前にフラッシング動作され、そのフラッシングに基づく液滴をフラッシング回収台５１で回収する。

【0046】

吐出検査ユニット６０は、液滴吐出ヘッド２４からの検査吐出を受けるユニットである。吐出検査ユニット６０には、Ｘ軸方向に延伸する検査台６１が設けられている。検査台６１の上面には、表面にフィルムコーティングが施された検査シート６２が配置されている。検査台６１に配置された検査シート６２は、検査台６１が液滴吐出ヘッド２４の直下に案内された際に、液滴吐出ヘッド２４から吐出された液滴が着弾されるようになっている。

【0047】

第２の撮像ユニット７０には、Ｘ軸方向に延伸するベース７１が設けられている。ベース７１の上面には、複数、例えば１０個の位置検出器７２がＸ軸方向に並べて設けられている。この位置検出器７２の数はキャリッジ２３の数と同じであって、位置検出器７２もキャリッジ２３のピッチと同じである。

【0048】

位置検出器７２は、例えばＣＣＤカメラを備え、キャリッジ２３の直下に位置検出器７２が案内された際、位置検出器７２は、キャリッジ２３のキャリッジマーク２５を撮像する。また、位置検出器７２では、ＣＣＤカメラで取得された撮像画像に基づいてキャリッジマーク２５の位置（すなわち、液滴吐出ヘッド２４の位置）を検出する。

【0049】

フラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０及び第２の撮像ユニット７０は、第２のＹ軸スライダ８０に支持されている。第２のＹ軸スライダ８０は、Ｙ軸ガイドレール１２に取り付けられ、Ｙ軸ガイドレール１２に取り付けられ、Ｙ軸リニアモータ１３によってＹ軸方向に移動自在に構成されている。したがって、フラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０及び第２の撮像ユニット７０も、第２のＹ軸スライダ８０によってＹ軸ガイドレール１２に沿ってＹ軸方向に移動させることができる。

【0050】

なお、本実施の形態では、フラッシングユニット５０及び吐出検査ユニット６０が、本発明のメンテナンスユニットを構成している。また、本実施の形態ではＹ軸リニアモータ１３（第２のＹ軸スライダ８０）が、本発明のユニット移動機構を構成している。

【0051】

＜制御部＞
以上の液滴吐出装置１には、制御部１５０が設けられている。制御部１５０は、例えばコンピュータであり、データ格納部（図示せず）を有している。データ格納部には、例えばワークＷに吐出される液滴を制御し、当該ワークＷに所定のパターンを描画するための描画データ（ビットマップデータ）などが格納されている。また、制御部１５０は、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、液滴吐出装置１における各種処理を制御するプログラムなどが格納されている。

【0052】

なお、前記データや前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部１５０にインストールされたものであってもよい。

【0053】

本実施の形態において、制御部１５０では、位置検出器７２で検出されたキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの検出位置と、当該キャリッジマーク２５ａ、２５ｂの基準位置との位置ずれ量に基づいて、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正する。具体的には、以下のステップＳ１〜Ｓ３を行う。

【0054】

なお、位置検出器７２は第１のキャリッジマーク２５ａの直下に位置して、当該第１のキャリッジマーク２５ａを撮像するが、この際の位置検出器７２の位置を第１の撮像位置Ｐ１という。さらに、位置検出器７２は第２のキャリッジマーク２５ｂの直下に位置して、当該第２のキャリッジマーク２５ｂを撮像するが、この際の位置検出器７２の位置を第２の撮像位置Ｐ２という。

【0055】

先ず、キャリッジマーク２５ａ、２５ｂの基準位置を取得する（ステップＳ１）。キャリッジ２３を液滴吐出装置１に組み付ける際には、その組み付け誤差により、図４に示すように複数のキャリッジ２３の位置がずれるため、そのキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの位置もずれる。そこで、各キャリッジ２３におけるキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの基準位置を取得する。なお、図４では、説明を容易にするため、１０個のキャリッジ２３のうち５個を示している。

【0056】

液滴吐出装置１の立ち上げ時には位置調節用のワークＷを用いて、液滴吐出ヘッド２４からワークＷへの液滴の着弾位置の調節が行われるが、キャリッジマーク２５ａ、２５ｂの基準位置は、この着弾位置の調節時に取得される。具体的には、図５に示すようにＹ軸リニアモータ１３により、ワークＷを載置したワークテーブル４０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させる。この際、処理エリアＡ２において、液滴吐出ヘッド２４の下方に移動したワークＷに対して、当該液滴吐出ヘッド２４から液滴を吐出した後、第２の撮像部３２においてワークＷを撮像し、当該ワークＷの上面に着弾した液滴を撮像する。

【0057】

制御部１５０では、第２の撮像部３２で取得された撮像画像に基づいて、ワークＷ上の液滴の着弾位置を測定し、測定された着弾位置と目標位置との位置ずれ量を算出する。この位置ずれ量に基づいて、例えば液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングが補正され、またワークテーブル４０と液滴吐出ヘッドの、主走査方向及び副走査方向の相対的な移動が補正される。以下、この液滴吐出装置１の立ち上げ時に行われる補正を、自動補正という場合がある。

【0058】

自動補正を行った後、Ｙ軸リニアモータ１３により、位置検出器７２をキャリッジ２３の直下に移動させ、当該キャリッジ２３を撮像する。そして、位置検出器７２では、取得された撮像画像（図４）に基づいて、キャリッジ２３におけるキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの基準位置を取得する。

【0059】

次に、通常操業時における液滴吐出ヘッド２４のメンテナンス時に、キャリッジマーク２５ａ、２５ｂの位置を検出する（ステップＳ２）。後述するように液滴吐出ヘッド２４のメンテナンスは、ワークＷに対する描画を行うごとに実施される。

【0060】

具体的には、図６及び図７に示すように、Ｙ軸リニアモータ１３により、位置検出器７２を第１のキャリッジマーク２５ａの直下（第１の撮像位置Ｐ１）に移動させ、当該位置検出器７２で第１のキャリッジマーク２５ａを撮像する。続いて図８及び図９に示すように、Ｙ軸リニアモータ１３により、位置検出器７２を第２のキャリッジマーク２５ｂの直下（第２の撮像位置Ｐ２）に移動させ、当該位置検出器７２で第２のキャリッジマーク２５ｂを撮像する。この際、位置検出器７２とキャリッジ２３は１対１で対応しており、各位置検出器７２で対応するキャリッジ２３を撮像する。なお、撮像位置Ｐ１、Ｐ２における位置検出器７２による撮像は、当該位置検出器７２を停止させた状態で行ってもよいし、Ｙ軸方向に移動させながら行ってもよい。

【0061】

図１０は、位置検出器７２で検出されたキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの検出位置（実線）を、キャリッジマーク２５ａ、２５ｂの基準位置（点線）と共に示している。制御部１５０では、一のキャリッジ２３において、第１のキャリッジマーク２５ａに対する検出位置と基準位置との、Ｙ軸方向の位置ずれ量ΔＹａ、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸａ、及びθ方向の位置ずれ量Δθａを算出する。また、制御部１５０では、第２のキャリッジマーク２５ｂに対する検出位置と基準位置との、Ｙ軸方向の位置ずれ量ΔＹｂ、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸｂ、及びθ方向の位置ずれ量Δθｂを算出する。

【0062】

そして、制御部１５０では、Ｙ軸方向の位置ずれ量ΔＹａ、ΔＹｂに基づいて、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングの補正量を算出する（ステップＳ３）。算出された補正量は、液滴の吐出タイミングを制御するモーションコントローラ（図示せず）に出力され、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングが補正される。

【0063】

また、ステップＳ３において制御部１５０では、Ｘ軸方向の位置ずれ量ΔＸａ、ΔＸｂとθ方向の位置ずれ量Δθａ、Δθｂに基づいて、キャリッジ２３のＸ軸方向及びθ方向のそれぞれの位置の補正量を算出する。算出された補正量はキャリッジ２３に出力され、当該キャリッジ２３のＸ軸方向及びθ方向のそれぞれの位置が補正される。

【0064】

＜液滴吐出装置におけるワーク処理＞
次に、以上のように構成された液滴吐出装置１を用いて行われるワーク処理について説明する。

【0065】

先ず、搬入出エリアＡ１にワークテーブル４０を配置し、搬送機構（図示せず）により液滴吐出装置１に搬入されたワークＷが当該ワークテーブル４０に載置される。続いて、ワークアライメントカメラによってワークテーブル４０上のワークＷのアライメントマークが撮像される。そして、当該撮像された画像に基づいて、テーブル移動機構４１により、ワークテーブル４０に載置されたワークＷのＸ軸方向及びθ方向の位置が補正され、ワークＷのアライメントが行われる（ステップＴ１）。

【0066】

その後、Ｙ軸リニアモータ１３によって、ワークテーブル４０を搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動させる。処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド２４の下方に移動したワークＷに対して、当該液滴吐出ヘッド２４から液滴を吐出する。さらに、図５に示したようにワークＷの全面が液滴吐出ヘッド２４の下方を通過するように、ワークテーブル４０をさらに待機エリアＡ３側に移動させる。そして、ワークＷをＹ軸方向に往復動させると共に、適宜、Ｘ軸方向に移動させて、ワークＷに所定のパターンが描画される（ステップＴ２）。

【0067】

その後、ワークテーブル４０を待機エリアＡ３から搬入出エリアＡ１に移動させる。このワークテーブル４０の移動中、第２の撮像部３２によりワークテーブル４０上のワークＷの全面、すなわちワークＷに吐出された液滴によるパターンの描画状態を撮像する。撮像された画像は制御部１５０に出力され、制御部１５０では、撮像された画像に基づいて、描画状態の不良、例えば膜ムラ等が検査される。この検査結果において、描画状態が不良と判定された場合、例えばワークテーブル４０のＹ軸方向の移動や、Ｘ軸方向及びθ方向の位置が補正される（ステップＴ３）。

【0068】

ワークテーブル４０が搬入出エリアＡ１に移動すると、描画処理が終了したワークＷが液滴吐出装置１から搬出される。続いて、次のワークＷが液滴吐出装置１に搬入され、上述したステップＴ１のワークＷのアライメントが行われる（ステップＴ４）。

【0069】

このようにステップＴ３における描画状態の検査とステップＴ４におけるワークＷの搬入出が行われている間、Ｙ軸リニアモータ１３により、フラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０及び第２の撮像ユニット７０を待機エリアＡ３から処理エリアＡ２に移動させる。処理エリアＡ２では、吐出検査ユニット６０の検査シート６２を液滴吐出ヘッド２４の下方に配置し、当該検査シート６２に対して液滴吐出ヘッド２４から液滴を検査吐出する（ステップＴ５）。

【0070】

その後、フラッシングユニット５０と吐出検査ユニット６０をＸ軸正方向側に移動させて、吐出検査ユニット６０の検査シート６２を第１の撮像部３１の下方に配置すると共に、フラッシングユニット５０のフラッシング回収台５１を液滴吐出ヘッド２４の下方に配置する。

【0071】

そして、第１の撮像部３１により検査シート６２に検査吐出された液滴の着弾ドットを撮像する。撮像された画像は制御部１５０に出力され、制御部１５０では、撮像された画像に基づき、液滴吐出ヘッド２４における吐出ノズルの吐出不良が検査される。この検査結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２４が適宜メンテナンスされる。

【0072】

また、このように第１の撮像部３１よる撮像処理と制御部１５０による吐出不良検査が行われている際に、フラッシング回収台５１に対して液滴吐出ヘッド２４から液滴の捨て吐出が行われる（ステップＴ６）。

【0073】

このようにステップＴ５における検査吐出とステップＴ６におけるフラッシングを行う際、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行い、位置検出器７２において撮像画像に基づきキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの位置を検出し、制御部１５０においてキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの検出位置と基準位置の位置ずれ量に基づき、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正する（ステップＴ７）。

【0074】

以上のように各ワークＷに対してステップＴ１〜Ｔ７が行われ、一連のワーク処理が終了する。

【0075】

以上の実施の形態によれば、液滴吐出装置１における自動補正を行った後、例えばキャリッジ２３の温度変化や経時変化といった要因によりキャリッジ２３の位置ずれが生じても、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行って、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッド２４からワークＷに液滴を適切に吐出することができ、当該液滴吐出ヘッド２４からワークＷへの液滴の吐出精度（着弾精度）を向上させることができる。

【0076】

また、ステップＴ５〜Ｔ６における液滴吐出ヘッド２４のメンテナンスは、ワークＷごとに枚葉で行われるため、ステップＴ７における液滴吐出タイミングとキャリッジ２３の位置の補正も枚葉で行うことができる。したがって、液滴吐出ヘッド２４からワークＷへの液滴の着弾精度をさらに向上させることができる。

【0077】

また、位置検出器７２はキャリッジ２３と１対１対応で設けられているので、キャリッジ２３に対して位置検出器７２を適切な位置に配置することができ、高精度に撮像することができる。また、複数の位置検出器７２を用いて複数のキャリッジ２３を一度に撮像することができるので、撮像時間を短縮することができる。さらに、位置検出器７２をＹ軸方向に移動させながら撮像することもでき、かかる場合、撮像時間をさらに短縮することができる。

【0078】

なお、以上の実施の形態では、第２の撮像ユニット７０において、位置検出器７２はＹ軸方向に１列に設けられていたが、２列に設けられていてもよい。かかる場合、第１の撮像位置Ｐ１における位置検出器７２の撮像と、第２の撮像位置Ｐ２における位置検出器７２の撮像を同時に行うことができる。したがって、撮像時間をさらに短縮することができる。

【0079】

また、以上の実施の形態では、位置検出器７２はキャリッジマーク２５ａ、２５ｂを撮像したが、キャリッジ２３の他の位置を撮像してもよい。例えばキャリッジ２３に他の基準マークを形成しこれを撮像してもよいし、或いは液滴吐出ヘッド２４における特定のノズルを基準マークとして撮像してもよい。

【0080】

また、以上の実施の形態では、第１の撮像位置Ｐ１と第２の撮像位置Ｐ２における撮像画像を用いて、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正していたが、実際の操業においては、必ずしも第１の撮像位置Ｐ１と第２の撮像位置Ｐ２の両位置における撮像画像を取得する必要はない。

【0081】

例えば第１の撮像位置Ｐ１において位置検出器７２でキャリッジ２３を撮像し、第１のキャリッジマーク２５ａのみの撮像画像を取得してもよい。そして、この撮像画像に基づいて第１のキャリッジマーク２５ａの位置を検出し、少なくとも第１のキャリッジマーク２５ａの検出位置と基準位置のＹ軸方向の位置ずれ量を算出することで、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングのみを補正する。かかる場合、少なくとも着弾精度の要求が高いＹ軸方向の位置ずれを補正することができる。

【0082】

そして、上述した第１の撮像位置Ｐ１と第２の撮像位置Ｐ２の両位置における撮像画像の取得は、所定のタイミングで行ってもよく、例えば所定の頻度で実施される液滴吐出ヘッド２４のクリーニングの際に行ってもよい。かかる場合、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正することができる。

【0083】

＜他の実施の形態＞
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。

【0084】

以上の実施の形態では、位置検出器７２は、キャリッジ２３と同数でＸ軸方向に並べて設けられていたが、図１１に示すように１個設けられていてもよい。かかる場合、位置検出器７２はベース７１をＸ軸方向に移動自在に構成されている。位置検出器７２を移動させる機構は特に限定されないが、例えばＸ軸方向に走査軸を有するアクチュエータが用いられる。

【0085】

かかる場合、ステップＳ２では、図１２に示すように第１の撮像位置Ｐ１において、Ｙ軸リニアモータ１３を停止させた状態で、位置検出器７２をＸ軸方向に移動させる。そして、第１の撮像位置Ｐ１における複数のキャリッジ２３（第１のキャリッジマーク２５ａ）を撮像する。続いて、図１３に示すように第２の撮像位置Ｐ２においても、Ｙ軸リニアモータ１３を停止させた状態で、位置検出器７２をＸ軸方向に移動させる。そして、第２の撮像位置Ｐ２における複数のキャリッジ２３（第２のキャリッジマーク２５ｂ）を撮像する。なお、他のステップＳ１、Ｓ３はそれぞれ、上記実施の形態におけるステップＳ１、Ｓ３と同様である。

【0086】

本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受できる。すなわち、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正することができ、液滴吐出ヘッド２４からワークＷへの液滴の着弾精度を向上させることができる。また、複数の位置検出器７２が不要になるので、第２の撮像ユニット７０の構成を簡略化することができる。

【0087】

以上の実施の形態では、位置検出器７２は第２のＹ軸スライダ８０に設けられていたが、ワークテーブル４０に設けられていてもよい。かかる場合でも、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行い、液滴吐出ヘッド２４における液滴の吐出タイミングを補正すると共に、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）のＸ軸方向およびθ方向の位置を補正することができる。なお、位置検出器７２は図２に示した場合と同様にキャリッジ２３と同数設けられていてもよいし、また図１１に示した場合と同様にＸ軸方向に移動自在に構成されていてもよい。

【0088】

また、位置検出器７２は、キャリッジ２３に設けられていてもよい。かかる場合、位置検出器７２は、例えばワークテーブル４０又はフラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０に形成された基準マークを撮像することで、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）の位置を検出することができる。なお、位置検出器７２は図２に示した場合と同様にキャリッジ２３と同数設けられていてもよいし、また図１１に示した場合と同様にＸ軸方向に移動自在に構成されていてもよい。

【0089】

以上の実施の形態では、位置検出器７２を用いてキャリッジ２３のキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの位置を検出したが、当該位置の検出手段はこれに限定されない。例えば例えばレーザ干渉計（図示せず）又はレーザ変位計（図示せず）を用いてキャリッジマーク２５ａ、２５ｂの位置を検出してもよい。

【0090】

以上の実施の形態では、ワーク移動機構としてＹ軸リニアモータ１３（第１のＹ軸スライダ４２）及びテーブル移動機構４１を用い、ワークテーブル４０をＹ軸方向に移動させていたが、液滴吐出ヘッド２４をＹ軸方向に移動させてもよい。また、ワークテーブル４０と液滴吐出ヘッド２４の両方をＹ軸方向に移動させてもよい。さらに、ワークテーブル４０をＸ軸方向に移動させて改行していたが、液滴吐出ヘッド２４をＸ軸方向に移動させてもよい。Ｘ軸方向に液滴吐出ヘッド２４を移動させる場合は、Ｘ軸リニアモータ１５を用いてもよい。

【0091】

また、以上の実施の形態では、ユニット移動機構としてＹ軸リニアモータ１３（第２のＹ軸スライダ８０）を用い、フラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０及び第２の撮像ユニット７０をＹ軸方向に移動させていたが、キャリッジ２３（液滴吐出ヘッド２４）をＹ軸方向に移動させてもよい。また、フラッシングユニット５０、吐出検査ユニット６０及び第２の撮像ユニット７０と、液滴吐出ヘッド２４との両方をＹ軸方向に移動させてもよい。

【0092】

＜液滴吐出装置の適用例＞
以上のように構成された液滴吐出装置１は、例えば特開２０１７−１３０１１号公報に記載された、有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する基板処理システムに適用される。具体的に液滴吐出装置１は、ワークＷとしてのガラス基板上に正孔注入層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔注入層）上に正孔輸送層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔輸送層）上に発光層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置に適用される。なお、基板処理システムにおいて、有機発光ダイオードの正孔注入層、正孔輸送層及び発光層を形成する他に、電子輸送層と電子注入層も形成する場合、液滴吐出装置１は、これら電子輸送層と電子注入層の塗布処理にも適用できる。

【0093】

また、液滴吐出装置１は、上述のように有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する際に適用するほか、例えばカラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際にも適用してもよいし、或いは金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成、及び光拡散体形成等を製造する際にも適用してもよい。

【0094】

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

【符号の説明】

【0095】

１ 液滴吐出装置
１０ Ｙ軸ステージ
１１ Ｘ軸ステージ
１２ Ｙ軸ガイドレール
１３ Ｙ軸リニアモータ
１４ Ｘ軸ガイドレール
１５ Ｘ軸リニアモータ
２０ キャリッジユニット
２３ キャリッジ
２４ 液滴吐出ヘッド
２５（２５ａ、２５ｂ） キャリッジマーク
３０ 第１の撮像ユニット
３１ 第１の撮像部
３２ 第２の撮像部
４０ ワークテーブル
４１ テーブル移動機構
４２ 第１のＹ軸スライダ
５０ フラッシングユニット
６０ 吐出検査ユニット
７０ 第２の撮像ユニット
７２ 位置検出器
８０ 第２のＹ軸スライダ
１５０ 制御部
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】