発明の名称 スパッタリングターゲット
出願人 JX日鉱日石金属株式会社 (識別番号 502362758)
特許公開件数ランキング 582 位(15件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 400 位(21件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6925165
公報発行日 2021年8月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6925165
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