特許第6935985号(P6935985)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6935985原子スケールのＡＬＤ（原子層堆積）プロセスとＡＬＥ（原子層エッチング）プロセスとの統合
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