【図1】（ａ）は実施形態１に係る触覚センサの断面図であり、（ｂ）はその下面図であり、（ｃ）は触覚センサに設けられたコイルのインダクタンスを説明するための図である。

【図2】（ａ）は触覚センサの動作原理を示す断面図であり、（ｂ）は触覚センサの外観を示す斜視図であり、（ｃ）は触覚センサに設けられた基板、コイル、非磁性柔軟層、及び磁性柔軟層を示す斜視図である。

【図3】（ａ）は触覚センサの試作品の外観を示す斜視図であり、（ｂ）は触覚センサに設けられた基板を示す平面図であり、（ｃ）は基板に設けられたコイルの平面図であり、（ｄ）は基板に設けられたコイルを示す斜視図である。

【図4】触覚センサの実験装置を示す斜視図である。

【図5】触覚センサに押し込まれた圧子の押込み深さと経過時間との間の関係を示すグラフである。

【図6】触覚センサへの押下力とコイルのインダクタンスとの間の関係を示すグラフである。

【図7】実施形態２に係る触覚センサの断面図である。

【図8】（ａ）は触覚センサの外観を示す斜視図であり、（ｂ）は触覚センサに設けられた基板、コイル、非磁性柔軟層、及び磁性柔軟層を示す斜視図である。

【図9】触覚センサに設けられたコイルと磁性柔軟層との間の関係を模式的に示す平面図である。

【図10】（ａ）は磁性柔軟層のＺ軸方向の変位とコイルのインダクタンスの変化との間の関係を示すグラフであり、（ｂ）は磁性柔軟層に加わった垂直力とコイルのインダクタンスの変化との間の関係を示すグラフである。

【図11】触覚センサに設けられたコイルと＋Ｘ方向に移動する磁性柔軟層との間の関係を模式的に示す平面図である。

【図12】（ａ）は磁性柔軟層のＸ軸方向の変位とコイルのインダクタンスの変化との間の関係を示すグラフであり、（ｂ）は磁性柔軟層に加わったＸ軸方向の剪断力とコイルのインダクタンスの変化との間の関係を示すグラフである。

【図13】触覚センサに設けられたコイルと＋Ｙ方向に移動する磁性柔軟層との間の関係を模式的に示す平面図である。

【図14】（ａ）は磁性柔軟層のＹ軸方向の変位とコイルのインダクタンスの変化との間の関係を示すグラフであり、（ｂ）は磁性柔軟層に加わったＹ軸方向の剪断力とコイルのインダクタンスの変化との間の関係を示すグラフである。