期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第6946151号(P6946151)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
株式会社荏原製作所
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
青山学院大学
(神奈川県相模原市中央区淵野辺)
▶ 株式会社荏原製作所の特許一覧
特許
6946151
基板保持装置および基板保持装置を備える基板処理装置
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1
2
3A
3B
4A
4B
5A
5B
5C
6A
6B
7
8A
8B
9A
9B
10
11
12
13
14
15
22
