特許第6947510号(P6947510)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6947510プラズマ源のチャンバ部材、および、基板Ｃ−リングの平行移動のために半径方向外側に配置されたリフトピンを備えるペデスタル
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