特許6948159新規な化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法

発明の名称　新規な化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法

出願人　株式会社ＡＤＥＫＡ　（識別番号 387）

　　　　特許公開件数ランキング 320 位（98件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 316 位（85件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6948159

公報発行日　2021年10月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6948159

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