特許 6952007 基板ホルダ及びめっき装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6952007

(24)【登録日】2021年9月29日

(45)【発行日】2021年10月20日

(54)【発明の名称】基板ホルダ及びめっき装置

(51)【国際特許分類】

   C25D 17/08 20060101AFI20211011BHJP

   C25D 17/06 20060101ALI20211011BHJP

【ＦＩ】

   C25D17/08 R

   C25D17/06 D

   C25D17/08 G

   C25D17/08 S

【請求項の数】21

【全頁数】45

(21)【出願番号】特願2018-79388(P2018-79388)

(22)【出願日】2018年4月17日

(65)【公開番号】特開2019-7075(P2019-7075A)

(43)【公開日】2019年1月17日

【審査請求日】2020年9月23日

(31)【優先権主張番号】特願2017-126582(P2017-126582)

(32)【優先日】2017年6月28日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100106208

【弁理士】

【氏名又は名称】宮前 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100140109

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 新次郎

(74)【代理人】

【識別番号】100146710

【弁理士】

【氏名又は名称】鐘ヶ江 幸男

(74)【代理人】

【識別番号】100186613

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 誠

(72)【発明者】

【氏名】宮本 松太郎

【審査官】 神田 和輝

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−２３３２９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５４−０１９６４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−２０００１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−３０１２９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２３１５３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０５７０２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１５０４２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１６／１９０１８０（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２５Ｄ １７／０６

Ｃ２５Ｄ １７／０８

Ｃ２５Ｄ ２１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を保持するための基板ホルダであって、
前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、
前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材であって、前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有する第２保持部材と、
を備え、
前記第１保持部材は、前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、少なくとも１つの第１外部接続接点と、前記少なくとも１つの第１基板接点と前記少なくとも１つの第１外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第１配線を有し、
前記第２保持部材は、前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、少なくとも１つの第２外部接続接点と、前記少なくとも１つの第２基板接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第２配線を有し、
前記少なくとも１つの第１外部接続接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点は電気的に独立である、
基板ホルダ。

【請求項2】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、複数の前記第１基板接点と、複数の前記第１外部接続接点と、前記複数の前記第１基板接点と前記複数の前記第１外部接続接点とを電気的に接続する複数の前記第１配線を有する、基板ホルダ。

【請求項3】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、第１のアーム部を有し、前記少なくとも１つの第１外部接続接点は前記第１のアーム部に配置され、
前記第２保持部材は、第２のアーム部を有し、前記少なくとも１つの第２外部接続接点は前記第２のアーム部に配置され、
前記少なくとも１つの第１外部接続接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点は基板ホルダの左右両端に位置する、基板ホルダ。

【請求項4】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、第１のアーム部を有し、前記基板ホルダをめっき槽内で位置決めするための第１及び第２の位置決め部を前記第１のアーム部の両側にそれぞれ有する、基板ホルダ。

【請求項5】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、前記第１開口部を有する第１本体部を有し、
前記第２保持部材は、前記第２開口部を有する第２本体部を有し、
前記第１本体部及び前記第２本体部は、互いに係合する位置決め構造を有する、
基板ホルダ。

【請求項6】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、前記第１開口部を有する第１本体部と、前記第１本体部の一端側に設けられた第１アーム部を有し、
前記第２保持部材は、前記第２開口部を有する第２本体部と、前記第２本体部の一端側に設けられた第２アーム部を有し、
前記第１保持部材と前記第２保持部材が係合した状態で、前記第１アーム部と前記第２アーム部とが、前記第１及び第２本体部から前記第１及び第２アーム部に向かう方向において並んでいる、
基板ホルダ。

【請求項7】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、
前記第１開口部および前記少なくとも１つの前記第１基板接点を有する第１本体部と、
少なくとも１つの前記第１外部接続接点を有する第１アーム部と、
前記第１本体部と前記第１アーム部との間に配置され、前記少なくとも１つの第１配線の余分な長さを収容するための第１配線収容部と、
を有している、基板ホルダ。

【請求項8】

請求項７に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１配線収容部は、前記第１本体部を前記第１アーム部に取り付ける第１取付部と一体に形成されている、基板ホルダ。

【請求項9】

請求項８に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１配線収容部は、前記第１本体部に向かって突出する第１突出部を有し、
前記第１本体部は、前記第１配線収容部の前記第１突出部の両側に突出する２つの第２突出部を有する、基板ホルダ。

【請求項10】

請求項７に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１配線収容部及び前記第１本体部の連結箇所において、基板ホルダの外側面となる側において、前記第１配線収容部の壁が、前記第１本体部の壁の外側で重なる、基板ホルダ。

【請求項11】

請求項７に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１配線収容部及び前記第１本体部の連結箇所が、前記基板ホルダがめっき槽に配置された際にめっき液面より上方に位置するように、前記第１保持部材が構成されている、基板ホルダ。

【請求項12】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、前記基板の前記第１面に電流を供給するための第１基板接点を有し、
前記第２保持部材は、前記基板の前記第２面に電流を供給するための第２基板接点を有し、
前記第１基板接点を前記第１保持部材内で固定するための第１接点固定部と、前記第２基板接点を前記第２保持部材内で固定するための第２接点固定部とは、前記第１保持部材及び前記第２保持部材を係合させた状態で互いに重ならない、
基板ホルダ。

【請求項13】

請求項１２に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、前記第１開口部の外側に設けられた第１シールホルダを有し、
前記第２保持部材は、前記第２開口部の外側に設けられた第２シールホルダを有し、
前記第１及び第２基板接点は、それぞれ前記第１及び第２接点固定部によって前記第１及び第２シールホルダに取り付けられており、
前記第１シールホルダを前記第１保持部材内で固定するための第１ホルダ固定部と、前記第２シールホルダを前記第２保持部材内で固定するための第２ホルダ固定部とは、前記第１保持部材及び前記第２保持部材を係合させた状態で互いに重ならない、
基板ホルダ。

【請求項14】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、前記第１開口部の周囲に設けられた第１シールを有し、
前記第２保持部材は、前記第２開口部の周囲に設けられた第２シールを有し、
前記第１保持部材及び前記第２保持部材の少なくとも一方には、前記第１シール及び前記第２シールよりも外側において外側シールが更に設けられている、
基板ホルダ。

【請求項15】

請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１及び第２開口部は矩形状である、基板ホルダ。

【請求項16】

基板を保持するための基板ホルダと、
前記基板を前記基板ホルダに着脱するための基板着脱部と、
前記基板を保持した前記基板ホルダにめっき処理を施すためのめっき槽と、
前記基板ホルダを搬送する搬送機と
を備え、
前記基板ホルダは、
前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、
前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材であって、前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有する第２保持部材と、
を備え、
前記第１保持部材は、前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、少なくとも１つの第１外部接続接点と、前記少なくとも１つの第１基板接点と前記少なくとも１つの第１外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第１配線を有し、
前記第２保持部材は、前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、少なくとも１つの第２外部接続接点と、前記少なくとも１つの第２基板接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第２配線を有し、
前記少なくとも１つの第１外部接続接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点は電気的に独立である、
めっき装置。

【請求項17】

基板を保持するための基板ホルダであって、
前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、
前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材と、
を備え、
前記第１保持部材は、
第１外部接続部と、
前記基板の前記第１面に接触して前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、
前記第１外部接続部と、前記少なくとも１つの第１基板接点とに接続される第１導電経路部材と、
を有し、
前記第１導電経路部材には、前記第１基板接点が取り外し可能に取り付けられ、
前記第１導電経路部材は、前記第１保持部材と前記第２保持部材とでシールされた空間内に配置されており、前記第１保持部材の本体に着脱可能に取り付けられており、
前記第２保持部材は、
前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有し、
前記基板の前記第２面に接触して前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、
第２外部接続部と、
前記第２外部接続部と、前記少なくとも１つの第２基板接点とに接続される第２導電経路部材と、
を有し、
前記第２導電経路部材には、前記第２基板接点が取り外し可能に取り付けられる、
基板ホルダ。

【請求項18】

請求項１７に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、複数の第１基板接点を有し、並びに、前記第１外部接続部と、前記複数の第１基板接点の少なくとも１つとに接続され、前記第１導電経路部材から離間した第３導電経路部材を更に有する、基板ホルダ。

【請求項19】

請求項１８に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１導電経路部材及び前記第３導電経路部材の少なくとも一方は、複数の経路片に分割可能である、基板ホルダ。

【請求項20】

請求項１７に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１導電経路部材は、板状または棒状である、基板ホルダ。

【請求項21】

基板を保持するための基板ホルダと、
前記基板を前記基板ホルダに着脱するための基板着脱部と、
前記基板を保持した前記基板ホルダにめっき処理を施すためのめっき槽と、
を備え、
前記基板ホルダは、
前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、
前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材と、
を備え、
前記第１保持部材は、
第１外部接続部と、
前記基板の前記第１面に接触して前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、
前記第１外部接続部と、前記少なくとも１つの第１基板接点とに接続される第１導電経路部材と、
を有し、
前記第１導電経路部材には、前記第１基板接点が取り外し可能に取り付けられ、
前記第１導電経路部材は、前記第１保持部材と前記第２保持部材とでシールされた空間内に配置されており、前記第１保持部材の本体に着脱可能に取り付けられており、
前記第２保持部材は、
前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有し、
前記基板の前記第２面に接触して前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、
第２外部接続部と、
前記第２外部接続部と、前記少なくとも１つの第２基板接点とに接続される第２導電経路部材と、
を有し、
前記第２導電経路部材には、前記第２基板接点が取り外し可能に取り付けられる、
めっき装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板ホルダ及びめっき装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウェハやプリント基板等の基板の表面に配線やバンプ（突起状電極）等を形成したりすることが行われている。この配線及びバンプ等を形成する方法として、電解めっき法が知られている。電解めっき法に用いるめっき装置では、円形又は多角形の基板の端面をシールし、表面（被めっき面）を露出させて保持する基板ホルダを備える。このようなめっき装置において基板表面にめっき処理を行うときは、基板を保持した基板ホルダをめっき液中に浸漬させる。

【0003】

特許文献１には、基板の両面をめっき処理するための基板治具が記載されている。この基板治具は、別部材からなるベース部１、カバー部２、センター部３を備え、ベース部１にセンター部３を重ねた状態で基板を載せ、さらにカバー部２を重ねて、ベース部１、センター部３及びカバー部２を両側からクランプ部４で挟んで固定する。基板への電流の供給は、ベース部１に設けられたアーム部１４の通電経路から、センター部３内の一方の通電棒３４を介してベース部１の通電リング６に対して、他方の通電棒３４を介してカバー部２の通電リング６に電流が供給され、各通電リング６から基板の各面に電流が供給される（図３、６）。

【0004】

特許文献２には、基板の両面をめっき処理するための基板治具７０が記載されており、この基板治具７０では、ハンガー１４を備える第１保持部材１１と、第２保持部材１２との間に基板を挟持して保持している。基板への電流の供給は、第１保持部材１１内の導電プレート２２、導電膜ピン２３を介して基板の各面に電流が供給される。基板の一方の面に接続される導電膜ピン２３は、ハンガー１４の一方側に設けられた端子板２７に接続されており、基板の他方の面に接続される導電膜ピン２３は、ハンガー１４の他方側に設けられた端子板２８に接続されている（図９、１０）。

【0005】

また、第１保持部材７１及び第２保持部材７２によって角形基板の上縁部を保持し、第１保持部材７１の両側の端子板７８、７９から基板の各面に電流を供給する構成が記載されている。この構成では、第１保持部材７１の一方の端子板７９から電極接点７５を介して基板の一方の面に電流が供給され、第１保持部材７１の他方の端子板７８から通電用接点８１を介して、第２保持部材７２の通電用バネ接点８２、電極接点７６を介して基板の他方の面に電流が供給される（図２０、２１）。

【0006】

特許文献３には、２枚のウェハ重ねて配置し、外側に露出する２つの面を同時にめっき処理するためのウェハキャリア１００が記載されている。このウェハキャリア１００は、ウェハを挟持する非導電フランジ１２０と、フランジ１２０の上部に設けられたハンガー状の導電フランジ１１０とを備えている。この構成では、導電フランジ１１０から非導電フランジ１２０の各フランジ片１２１、１２２内に配置された導電体４２６、接点４２７から複数のポゴピン４２８を介して、ウェハの各面に電流が供給される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】国際公開第２０１４−０７６７８１号

【特許文献2】特開２００８−１８４６９２号公報

【特許文献3】米国特許第８２３６１５１号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

電解めっきでは、基板の寸法に適した数のコンタクト（基板接点）を基板治具に設け、これらの基板接点に電流を供給する必要がある。また、各基板接点に対して個別の電流経路で１又は複数の外部接続接点に接続することが好ましい場合があり、基板の寸法が大きくなると、コンタクト及び電流経路の数が増大する傾向にある。しかしながら、コンタクト及び電流経路の数が増大すると、基板治具の厚みが増大するおそれがある。このような問題は、基板の両面をめっき処理する基板治具で特に問題となると考えられるが、基板の片面をめっき処理する場合にも発生し得る。

【0009】

本発明の目的は、上述した課題の少なくとも一部を解決することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一側面は、基板を保持するための基板ホルダに関する。この基板ホルダは、 前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、 前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材であって、前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有する第２保持部材と、を備え、 前記第１保持部材は、少なくとも１つの第１外部接続接点を有し、前記第２保持部材は、前記第１外部接続接点とは独立した少なくとも１つの第２外部接続接点を有する。

【0011】

本発明の一側面は、 基板を保持するための基板ホルダと、 前記基板を前記基板ホルダに着脱するための基板着脱部と、 前記基板を保持した前記基板ホルダにめっき処理を施すためのめっき槽と、を備えるめっき装置に関する。このめっき装置では、 前記基板ホルダは、 前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、
前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材であって、前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有する第２保持部材と、を備え、 前記第１保持部材は、少なくとも１つの第１外部接続接点を有し、前記第２保持部材は、前記第１外部接続接点とは独立した少なくとも１つの第２外部接続接点を有する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】めっき装置の一実施形態を示す模式図である。

【図2A】基板ホルダの第１側からみた斜視図である。

【図2B】基板ホルダの第２側からみた斜視図である。

【図3A】基板ホルダの開放状態における第１保持部材及び第２保持部材を第１側からみた斜視図である。

【図3B】基板ホルダの開放状態における第１保持部材及び第２保持部材を第２側からみた斜視図である。

【図4A】第１保持部材の第１側からみた分解斜視図である。

【図4B】第１保持部材の第２側からみた分解斜視図である。

【図4C】配線収容部の斜視図である。

【図5A】第２保持部材の第１側からみた分解斜視図である。

【図5B】第２保持部材の第２側からみた分解斜視図である。

【図6A】第１アーム部及び第２アーム部が係合した状態を第１側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。

【図6B】第１アーム部及び第２アーム部が係合した状態を第２側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。

【図6C】第１アーム部及び第２アーム部が開放された状態を第１側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。

【図6D】第１アーム部及び第２アーム部が開放された状態を第２側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。

【図7A】第１外部接続部から第１本体部に至る配線の経路の構成を示すための第１保持部材の一部透視斜視図である。

【図7B】第１本体部の配線収容部との連結部における第１本体部の斜視図である。

【図7C】配線収容部の第１本体部との連結部における配線収容部を内側からみた斜視図である。

【図7D】配線収容部の第１本体部との連結部における配線収容部を外側からみた斜視図である。

【図8】配線収容部及び本体部の連結部における拡大平面図である。

【図8A】図８のＡ−Ａにおける断面図である。

【図8B】配線孔が形成されていない部分における図８のＢ−Ｂにおける断面図である。

【図8C】配線孔が形成されている部分における図８のＣ−Ｃにおける断面図である。

【図9A】第１保持部材の内側面側からみた正面図である。

【図9B】第１保持部材の内側面側からみた一部拡大正面図である。

【図9C】第１保持部材とともに第２保持部材を示す、図９ＢのＣ−Ｃにおける断面図である。

【図10】基板接点を固定するねじの配置を示す第１及び第２本体部の断面図である。

【図11】内側シールを取り付けるためのシールホルダを固定するねじの配置を示す第１及び第２本体部の断面図である。

【図12A】配線カバーを取り外した状態の外部接続部の拡大斜視図である。

【図12B】第１保持部材における電流経路の説明図である。

【図12C】第２保持部材における電流経路の説明図である。

【図12D】通電確認時の外部接続部の各接点の接続を示す模式図である。

【図12E】めっき処理時の外部接続部の各接点の接続を示す模式図である。

【図13A】基板セット部における基板の基板ホルダへの設置を説明する模式図である。

【図13B】基板ホルダの固定方法の一例を示す。

【図14A】第１保持部材の位置決め部の近傍の拡大斜視図である。

【図14B】第２保持部材の位置決め部の拡大斜視図である。

【図15】めっき槽の構成を概略的に示す側面図である。

【図16A】第１保持部材の第１アーム部の外部接続部と反対側における位置決め部の近傍の拡大斜視図である。

【図16B】第１保持部材の第１アーム部の外部接続部側の位置決め部の近傍の拡大斜視図である。

【図17】他の実施形態に係る基板ホルダの第１側からみた斜視図である。

【図18】基板ホルダの開放状態における第１保持部材及び第２保持部材を第１側からみた斜視図である。

【図19】基板ホルダの第１保持部材及び第２保持部材の分解斜視図である。

【図20】他の実施形態に係る導電経路部の斜視図である。

【図21】第１保持部材及び第２保持部材の基板保持面側からみた矢視図である。

【図22A】基板ホルダの基板接点近傍の拡大図である。

【図22B】基板ホルダの基板接点近傍の拡大図を、一部の基板接点を取り外した状態で示すものである。

【図23】第１保持部材とともに第２保持部材を示す、図２２ＢのＣ−Ｃにおける断面図である。

【図24】外部接続部カバーを取り外した状態の外部接続部の拡大斜視図である。

【図25】外部接続部の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下に、本発明に係るめっき装置およびめっき装置に使用される基板ホルダの実施形態を添付図面とともに説明する。添付図面において、同一または類似の要素には同一または類似の参照符号が付され、各実施形態の説明において同一または類似の要素に関する重複する説明は省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。なお、本明細書において「基板」には、半導体基板、ガラス基板、プリント回路基板だけでなく、磁気記録媒体、磁気記録センサ、ミラー、光学素子や微小機械素子、あるいは部分的に製作された集積回路を含む。基板は、任意の形状（角形、円形等）のものを含む。また、本明細書において「前面」、「背面」、「フロント」、「バック」、「上」、「下」、「左」、「右」等の表現を用いるが、これらは、説明の都合上、例示の図面の紙面上における位置、方向を示すものであり、装置使用時等の実際の配置では異なる場合がある。

【0014】

図１は、めっき装置の一実施形態を示す模式図である。図１に示すように、めっき装置は、架台１０１と、めっき装置の運転を制御する制御部１０３と、基板Ｗ（図２参照）をロードおよびアンロードするロード/アンロード部１７０Ａと、基板ホルダ１１（図２参照）に基板Ｗをセットし、かつ基板ホルダ１１から基板Ｗを取り外す基板セット部（メカ室、基板着脱部）１７０Ｂと、基板Ｗをめっきするプロセス部（前処理室、めっき室）１７０Ｃと、基板ホルダ１１を格納するホルダ格納部（ストッカ室）１７０Ｄと、めっきされた基板Ｗを洗浄および乾燥する洗浄部１７０Ｅとを備えている。本実施形態に係るめっき装置は、めっき液に電流を流すことで基板Ｗの第１面及び第２面を金属でめっきする電解めっき装置である。第１面及び第２面は、互いに対向する面であり、本実施形態では、表面及び裏面である。また、本実施形態の処理対象となる基板Ｗは、半導体パッケージ基板等である。また、基板Ｗの表面側および裏面側のそれぞれには、シード層等からなる電導層が形成され、さらに、この電導層の上のパターン面形成領域にはレジスト層が形成されており、このレジスト層には、予めトレンチやビアが形成されている。本実施形態においては、基板の表面と裏面とを接続する貫通孔を備える基板（いわゆるスルーホール基板）を処理対象として含み得る。

【0015】

図１に示すように、架台１０１は、複数の架台部材１０１ａ〜１０１ｈから構成されており、これら架台部材１０１ａ〜１０１ｈは連結可能に構成されている。ロード/アンロード部１７０Ａの構成要素は第１の架台部材１０１ａ上に配置されており、基板セット部１７０Ｂの構成要素は第２の架台部材１０１ｂ上に配置されており、プロセス部１７０Ｃの構成要素は第３の架台部材１０１ｃ〜第６の架台部材１０１ｆ上に配置されており、ホルダ格納部１７０Ｄの構成要素は第７の架台部材１０１ｇおよび第８の架台部材１０１ｈ上に配置されている。

【0016】

ロード/アンロード部１７０Ａには、めっき前の基板Ｗを収納したカセット（図示しない）が搭載されるロードステージ１０５と、プロセス部１７０Ｃでめっきされた基板Ｗを受け取るカセット（図示しない）が搭載されるアンロードステージ１０７とが設けられている。さらに、ロード/アンロード部１７０Ａには、基板Ｗを搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置１２２が配置されている。

【0017】

基板搬送装置１２２はロードステージ１０５に搭載されたカセットにアクセスし、めっき前の基板Ｗをカセットから取り出し、基板Ｗを基板セット部１７０Ｂに渡すように構成されている。基板セット部１７０Ｂでは、めっき前の基板Ｗが基板ホルダ１１にセットされ、めっき後の基板Ｗが基板ホルダ１１から取り出される。

【0018】

プロセス部１７０Ｃには、プリウェット槽１２６と、プリソーク槽１２８と、第１リン
ス槽１３０ａと、ブロー槽１３２と、第２リンス槽１３０ｂと、第１めっき槽１０ａと、第２めっき槽１０ｂと、第３リンス槽１３０ｃと、第３めっき槽１０ｃとが配置されている。これら槽１２６，１２８，１３０ａ，１３２，１３０ｂ，１０ａ，１０ｂ，１３０ｃ，１０ｃは、この順に配置されている。以下の説明では、第１めっき槽１０ａ、第２めっき槽１０ｂ、第３めっき槽１０ｃを総称して、又は、これらのめっき槽のうち任意のめっき槽を参照して、めっき槽１０と称する場合がある。

【0019】

プリウェット槽１２６では、前処理準備として、基板Ｗが純水に浸漬される。プリソーク槽１２８では、基板Ｗの表面に形成されたシード層などの導電層の表面の酸化膜が薬液によってエッチング除去される。第１リンス槽１３０ａでは、プリソーク後の基板Ｗが洗浄液（例えば、純水）で洗浄される。

【0020】

第１めっき槽１０ａ、第２めっき槽１０ｂ、および第３めっき槽１０ｃの少なくとも１つのめっき槽１０では、基板Ｗの両面がめっきされる。なお、図１に示される実施形態においては、めっき槽１０は、３つであるが、他の実施形態として任意の数のめっき槽１０を備えるようにしてもよい。

【0021】

第２リンス槽１３０ｂでは、第１めっき槽１０ａまたは第２めっき槽１０ｂでめっきされた基板Ｗが基板ホルダ１１とともに洗浄液（例えば、純水）で洗浄される。第３リンス槽１３０ｃでは、第３めっき槽１０ｃでめっきされた基板Ｗが基板ホルダ１１とともに洗浄液（例えば、純水）で洗浄される。ブロー槽１３２では、めっき処理前後において洗浄後の基板Ｗの液切りが行われる。

【0022】

プリウェット槽１２６、プリソーク槽１２８、リンス槽１３０ａ〜１３０ｃ、およびめっき槽１０ａ〜１０ｃは、それらの内部に処理液（液体）を貯留できる処理槽である。これら処理槽は、処理液を貯留する複数の処理セルを備えているが、この実施形態に限定されず、これら処理槽は単一の処理セルを備えてもよい。また、これら処理槽の少なくとも一部が単一の処理セルを備えており、他の処理槽は複数の処理セルを備えてもよい。

【0023】

めっき装置は、基板ホルダ１１を搬送する搬送機１４０をさらに備えている。搬送機１４０はめっき装置の構成要素の間を移動可能に構成されている。搬送機１４０は、基板セット部１７０Ｂからプロセス部１７０Ｃまで水平方向に延びる固定ベース１４２と、固定べ一ス１４２に沿って移動可能に構成された複数のトランスポータ１４１とを備えている。

【0024】

これらトランスポータ１４１は、基板ホルダ１１を保持するための可動部（図示しない）をそれぞれ有しており、基板ホルダ１１を保持するように構成されている。トランスポータ１４１は、基板セット部１７０Ｂ、ホルダ格納部１７０Ｄ、およびプロセス部１７０Ｃとの間で基板ホルダ１１を搬送し、さらに基板ホルダ１１を基板Ｗとともに上下動させるように構成されている。例えば、トランスポータ１４１の１つは、基板Ｗを保持した基板ホルダ１１をめっき槽１０の上から下降させることにより、基板Ｗを基板ホルダ１１とともにめっき槽１０内のめっき液中に浸漬させることができる。トランスポータ１４１の移動機構として、例えばモータとラックアンドピニオンとの組み合わせが挙げられる。なお、図１に示される実施形態では、３つのトランスポータが設けられているが、他の実施形態として任意の数のトランスポータを採用してもよい。

【0025】

（基板ホルダ）
図２Ａは、基板ホルダの第１側からみた斜視図である。図２Ｂは、基板ホルダの第２側からみた斜視図である。図３Ａは、基板ホルダの開放状態における第１保持部材及び第２保持部材を第１側からみた斜視図である。図３Ｂは、基板ホルダの開放状態における第１
保持部材及び第２保持部材を第２側からみた斜視図である。図４Ａは、第１保持部材の第１側からみた分解斜視図である。図４Ｂは、第１保持部材の第２側からみた分解斜視図である。図４Ｃは、配線収容部の斜視図である。図５Ａは、第２保持部材の第１側からみた分解斜視図である。図５Ｂは、第２保持部材の第２側からみた分解斜視図である。

【0026】

基板ホルダ１１は、第１開口部１１２Ａを有する第１保持部材１１０Ａと、第２開口部１１２Ｂを有する第２保持部材１１０Ｂとを備えている。基板ホルダ１１は、第１保持部材１１０Ａおよび第２保持部材１１０Ｂによって基板Ｗを挟持することにより基板Ｗを保持する。第１保持部材１１０Ａおよび第２保持部材１１０Ｂは、それぞれ第１開口部１１２Ａ及び第２開口部１１２Ｂによって、基板Ｗの第１面（表面）および第２面（裏面）のそれぞれの被めっき面が露出するように保持される。換言すれば、第１開口部１１２Ａは、基板Ｗの外周部だけを両側から挟むことで基板Ｗを保持する。基板ホルダ１１は、アーム部１６０を備え、アーム部１６０がトランスポータ１４１に保持された状態で搬送される。以下の説明では、基板ホルダ１１において基板Ｗの第１面（表面）が露出される側を第１側、基板の第２面（裏面）が露出される側を第２側と称する場合がある。図２Ａでは、第１保持部材１１０Ａの第１開口部１１２Ａから基板Ｗの第１面（表面）が露出していることが示されている。図２Ｂでは、第２保持部材１１０Ｂの第２開口部１１２Ｂから基板Ｗの第２面（裏面）が露出していることが示されている。

【0027】

本実施形態では、基板ホルダ１１は、四角形の基板Ｗを保持するためのものであるが、これに限定されるものではなく、円形の基板を保持するものとしてもよい。その場合、第１開口部１１２Ａ及び第２開口部１１２Ｂも円形となる。あるいは、基板Ｗを六角形等の多角形の基板とすることもできる。この場合、第１開口部１１２Ａ及び第２開口部１１２Ｂも同様に多角形となる。

【0028】

第１保持部材１１０Ａは、第１本体部１１１Ａと、第１配線収容部１５０Ａと、第１アーム部１６０Ａとを備えている（図３Ａ、図４Ａ）。第２保持部材１１０Ｂは、第２本体部１１１Ｂと、第２配線収容部１５０Ｂと、第２アーム部１６０Ｂとを備えている（図３Ａ、図５Ａ）。

【0029】

第１本体部１１１Ａは、第２本体部１１１Ｂとともに、基板Ｗを保持する本体部１１１を提供する（図２Ａ、図３Ａ）。第１本体部１１１Ａは、第１開口部１１２Ａが形成された第１本体１１１０Ａと、後述するシール、基板接点等の構成部材を備えている。第１本体１１１０Ａは、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとが係合されたときに、外側及び内側となる外側面及び内側面を有する板状部材である。第１本体１１１０Ａの内側面に、シール、基板接点等の構成部材が配置されている。第１本体部１１１Ａは、第１配線収容部１５０Ａの突出部１５７Ａの両側において、第１配線収容部１５０Ａの取付部１５５Ａに取り付けられる取付部１１３Ａを有する（図４Ａ）。各取付部１１３Ａは、第１配線収容部１５０Ａの突出部１５７Ａの両側において突出する。また、第１本体部１１１Ａは、第１配線収容部１５０Ａ側の略中央部の取付部１５８Ａに取り付けられる突出部としての取付部１１４Ａを有する（図４Ａ）。取付部１１３Ａ、１１４Ａ、取付部１５５Ａ、１５８Ａには、ボルト孔等の取付構造が設けられている。取付部１１３Ａ、１１４Ａは、取付部１５５Ａ、１５８Ａにボルト等の締結部材で固定される。本実施形態では、取付部１１３Ａ、１１４Ａは、第１本体１１１０Ａと一体に形成されている。

【0030】

第１配線収容部１５０Ａは、複数の配線Ｌ（電流経路）を通過させる経路を提供するとともに、各配線Ｌの余分な長さの部分を収容する配線収容部１５０を提供する（図２Ａ、図３Ａ）。第１配線収容部１５０Ａは、収容空間１５２Ａ（図４Ｃ）を有する。収容空間１５２Ａは、第１アーム部１６０Ａの外部接続部１６１Ａから基板接点に延びる複数の配線Ｌ（電流経路）を通過させる経路を提供するとともに、各配線Ｌの余分な長さの部分を
収容する。第１配線収容部１５０Ａは、収容空間１５２Ａを閉じる第１蓋部１５１Ａを有している。本実施形態では、各外部接続接点１６８と各基板接点１１７とを個別の配線Ｌで接続し、各配線Ｌの長さを略同一の長さとすることよって、各外部接続接点１６８と各基板接点１１７（図１２Ｂ）との間の抵抗値を均一にする。各基板接点１１７に流れる電流を均一にするためである。この場合、基板接点１１７の位置に応じて、各外部接続接点１６８と各基板接点１１７との間の距離が異なり、最も距離の大きい経路に合わせて配線の長さが設定される。このため、基板接点１１７の位置に応じて、余分な配線の長さの部分が生じるが、これを第１配線収容部１５０Ａにおいて収納する。

【0031】

第１配線収容部１５０Ａは、第１アーム部１６０Ａの取付部１６６Ａに取り付けられる２つの取付部１５４Ａを有している（図４Ａ）。取付部１５４Ａには、第１アーム部１６０Ａに取り付けるためのボルト孔等の取付構造が設けられている。また、第１配線収容部１５０Ａは、第１本体部１１１Ａの２箇所の取付部１１３Ａにそれぞれ取り付けられる２つの取付部１５５Ａと、第１本体部１１１Ａの取付部１１４Ａに取り付けられる取付部１５８Ａとを更に有している。取付部１５５Ａ、１５８Ａには、第１配線収容部１５０Ａに取り付けるためのボルト孔等の取付構造が設けられている。第１配線収容部１５０Ａは、第１アーム部１６０Ａ及び第１本体部１１１Ａに対して、各取付部において、例えばボルト等の締結手段によって固定される。

【0032】

第１アーム部１６０Ａは、第２アーム部１６０Ｂとともに、トランスポータ１４１で保持する部分、並びに、めっき槽において保持されるアーム部１６０を提供する（図２Ａ、図３Ａ）。第１アーム部１６０Ａは、細長い板状部材または棒状部材を備えている。第１アーム部１６０Ａは、外部接続部１６１Ａと、外部接続部１６１Ａ及び配線Ｌを保護するための外部接続部カバー１６２Ａとを有している。また、第１アーム部１６０Ａは、第２保持部材１１０Ｂの第２アーム部１６０Ｂに係合する係合部１６４Ａ、１６５Ａを有している（図３Ｂ）。係合部１６４Ａ、１６５Ａによって、第１アーム部１６０Ａと第２アーム部１６０Ｂとが互いに係合し、位置決めされるようになっている。また、第１アーム部１６０Ａは、第１配線収容部１５０Ａの２つの取付部１５４Ａにそれぞれ対応する２つの取付部１６６Ａを有している（図４Ａ）。係合部１６５Ａは、図４Ｂ及び図６Ｄに示すように、細長い板状部材または棒状部材の他の部分（例えば、中央部分）よりも第１本体部１１１Ａ側に延長された薄肉部１６５０Ａを備えている。また、薄肉部１６５０Ａの第１本体部１１１Ａ側には、他の部分（例えば、中央部分）と略同一の厚みを持つ部分がフランジ状に設けられている。また、薄肉部１６５０Ａの外部接続部１６１Ａ側には、薄肉部よりも厚みのあるブロック状の部分が設けられている。従って、薄肉部１６５０Ａは、三方から囲まれる凹部となっており、この凹部に、第２アーム部１６０Ｂの端部１６５Ｂが係合されるようになっている。

【0033】

図１６Ａは、第１保持部材の第１アーム部の外部接続部と反対側における位置決め部の近傍の拡大斜視図である。図１６Ｂは、第１保持部材の第１アーム部の外部接続部側の位置決め部の近傍の拡大斜視図である。図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、第１アーム部１６０Ａは、その両端部において、基板ホルダ１１を基板セット部１７０Ｂ及びめっき槽１０において位置決めするための位置決め部１６３Ｒ、１６３Ｌを有している。各位置決め部１６３Ｒ、１６３Ｌは、位置決め穴を有しており、基板セット部１７０Ｂ及びめっき槽１０に設けられた位置決めピン（図示せず）に係合することによって、基板ホルダ１１が位置決めされるようになっている。なお、一方の位置決め穴を長穴として、基板ホルダ１１の左右方向の位置調整を可能にしてもよい。図１６Ａには、位置決め部１６３Ｌの位置決め穴を長穴にした場合を示す。

【0034】

第２保持部材１１０Ｂは、第２本体部１１１Ｂと、第２配線収容部１５０Ｂと、第２アーム部１６０Ｂとを備えている（図３Ａ、図５Ａ）。第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収
容部１５０Ｂの構成は、第１本体部１１１Ａ及び第１配線収容部１５０Ａの構成と概ね同様であるので詳細な説明を省略し、同様の構成に同一番号とアルファベットのＢで示す符号を付す。

【0035】

第２アーム部１６０Ｂは、細長い板状部材または棒状部材を備えている。第２アーム部１６０Ｂは、外部接続部１６１Ｂと、外部接続部１６１Ｂ及び配線Ｌを保護するための外部接続部カバー１６２Ｂとを有している。また、第２アーム部１６０Ｂは、第２配線収容部１５０Ｂの２つの取付部１５４Ｂにそれぞれ対応する２つの取付部１６６Ｂを有している（図５Ａ）。第２アーム部１６０Ｂは、取付部１６６Ｂによって第２配線収容部１５０Ｂの取付部１５４Ｂに、例えばボルト等の締結手段によって固定される。また、第２アーム部１６０Ｂは、２つの取付部１６６Ｂの間において他の部分よりも幅が狭い狭幅部１６４Ｂを有している。

【0036】

図６Ａは、第１アーム部及び第２アーム部が係合した状態を第１側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。図６Ｂは、第１アーム部及び第２アーム部が係合した状態を第２側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。図６Ｃは、第１アーム部及び第２アーム部が開放された状態を第１側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。図６Ｄは、第１アーム部及び第２アーム部が開放された状態を第２側からみた、アーム部近傍の拡大斜視図である。

【0037】

図６Ａ〜Ｄに示すように、第１アーム部１６０Ａの係合部１６４Ａは、第２アーム部１６０Ｂの外部接続部カバー１６２Ｂの上面及び端面に係合する（図６Ａ、図６Ｂ）。第１アーム部１６０Ａの係合部１６５Ａの凹部には、第２アーム部１６０Ｂの外部接続部カバー１６２Ｂとは反対側の端部１６５Ｂが係合する（図６Ｂ）。このとき、第１アーム部１６０Ａの係合部１６５Ａは、第２アーム部１６０Ｂの端部１６５Ｂを上下方向及び端面側から嵌合する形状である。このように、第１アーム部１６０Ａ及び第２アーム部１６０Ｂは、全体として第１アーム部１６０Ａが第２アーム部１６０Ｂの上方に重なる状態で、互いに係合される。すなわち、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂが係合した状態で、第１アーム部１６０Ａと第２アーム部１６０Ｂとが、第１及び第２本体部１１１Ａ、１１１Ｂから第１及び第２アーム部１６０Ａ、１６０Ｂに向かう方向において並んでいる。即ち、第１アーム部１６０Ａ及び第２アーム部１６０Ｂには、それぞれ基板ホルダ１１の上方及び下方の空間が割り当てられ、上下に棲み分けられている。この構成によれば、基板ホルダ１１の厚み方向の寸法が増大することが抑制ないし防止される。

【0038】

また、第２アーム部１６０Ｂの狭幅部１６４Ｂの部分において、第１アーム部１６０Ａと第２アーム部１６０Ｂとの間に隙間が形成されており、トランスポータ１４１の爪（基板ホルダ１１の把持のための爪）の逃げ空間を形成している。

【0039】

また、図６Ａ〜Ｄに示すように、第１アーム部１６０Ａ及び第２アーム部１６０Ｂを係合したとき、第１及び第２アーム部１６０Ａ、１６０Ｂの第１及び第２外部接続部１６１Ａ、１６１Ｂは、それぞれ干渉しないように基板ホルダ１１の幅方向の反対側に配置される。即ち、第１及び第２外部接続部１６１Ａ、１６１Ｂは、基板ホルダ１１の左右両端、つまり、アーム部１６０の左右両端に位置する。めっき槽１０において、基板ホルダ１１のアーム部１６０の左右両端から基板Ｗの第１面および第２面への給電を行うことができるので、アーム部１６０の片方の端部に外部接続部を集中させる形態に比べて基板ホルダ１１を厚みの増大を防ぐことができる。

【0040】

図７Ａは、第１外部接続部から第１本体部に至る配線の経路の構成を示すための第１保持部材の一部透視斜視図である。図７Ｂは、第１本体部の配線収容部との連結部における第１本体部の斜視図である。図７Ｃは、配線収容部の第１本体部との連結部における配線
収容部を内側からみた斜視図である。図７Ｄは、配線収容部の第１本体部との連結部における配線収容部を外側からみた斜視図である。なお、以下の説明では、第１保持部材１１０Ａの配線Ｌの経路の構成を説明するが、第２保持部材１１０Ｂの配線Ｌの経路についても同様である。

【0041】

図７Ａに示すように、第１外部接続部１６１Ａに接続された複数の配線Ｌは、第１配線収容部１５０Ａの内側の収容空間１５２Ａ（図４Ｃ）を通り、第１本体部１１１Ａに設けられた配線孔１１６Ａ（図７Ａ、Ｂ）を通って第１本体部１１１Ａ内に導入される。配線孔１１６Ａは、加工によって形成された錐穴であり、各配線Ｌに対応して設けられている。第１配線収容部１５０Ａの第１本体部１１１Ａ側の肉厚部には、各配線Ｌに対応する複数の配線孔１９２Ａが設けられており（図７Ｃ、Ｄ）、これらの配線孔１９２Ａを通って、複数の配線Ｌが第１本体部１１１Ａ側に導出される。複数の配線孔１９２Ａから出た配線Ｌは、第１本体部１１１Ａの対応する配線孔１１６Ａを通され（図７Ｂ）、第１本体部１１１Ａ内に導入される。

【0042】

図８は、配線収容部及び本体部の連結部における拡大平面図である。図８Ａは、図８のＡ−Ａにおける断面図である。図８Ｂは、配線孔が形成されていない部分における図８のＢ−Ｂにおける断面図である。図８Ｃは、配線孔が形成されている部分における図８のＣ−Ｃにおける断面図である。

【0043】

図８及び図８Ａに示すように、第１本体部１１１Ａは、幅方向の略中央において肉薄部である取付部１１４Ａを有している。取付部１１４Ａは、内側面（第２保持部材１１０Ｂ側の面）及び外側面（第２保持部材１１０Ｂと反対側の面）において、第１本体部１１１Ａの他の部分よりも厚みの小さい薄肉部からなる段差部を有している。第１配線収容部１５０Ａは、第１本体部１１１Ａの取付部１１４Ａの段差部に対応する形状の凹部を形成する取付部１５８Ａ及び１５９Ａを有している。第１本体部１１１Ａの取付部１１４Ａと、第１配線収容部１５０Ａの取付部１５８Ａとには、例えば、ボルト孔（図示せず）が形成されており、ボルトによって取付部１１４Ａ及び取付部１５８Ａが固定される。第２保持部材１１０Ｂの第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂも同様の構成である。

【0044】

この構成によれば、第１配線収容部１５０Ａの取付部１５９Ａが、第１本体部１１１Ａの取付部１１４Ａの外側面に重なるような傘構造となるため、第１保持部材１１０Ａの外側面側から、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとの間の内側空間２００にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。同様に、第２配線収容部１５０Ｂの取付部１５９Ｂが、第２本体部１１１Ｂの取付部１１４Ｂの外側面に重なるような傘構造となるため、第２保持部材１１０Ｂの外側面側（第１保持部材１１０Ａとは反対側）から、内側空間２００にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。つまり、傘構造によって、基板ホルダ１１の内側空間２００に液はね等によりめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。

【0045】

図８及び図８Ｂに示すように、第１本体部１１１Ａは、取付部１１４Ａ以外の配線孔１１６Ａが形成されていない部分において、取付部１１５Ａを有する。取付部１１５Ａは、外側面（第２保持部材１１０Ｂと反対側の面）において、第１本体部１１１Ａの他の部分よりも厚みの小さい薄肉部からなる段差部を有している。第１配線収容部１５０Ａは、第１本体部１１１Ａの取付部１１５Ａの段差部に対応する形状のフランジ部からなる取付部１９１Ａを有している。第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとが係合したとき、第１配線収容部１５０Ａの取付部１９１Ａが、第１本体部１１１Ａの取付部１１５Ａの段差部に係合する。第２保持部材１１０Ｂの第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂも同様の構成である。

【0046】

この構成によれば、第１配線収容部１５０Ａの取付部１９１Ａが、第１本体部１１１Ａの取付部１１５Ａの外側面に重なるような傘構造となるため、第１保持部材１１０Ａの外側面側から、基板ホルダ１１の内側空間２００にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。同様に、第２配線収容部１５０Ｂの取付部９１１Ｂが、第２本体部１１１Ｂの取付部１１５Ｂの外側面に重なるような傘構造となるため、第２保持部材１１０Ｂの外側面側から、基板ホルダ１１の内側空間２００にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。つまり、傘構造によって、基板ホルダ１１の内側空間２００に液はね等によりめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。

【0047】

図８Ｃに示すように、図８のＣ−Ｃの位置では、第１配線収容部１５０Ａ及び第１本体部１１１Ａにそれぞれ配線孔１９２Ａ及び配線孔１１６Ａが設けられている。第１配線収容部１５０Ａと第１本体部１１１Ａとの連結構造は、図８Ｂの場合と同様である。配線Ｌは、第１配線収容部１５０Ａの収容空間１５２Ａから配線孔１９２Ａを通り、第１本体部１１１Ａの配線孔１１６Ａを通過している。第２保持部材１１０Ｂの第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂも同様の構成である。

【0048】

この構成によれば、第１配線収容部１５０Ａの取付部１９１Ａが、第１本体部１１１Ａの取付部１１５Ａの外側面に重なるような傘構造となるため、第１保持部材１１０Ａの外側面側から、基板ホルダ１１の内側空間２００にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。同様に、第２配線収容部１５０Ｂの取付部１９１Ｂが、第２本体部１１１Ｂの取付部１１５Ｂの外側面に重なるような傘構造となるため、第２保持部材１１０Ｂの外側面側から、基板ホルダ１１の内側空間２００にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。つまり、傘構造によって、基板ホルダ１１の内側の空間２００に液はね等によりめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。

【0049】

図８〜図８Ｃを参照して以上説明したように、第１本体部１１１Ａと第１配線収容部１５０Ａとは、連結部において、第１配線収容部１５０Ａの壁部（取付部）が、第１本体部１１１Ａの壁部（取付部）に外側から重なる傘構造を有する。この構成により、第１保持部材１１０Ａの外側面側から、第１本体部１１１Ａ及び第１配線収容部１５０Ａの連結部を介して、及び／又は、内側空間２００を介して、配線孔１９２Ａ及び配線孔１１６Ａにめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。 同様に、第２本体部１１１Ｂと第２配線収容部１５０Ｂとは、連結部において、第２配線収容部１５０Ｂの壁部（取付部）が、第２本体部１１１Ｂの壁部（取付部）に外側から重なる傘構造を有する。この構成により、第２保持部材１１０Ｂの外側面側から、第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂの連結部を介して、及び／又は、内側空間２００を介して、配線孔１９２Ｂ及び配線孔１１６Ｂにめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。この構成によれば、配線Ｌをめっき液から保護するために、配線孔１９２及び配線孔１１６を密閉するシール部材を省略することができる。

【0050】

また、本実施形態では、基板ホルダ１１をめっき槽１０に配置したときに、第１本体部１１１Ａ及び第１配線収容部１５０Ａの連結部、並びに、第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂの連結部がめっき液面Ｓよりも上方に位置するように、各連結部の位置を配置している（図８Ａ〜図８Ｃ）。言い換えれば、めっき液面Ｓが、基板Ｗの保持位置より上方、かつ、第１本体部１１１Ａ及び第１配線収容部１５０Ａの連結部、並びに、第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂの連結部よりも下方になるように、基板ホルダ１１が構成されている。よって、第１本体部１１１Ａ及び第１配線収容部１５０Ａの連結部、並びに、第２本体部１１１Ｂ及び第２配線収容部１５０Ｂの連結部における傘構造と、連結部がめっき液から離れた配置によって、配線孔１９２及び配線孔１１６にめっき液が侵入することを更に効果的に抑制ないし防止できる。この構成によれば、配線Ｌをめっき液から保護するために、配線孔１９２及び配線孔１１６を密閉するシール部材を省
略することができる。

【0051】

また、本実施形態では、基板ホルダ１１をめっき槽１０に配置したときに、第１及び第２配線収容部１５０Ａ、１５０Ｂがめっき液面Ｓよりも上方に位置するように、第１及び第２配線収容部１５０Ａ、１５０Ｂを配置している。この構成によれば、基板ホルダ１１の両側に近接してパドルが配置される空間よりも上方に第１及び第２配線収容部１５０Ａ、１５０Ｂを配置することになるので、第１及び第２配線収容部１５０Ａ、１５０Ｂの厚み方向の寸法が制約を受けにくくなる。

【0052】

図９Ａは、第１保持部材の内側面側からみた正面図である。図９Ｂは、第１保持部材の内側面側からみた一部拡大正面図である。図９Ｃは、第１保持部材とともに第２保持部材を示す、図９ＢのＣ−Ｃにおける断面図である。

【0053】

図９Ａ、図９Ｂでは、第１保持部材１１０Ａを例に挙げて説明する。なお、第２保持部材１１０Ｂも、外側シールを有さない点を除いて、同様の説明が適用される。図９Ａに示すように、第１保持部材１１０Ａは、第１開口部１１２Ａの周囲に複数の基板接点１１７Ａを有する。本実施形態では、１８個の基板接点１１７Ａが設けられる場合を例示するが、基板Ｗの寸法、めっき電流の大きさ等に応じて、任意の数の基板接点を設けることができる。各基板接点１１７Ａは、個々の配線Ｌによって外部接続部１６１Ａ（図３Ａ）に接続されている。

【0054】

図９Ｂに示すように、第１本体部１１１Ａは、第１本体１１１０Ａの内側面において、内側シール１２０Ａと、内側シール１２０Ａを取り付けるためのシールホルダ１１８Ａと、外側シール１２１Ａと、外側シール１２１Ａを取り付けるためのシールホルダ１１９Ａとを備えている。シールホルダ１１８Ａと、シールホルダ１１９Ａとの間には、配線Ｌを通すための配線経路１２７Ａが形成されている。各基板接点１１７Ａは、内側シール１２０Ａの外側においてシールホルダ１１８Ａにねじ１２２Ａによって固定されている。シールホルダ１１８Ａは、内側シール１２０Ａを第１本体１１１０Ａとの間に挟んだ状態で、第１本体１１１０Ａに固定されている（図９Ｃ）。本実施形態では、シールホルダ１１８Ａは、ねじ１２３Ａによって第１本体１１１０Ａに固定されている（図９Ｂ）。ねじ１２３Ａが配置される部分では、基板接点１１７Ａに穴が設けられており、ねじ１２３Ａが基板接点１１７Ａに接触しないように構成されている。シールホルダ１１９Ａは、外側シール１２１Ａを第１本体１１１０Ａとの間に挟んだ状態で、第１本体１１１０Ａに固定されている（図９Ｃ）。本実施形態では、シールホルダ１１９Ａは、ねじ１２４Ａによって第１本体１１１０Ａに固定されている（図９Ｂ）。

【0055】

各配線Ｌは、対応する基板接点１１７Ａの近傍まで延び、先端側の被覆が除去され、導電線１２５が露出されている（図９Ｂ）。配線Ｌの導電線１２５が、シールホルダ１１８Ａに設けられた溝１２６Ａ（図９Ｃ）に導入され、配線Ｌの導電線１２５及び基板接点１１７Ａが、ねじ１２２Ａ（図９Ｂ）によってシールホルダ１１８Ａに対して締め付けられる。これにより、配線Ｌが、対応する基板接点１１７Ａと電気的に接続される。なお、図９Ｃでは、第２保持部材１１０Ｂの第２本体部１１１Ｂにおいて、配線Ｌの導電線１２５及び基板接点１１７Ｂが、ねじ１２２Ｂによってシールホルダ１１８Ａに対して締め付けられた部分を示している。第２本体部１１１Ｂは、図９Ｃに示すように、外側シール及びそのシールホルダを有さない点以外は、第１本体部１１１Ａと同様の構成を有する。他の実施形態では、第２本体部１１１Ｂにも、外側シールを設けても良い。

【0056】

図９Ｃに示すように、内側シール１２０によって、基板Ｗの被めっき領域（第１及び第２開口部１１２Ａ、１１２Ｂ側）と、第１及び第２本体部１１１Ａ、１１１Ｂの内周側端部との間が密閉される。また、第１保持部材１１０Ａの外側シール１２１Ａが、第２保持
部材１１０Ｂの第２本体１１０Ｂの内側面に密着することによって、第１及び第２本体部１１１Ａ、１１１Ｂの間が外周側で密閉される。この結果、内側シール１２０Ａ、Ｂ及び外側シール１２１Ａによって、第１及び第２本体部１１１Ａ、１１１Ｂの間の内部空間が密閉され、基板接点１１７、ケーブルＬがめっき液から保護される。

【0057】

図１０は、基板接点を固定するねじの配置を示す第１及び第２本体部の断面図である。図１１は、内側シールを取り付けるためのシールホルダを固定するねじの配置を示す第１及び第２本体部の断面図である。図１０に示すように、基板接点１１７Ａを固定するねじ１２２Ａと、基板接点１１７Ｂを固定するねじ１２２Ｂとは、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとが係合した状態で、互いに重ならないように配置されている。第１保持部材１１０Ａのねじ１２２Ａと、第２保持部材１１０Ｂの螺子１２２Ｂとの間の干渉を避け、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとの間をより接近させることが可能になる。 また、図１１に示すように、シールホルダ１１８Ａを固定するねじ１２３Ａと、シールホルダ１１８Ｂを固定するねじ１２３Ｂとは、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとが係合した状態で、互いに重ならないように配置されている。第１保持部材１１０Ａのねじ１２３Ａと、第２保持部材１１０Ｂの螺子１２３Ｂとの間の干渉を避け、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとの間をより接近させることが可能になる。この結果、第１保持部材１１０Ａのねじ１２２Ａ、１２３Ａと、第２保持部材１１０Ｂの螺子１２２Ｂ、１２３Ｂとの間の干渉を避け、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとの間をより接近させることが可能になる。

【0058】

図１２Ａは、外部接続部カバーを取り外した状態の外部接続部の拡大斜視図である。ここでは、第１保持部材１１０Ａの第１外部接続部１６１Ａを例に挙げて説明するが、第２保持部材１１０Ｂの第２外部接続部１６１Ｂも同様の構成を有する。第１外部接続部１６１Ａは、第１保持部材１１０Ａの基板接点１１７Ａの数に対応する数の個別の外部接続接点１６８を有する。本実施形態では、１８個の基板接点１１７Ａが９個ずつ２列に配置されている。以下の説明では、図１２Ａにおいて、紙面手前側が基板ホルダの内側であり、紙面奥側が基板ホルダの外側に対応する。第１外部接続部１６１Ａにおいて、複数の基板接点１１７Ａの内側には、バスバー１６７が設けられている。各外部接続接点１６８は、個別の配線Ｌによって、対応する基板接点１１７Ａに接続されており、互いに電気的に絶縁されている。通電確認時には、図１２Ｄに示すように、通電確認装置１６９の各接点２３０がそれぞれ個別の外部接続接点１６８に当接し、電気的に接続される。なお、めっき処理時には、後述するように、各外部接続接点１６８は、互いに電気的に短絡されて同一の電位が供給される（図１２Ｅ）。他の実施形態では、１つの外部接続接点１６８に２本以上の配線Ｌを接続して、それら２本以上の配線の他端をそれぞれ異なる基板接点１１７Ａに接続してもよい。また、複数の外部接続接点１６８を複数の配線Ｌに接続して、それらの配線Ｌを１つの基板接点に接続してもよい。

【0059】

図１２Ｂは、第１保持部材における電流経路の説明図である。図１２Ｃは、第２保持部材における電流経路の説明図である。第１保持部材１１０Ａでは、第１外部接続部１６１Ａの各外部接続接点１６８から各基板接点１１７Ａに矢印で示す経路で電流が供給される（図１２Ｂ）。第２保持部材１１０Ｂでは、第２外部接続部１６１Ｂの各外部接続接点１６８から各基板接点１１７Ｂに矢印で示す経路で電流が供給される（図１２Ｃ）。第１保持部材１１０Ａ及び第２保持部材１１０Ｂの各外部接続接点１６８、基板接点１１７Ａ、１１７Ｂには、めっき処理時において共通の電位が供給され、通電確認時において一部または全部の外部接続接点１６８に異なる電位が供給される。

【0060】

図１２Ｄは、通電確認時の外部接続部の各接点の接続を示す模式図である。通電確認処理は、基板セット部１７０Ｂ（図１）において基板ホルダ１１に基板Ｗが挟持された状態で実行される。基板セット部１７０Ｂには、通電確認装置１６９の端子２３０が配置され
ている。本実施形態では、外部接続部１６１Ａは、９個の外部接続接点１６８が並んだ列を２列有する（図１２Ａ）。通電確認処理は、外部接続部１６１Ａの各外部接続接点１６８がバスバー１６７に接触しない状態で、通電確認装置１６９の端子２３０に接触した状態で実行される（図１２Ｄ）。通電確認装置１６９の各端子２３０は、対応する外部接続接点１６８に個別の電位を供給することが可能であり、任意の２つの外部接続接点１６８間の電流を測定することができる。また、複数の外部接続接点１６８をグループとして、グループごとに外部接続接点１６８間の電流を測定することができる。

【0061】

例えば、図１２Ａに示すように、互いに対向する各列３個ずつの接点を１つのグループとして、３つのグループＩ、ＩＩ、ＩＩＩに分けて通電確認処理を実行する。一例では、グループＩの手前側列の３個の外部接続接点１６８に接続される端子２３０と、奥側列の３個の外部接続接点１６８に接続される端子２３０と、の間に電位差を印加して電流を測定する。次に、グループＩＩの手前側列の３個の外部接続接点１６８に接続される端子２３０と、奥側列の３個の外部接続接点１６８に接続される端子２３０と、の間に電位差を印加して電流を測定する。次に、グループＩＩＩの手前側列の３個の外部接続接点１６８に接続される端子２３０と、奥側列の３個の外部接続接点１６８に接続される端子２３０と、の間に電位差を印加して電流を測定する。

【0062】

電流は、例えば、手前側の端子２３０が高電位、奥側の端子２３０が低電位とすると、グループＩでは、手前側の端子２３０、グループＩの手前側の列の３個の外部接続接点１６８、これらの３個の接点に接続された配線Ｌ、これらの配線Ｌに接続された基板接点１１７Ａ、基板Ｗの第１面（表面）のシード層、奥側の端子２３０に接続された基板接点１１７Ａ、配線Ｌ、奥側の３個の外部接続接点１６８、端子２３０の経路で流れる。同様にして、他の２つのグループＩＩ、ＩＩＩの第１側及び第２側の外部接続接点１６８間に流れる電流を測定する。その結果、電流の測定値が所定の範囲内であれば、外部接続部１６１Ａの外部接続接点１６８、配線Ｌ、基板接点１１７、基板Ｗの何れも正常と判定し、基板ホルダ１１をプロセス部１７３Ｃ（図１）に搬送し、めっき処理を施す。一方、電流の測定値が所定の範囲外であれば、外部接続部１６１Ａの外部接続接点１６８、配線Ｌ、基板接点１１７、基板Ｗの何れかに異常があるとして、基板ホルダ１１から基板Ｗを取り出し、基板ホルダ１１をホルダ格納部１７０Ｄ（図１）に戻す。

【0063】

なお、各グループに含まれる外部接続接点数は任意であり、グループ間で外部接続接点数が異なっても良い。また、手前側又は奥側の外部接続接点１６８同士の間に電位差を印加して電流を測定してもよい。また、各グループに含まれる外部接続接点数を２個とし、２個の外部接続接点１６８ごとに電流を測定してもよい。グループごとに外部接続接点１６８の間の電流を測定することにより、異常の箇所を特定し易くなる。

【0064】

第２保持部材１１０Ｂの第２外部接続部１６１Ｂにも、同様の通電確認装置１６９が設けられ、同様の通電確認処理が基板Ｗの第２面（裏面）に対して実行される。

【0065】

図１２Ｅは、めっき処理時の外部接続部の各接点の接続を示す模式図である。基板ホルダ１１は、めっき槽１０のアーム受入部２５０にアーム部１６０を受け入れられて保持される。アーム受入部２５０は、めっき槽の両脇にそれぞれ１つずつ配置され、アーム部１６０の両端をアーム受入部２５０で支持することにより、基板ホルダ１１を懸架することができる。アーム受入部２５０には、電流供給部２４０が配置されており、電流供給部２４０上に、外部接続部１６１Ａ、１６１Ｂが置かれる。このとき、第１及び第２外部接続部１６１Ａ、１６１Ｂの自重または、追加のアクチュエータ等で、各外部接続接点１６８は、電流供給部２４０に押しつれられ、バスバー１６７に接触するように変形する。この結果、全ての外部接続接点１６８が電流供給部２４０及びバスバー１６７によって電気的に短絡される。この状態で、外部電源３７（図１５）から電流供給部２４０に電位が供給
されると、全ての接点１６８に同一電位が供給される。めっき処理時において、電流は、外部電源３７から、アノード３１Ａ（３１Ｂ）、めっき液、基板Ｗの表面（裏面）のシード層、基板接点１１７Ａ（１１７Ｂ）、配線Ｌ、第１及び第２外部接続部１６１Ａ（１６１Ｂ）の各外部接続接点１６８を通り、外部電源３７に戻る経路で流れる。バスバー１６７は、外部接続接点１６８間の短絡をより確実にするために設けられる。なお、第１外部接続部１６１Ａが接触する電流供給部２４０と、第２外部接続部１６１Ｂが接触する電流供給部２４０には異なる電流を流すこともできる。

【0066】

図１３Ａは、基板セット部における基板の基板ホルダへの設置を説明する模式図である。なお、図１３Ａでは、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂを含め、各構成を模式的に示している。基板セット部１７０Ｂ（図１）には、基板着脱装置１０００が配置されている。基板着脱装置１０００は、回転装置１１００と、ステーション１２００とを備えている。回転装置１１００は、基板ホルダ１１の第２保持部材１１０Ｂを略水平の姿勢に保持した状態で、第２保持部材１１０Ｂに対する基板Ｗの着脱または載置を行い、第２保持部材１１０Ｂを略垂直方向に立てた状態で、ステーション１２００に保持される第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとの間で基板Ｗを挟持する。これにより、基板Ｗを基板ホルダ１１に対して着脱することができる。ステーション１２００は、例えば、基板ホルダ１１を懸架する静止ステーションと、静止ステーションに保持される基板ホルダ１１を回転装置１１００側に向かって支持するサポート装置とから構成されてもよい。前述した通電確認装置は、例えば、ステーション１２００の基板ホルダ１１のアーム部１６０の第１及び第２外部接続部１６１Ａ、１６１Ｂが置かれる部分に設けることができる。

【0067】

基板装着前の基板ホルダ１１が第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとに分離され、第１保持部材１１０Ａがステーション１２００に立てた状態で配置され、第２保持部材１１０Ｂが回転装置１１００のステージ上に略水平な状態で配置される。この状態で、搬送装置１２２のロボットハンドに保持された基板Ｗが、回転装置１１００上の第２保持部材１１０Ｂ上に設置される。その後、回転装置１１００のステージが回転し、第２保持部材１１０Ｂを略垂直な状態に移動させ、この状態で第２保持部材１１０Ｂを第１保持部材に対して押し付けて、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとを係合（固定）し、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとによって基板Ｗを保持する。この状態で、前述した通電確認処理を実行する。通電確認処理の結果が良好である場合、基板Ｗを保持した基板ホルダ１１は、トランスポータ１４１によってプロセス部１７０Ｃ（図１）に搬送され、めっき処理される。通電確認処理の結果が良好でない場合には、基板ホルダ１１から基板Ｗを取り出し、基板ホルダ１１をホルダ格納部１７０Ｄ（図１）に戻す。

【0068】

基板ホルダ１１から基板Ｗを取り外すときは、ステーション１２００において、回転装置１１００によって第２保持部材１１０Ｂを基板Ｗとともに、第１保持部材１１０Ａから取り外す。その後、図１３Ａのように第２保持部材１１０Ｂを略水平姿勢に回動させ、搬送装置１２２のロボットハンドが基板Ｗを搬出する。

【0069】

ここでは、第１保持部材１１０Ａ及び第２保持部材１１０Ｂを立てた状態で係合させる場合について説明したが、第１保持部材１１０Ａ及び第２保持部材１１０Ｂを水平な状態で係合させるようにしてもよい。

【0070】

図１３Ｂは、基板ホルダの固定方法の一例を示す。第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとは、任意の固定方法で固定することができる。例えば、図１３Ｂに示すように、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとは、ボルト等の締結手段で固定することができる。この例では、第１保持部材１１０Ａの第１本体１１１０Ａに螺子孔１９５
を設け、第２保持部材１１０Ｂの第２本体１１１０Ｂに貫通孔１９４を設け、ボルト１９３によって第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとを締結している。なお、この例では、貫通孔１９４に対応してザグリ１９４ａを設け、ボルト１９３の頭をザグリ１９４ａ内に配置している。これにより、基板ホルダ１１の厚みを低減できる。第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとは、適宜、複数の箇所でボルト１９３によって固定されるように構成される。 また、第１保持部材１１０Ａ及び第２保持部材１１０Ｂの一方にクランプを設けて、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとを互いに固定するようにしてもよい。何れの固定方法を採用する場合であっても、基板着脱装置１０００にアクチュエータ等を設けて、自動で固定するような方法を採用することができる。

【0071】

図１４Ａは、第１保持部材の位置決め部の近傍の拡大斜視図である。図１４Ｂは、第２保持部材の位置決め部の拡大斜視図である。第１保持部材１１０Ａは、第１本体部１１１Ａの第１本体１１１０Ａにおいて、位置決め部としての突起部（位置決めピン）２１０Ａを有している。第２保持部材１１０Ｂは、第２本体部１１１Ｂの第２本体１１１０Ｂにおいて、位置決め部として貫通穴２１０Ｂを有している。突起部２１０Ａは、ボルト等の締結部材で第１本体１１１０Ａに固定されている。突起部２１０Ａは、他の固定手段で第１本体１１１０Ａに固定されてもよいし、第１本体１１１０Ａと一体に形成されてもよい。突起部２１０Ａ及び貫通穴２１０Ｂは、それぞれ第１本体部１１１Ａ及び第２本体部１１１Ｂに複数設けられており、第１保持部材１１０Ａ及び第２保持部材１１０Ｂが係合したとき、各貫通穴２１０Ｂに各突起部２１０Ａが挿入、嵌合されるようになっている。これにより、第１保持部材１１０Ａと第２保持部材１１０Ｂとの間の位置決めが行われる。なお、貫通穴２１０Ｂを第１保持部材１１０Ａに設け、突起部２１０Ａを第２保持部材１１０Ｂに設けてもよい。

【0072】

図１５は、めっき槽１０の構成を概略的に示す側面図である。めっき処理中、第１アノードホルダ３０Ａが基板Ｗの第１面（表面）に対向するように配置され、第２アノードホルダ３０Ｂが基板Ｗの第２面（裏面）に対向するように配置される。第１アノードホルダ３０Ａは、第１アノード３１Ａと基板Ｗとの間の電界を調節するためのアノードマスク（図示せず）を有する。アノードマスクは、例えば誘電体材料からなる略板状の部材であり、第１アノードホルダ３０Ａの基板ホルダ１１に対向する側の面に配置される。アノードマスクは、第１アノード３１Ａと基板Ｗとの間に流れる電流が通過する開口を略中央部に有し、開口の径又は辺長は、第１アノード３１Ａの径又は辺長よりも小さいことが好ましい。また、アノードマスクは、開口の径又は辺長を調節可能に構成されてもよい。例えば、開口に複数の絞り羽根を設け、カメラの絞り機構と同様の構造により、開口の径又は辺長を拡大又は縮小させることができる。第２アノードホルダ３０Ｂの構成も、第１アノードホルダ３０Ａの構成と同様である。

【0073】

第１アノードホルダ３０Ａと基板ホルダ１１との間に、第１中間マスク３６Ａが設けられている。また、第２アノードホルダ３０Ｂと基板ホルダ１１との間に、第２中間マスク３６Ｂが設けられている。これらの第１及び第２中間マスク３６Ａ、３６Ｂは、第１及び第２アノードマスク３２Ａ、３２Ｂと類似の構造により第１及び第２中間マスク３６Ａ、３６Ｂに設けられた開口の径又は辺長を調整して、第１及び第２アノード３１Ａ、３１Ｂと基板Ｗとの間の電界を調節するためのものである。一実施形態として、第１中間マスク３６Ａおよび第２中間マスク３６Ｂにそれぞれ移動機構を連結して、基板Ｗと第１中間マスク３６Ａとの間の距離、および基板Ｗと第２中間マスク３６Ｂとの間の距離を変更可能に構成してもよい。なお、不溶性アノードを採用した場合には、めっき金属をめっき液中に継続的に補給する必要があるので、後述する循環機構にめっき金属の補給機構を設けるようにすることもできる。

【0074】

第１アノードホルダ３０Ａと基板ホルダ１１との間に、基板Ｗの第１面近傍のめっき液
を撹拌するための第１パドル３５Ａが設けられている。また、第２アノードホルダ３０Ｂと基板ホルダ１１との間に、基板Ｗの被めっき面近傍のめっき液を撹拌するための第２パドル３５Ｂが設けられている。これらのパドル３５Ａ、３５Ｂは、たとえば、略棒状の部材とすることができ、鉛直方向を向くようにめっき処理槽内に設けることができる。パドル３５Ａ、３５Ｂは、図示しない駆動装置により基板Ｗの被めっき面に沿って水平移動できるように構成される。また、パドル３５Ａ、３５Ｂは、板状部材に複数の縦方向のスリットを設けたものでもよい。

【0075】

第１アノード３１Ａは、第１アノードホルダ３０Ａ内の配線を介して外部電源３７に接続されている。また、前述したように、基板ホルダ１１の基板Ｗの第１面（表面）を露出する第１保持部材１１０Ａの第１外部接続部１６１Ａは、外部電源３７に接続されている。第１アノード３１Ａと基板ホルダ１１の第１外部接続部１６１Ａとの間に外部電源３７から電圧が供給されると、外部電源３７から、第１アノード３１Ａ、めっき液、基板ホルダ１１の基板Ｗの第１面のシード層、第１外部接続部１６１Ａ（第１保持部材１１０Ａ）を通り、外部電源３７に戻る経路で、めっき電流が流れる。 第２アノード３１Ｂ、第２アノードホルダ３０Ｂ内の配線を介して外部電源３７に接続されている。また、前述したように、基板ホルダ１１の基板Ｗの第２面（表面）を露出する第２保持部材１１０Ｂの第２外部接続部１６１Ｂは、外部電源３７に接続されている。第２アノード３１Ｂと基板ホルダ１１の第２外部接続部１６１Ｂとの間に外部電源３７から電圧が供給されると、外部電源３７から、第２アノード３１Ｂ、めっき液、基板ホルダ１１の基板Ｗの第２面のシード層、第２外部接続部１６１Ｂ（第２保持部材１１０Ｂ）を通り、外部電源３７に戻る経路で、めっき電流が流れる。

【0076】

図１５に示される実施形態によるめっき装置は、めっき液をめっき槽１０と外槽１６との間で循環させる循環機構３００とを備えている。循環機構３００は、めっき槽１０から溢れためっき液を受け入れる外槽１６と、めっき槽１０とを接続する循環ライン３０２を備える。循環ライン３０２には、弁３０４が設けられており、循環ライン３０２の開閉を行うことができる。弁３０４はたとえば電磁弁とするこができ、制御部１０３（図１参照）により循環ライン３０２の開閉を制御することができるようにしてもよい。循環ライン３０２には、ポンプ３０６が設けられており、ポンプ３０６によって、循環ライン３０２を通してめっき液を外槽１６からめっき槽１０へ循環させることができる。循環ライン３０２には、温度制御装置３０８が設けられており、循環ライン３０２を通るめっき液の温度を制御することができる。たとえば、めっき槽１０に図示しない温度計を設け、この温度計で測定しためっき液温度に応じて、制御部１０３により温度制御装置３０８を制御するようにしてもよい。循環ライン３０２には、フィルタ３１０が設けられており、循環ライン３０２を通るめっき液の固形物を取り除くことができる。

【0077】

本実施形態では、第１保持部材１１０Ａ及び第２保持部材１１０Ｂのそれぞれに、互いに独立した第１外部接続部１６１Ａ及び第２外部接続部１６１Ｂを設けた。これにより、第１外部接続部１６１Ａ、配線Ｌ、基板接点１１７Ａからなる基板Ｗの第１面用の電流経路と、第２外部接続部１６１Ｂ、配線Ｌ、基板接点１１７Ｂからなる基板Ｗの第２面用の電流経路とを、それぞれ第１及び第２保持部材１６１Ａ、１６１Ｂに分配することができる。この結果、基板ホルダの厚みの増大を抑制しつつ、基板の第１面及び第２面への電流供給経路を設置する空間を確保することができる。基板の寸法に起因して配線数が増大する場合、電流の大きさに起因して配線径が増大する場合等において、有効である。また、両面めっき基板では、片面めっき基板と比較して、一般に配線数が２倍になるので、特に有効である。また、基板の第１面及び第２面に対し独立して電流供給が可能になるため、各面のめっき厚さ等のめっき仕様を独立して制御することができる。

【0078】

なお、上記では、両面めっき用の基板ホルダについて説明したが、片面めっき用の基板
ホルダにおいても、第１保持部材及び第２保持部材のそれぞれに、互いに独立した第１外部接続部及び第２外部接続部を設けても良い。第１保持部材及び第２保持部材にそれぞれ設けられる電流経路を接続する接続経路を設ければ、第１及び第２保持部材の第１及び第２外部接続部の両方から、被めっき面に電流を供給することができる。この場合、基板の第１面用の電流経路を第１及び第２保持部材に分配して、電流供給経路を設置する空間を確保することができる。片面めっき用の基板ホルダにおいても、基板の寸法、電流の大きさ等に起因して、配線数、配線径が増大する場合に有効である。

【0079】

（他の実施形態）
図１７は、他の実施形態に係る基板ホルダの第１側からみた斜視図である。図１８は、基板ホルダの開放状態における第１保持部材及び第２保持部材を第１側からみた斜視図である。図１９は、基板ホルダの第１保持部材及び第２保持部材の分解斜視図である。

【0080】

他の実施形態に係る基板ホルダ１１は、図２Ａ等において前述した基板ホルダ１１と概ね同様の構成を有するので、同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。本実施形態では、ケーブルからなる配線Ｌに代えて、より大きな断面積を有する導電経路部４１０、４２０（図２０参照）によって、複数の基板接点１１７と外部接続接点１６１Ａ、１６１Ｂとが接続される。これにより、配線収容部１５０（第１配線収容部１５０Ａ、第２配線収容部１５０Ｂ）を省略し、基板ホルダの小型化およびコストダウンを図ることができる。なお、片面めっき用の基板ホルダに適用する場合には、第１保持部材または第２保持部材の一方に、導電経路部を設けてもよい。

【0081】

図１７、図１８に示すように、基板ホルダ１１は、本体部１１１と、左右の取付部１８０と、中央の取付部１８１と、アーム部１６０とを備えている。基板ホルダ１１は、第１開口部１１２Ａを有する第１保持部材１１０Ａと、第２開口部１１２Ｂを有する第２保持部材１１０Ｂと、に分割される。第１保持部材１１０Ａは、第１本体部１１１Ａと、左右の取付部１８０Ａと、中央の取付部１８１Ａと、第１アーム部１６０Ａと、を備えている（図１８、図１９）。第２保持部材１１０Ｂは、第２本体部１１１Ｂと、左右の取付部１８０Ｂと、中央の取付部１８１Ｂと、第２アーム部１６０Ｂと、を備えている（図１８、図１９）。

【0082】

第１本体部１１１Ａは、左右の取付部１８０Ａと、左右の取付部１８０Ａの間の中央の取付部１８１Ａとによって、第１アーム部１６０Ａに取り付けられている。左右の取付部１８０Ａ、中央の取付部１８１Ａは、それぞれ、第１本体部１１１Ａと、第１アーム部１６０Ａとに、ボルト等の締結手段で固定され、これにより、第１本体部１１１Ａが、第１アーム部１６０Ａに固定されている。

【0083】

第１アーム部１６０Ａは、細長い板状部材または棒状部材を備えている。第１アーム部１６０Ａは、外部接続部１６１Ａと、外部接続部１６１Ａ及び導電経路部４１０を保護するための外部接続部カバー１６２Ａとを有している。また、第１アーム部１６０Ａは、前記同様に、その両端部において、基板ホルダ１１を基板セット部１７０Ｂ及びめっき槽１０において位置決めするための位置決め部１６３Ｒ、１６３Ｌを有している。

【0084】

第２保持部材１１０Ｂは、第２本体部１１１Ｂと、左右の取付部１８０Ｂと、中央の取付部１８１Ｂと、第２アーム部１６０Ｂと、を備えている（図１８、図１９）。第２本体部１１１Ｂ及び取付部１８０Ｂ、１８１Ｂの構成は、第１本体部１１１Ａ及び取付部１８０Ａ、１８１Ａの構成と同様であるので詳細な説明を省略し、同様の構成に同一番号とアルファベットのＢで示す符号を付す。

【0085】

第２アーム部１６０Ｂは、細長い板状部材または棒状部材を備えている。第２アーム部
１６０Ｂは、外部接続部１６１Ｂと、外部接続部１６１Ｂ及び導電経路部４２０を保護するための外部接続部カバー１６２Ｂとを有している。前記実施形態と同様に、第１アーム部１６０Ａ及び第２アーム部１６０Ｂを係合したとき、第１及び第２アーム部１６０Ａ、１６０Ｂの第１及び第２外部接続部１６１Ａ、１６１Ｂは、それぞれ干渉しないように基板ホルダ１１の左右方向の反対側に配置される。

【0086】

図２０は、他の実施形態に係る導電経路部の斜視図である。図２１は、第１保持部材及び第２保持部材の基板保持面側からみた矢視図である。図２０において、符号４１０は、第１保持部材１１０Ａに配置される導電経路部を示し、符号４２０は、第２保持部材１１０Ｂに配置される導電経路部を示す。なお、ここでは、導電経路部４１０（導電経路部４２０）が、左側導電経路部材４１０Ｌ（４２０Ｌ）及び右側導電経路部材４１０Ｒ（４２０Ｒ）の２系統を備える場合について説明するが、導電経路部４１０は、一体又は複数の経路片からなる１系統の導電経路部材としてもよい。

【0087】

各導電経路部４１０、４２０は、銅（例えば、無酸素銅）等の抵抗値の小さい材料で構成される。本実施形態では、図２０に示すように、板状の部材で形成されている。各導電経路部４１０、４２０を板状とすることにより、基板ホルダの厚みが増大することを抑制することができる。なお、各導電経路部４１０、４２０を棒状として、経路に沿って加工し易くしてもよい。また、各導電経路部４１０、４２０は、接点、他の配線等との導通部分以外で、耐薬品性を有する樹脂（例えば、ＰＦＡ）でコーティングされてもよい。

【0088】

導電経路部４１０と導電経路部４２０とは、類似の構成を有するので、以下、導電経路部４１０を例に挙げて説明する。

【0089】

導電経路部４１０は、左側導電経路部材４１０Ｌと、右側導電経路部材４１０Ｒとを備えている。左側導電経路部材４１０Ｌと、右側導電経路部材４１０Ｒとは、第１保持部材１１０Ａ内で互いに離間しており、電気的に絶縁されている。なお、他の実施例では、左側導電経路部材４１０Ｌと、右側導電経路部材４１０Ｒとは、第１保持部材１１０Ａ内で互いに短絡されてもよいし、一体の部材として形成されてもよい。

【0090】

左側導電経路部材４１０Ｌ及び右側導電経路部材４１０Ｒの各々は、複数の経路片（ここでは、５つの経路片）が接続された構成を有する。なお、左側導電経路部材４１０Ｌ及び右側導電経路部材４１０Ｒの各々は、一体で形成されてもよいし、５つ未満の経路片が接続された構成、又は、６つ以上の経路片が接続された構成であってもよい。

【0091】

左側導電経路部材４１０Ｌは、第１経路片４１１Ｌ、第２経路片４１２Ｌ、第３経路片４１３Ｌ、第４経路片４１４Ｌ、及び第５経路片４１５Ｌを備えており、それらが接続されることによって構成されている。右側導電経路部材４１０Ｒは、第１経路片４１１Ｒ、第２経路片４１２Ｒ、第３経路片４１３Ｒ、第４経路片４１４Ｒ、及び第５経路片４１５Ｒを備えており、それらが接続されることによって構成されている。

【0092】

左側導電経路部材４１０Ｌの第１経路片４１１Ｌ、第２経路片４１２Ｌと、右側導電経路部材４１０Ｒの第１経路片４１１Ｒ、第２経路片４１２Ｒとは、互いに離間した状態で平行に延びている。左側導電経路部材４１０Ｌの第３経路片４１３Ｌ、第４経路片４１４Ｌ、及び第５経路片４１５Ｌは、第１本体部１１１Ａの左側半分部分に配置されている（図２１）。右側導電経路部材４１０Ｒの第３経路片４１３Ｒ、第４経路片４１４Ｒ、及び第５経路片４１５Ｒは、第１本体部１１１Ａの右側半分部分に配置されている（図２１）。右側導電経路部材４１０Ｒの第５経路片４１５Ｒは、図２１に示すように、左側導電経路部材４１０Ｌの第５経路片４１５Ｌとの間に隙間をもって互いに離間している。このように、右側導電経路部材４１０Ｒと左側導電経路部材４１０Ｌとで導電経路部材を分割し
て形成することにより、基板着脱部１７０Ｂ（図１）で基板ホルダ１１に基板を保持したときに、右側導電経路部材４１０Ｒと左側導電経路部材４１０Ｌとの間に電位差を印加し、左側導電経路部材４１０Ｌ→基板（シード層）→右側導電経路部材４１０Ｒ（あるいは、その逆）という経路で電流を流し、抵抗値に異常があった場合に基板ホルダ１１あるいは基板に異常があると判断する通電試験を可能にする。

【0093】

第１経路片４１１Ｌは、図１８における第１アーム部１６０Ａの本体内を外部接続部１６１Ａから、中央の取付部１８１Ａとの連結部まで延びるように配置されている。図１９では、第１経路片４１１Ｌの一端が、第１アーム部１６０Ａに設けられた取付凹部１６００内に露出している状態が示されている。第１経路片４１１Ｌの他端は、外部接続部１６１Ａにおいて外部接続接点４４０Ｌ（図２４）に接続されている。

【0094】

第２経路片４１２Ｌは、図１９に示すように、中央の取付部１８１Ａの内部を延びるように取付部１８１Ａに配置されている。第２経路片４１２Ｌの第１アーム部１６０Ａ側の一端は、取付部１８１Ａの一端部において露出しており（図１９の第２経路片４２２Ｒと同様）、取付部１８１Ａの一端部が第１アーム部１６０Ａの取付凹部１６００に嵌合されたときに、第１アーム部１６０Ａ内に配置された第１経路片４１１Ｌの一端と接触して、第１経路片４１１Ｌと電気的に接続される。取付部１８１Ａが第１アーム部１６０Ａに対してボルト等の締結部材で固定される際に、第１経路片４１１Ｌと第２経路片４１２Ｌも共にボルト止めされ、互いに固定される。第２経路片４１２Ｌの他端は、取付部１８１Ａの他端部から突出しており、取付部１８１Ａが第１本体部１１１Ａに取り付けられたときに、第１本体１１１０Ａに設けられた開口に挿入され、第３経路片４１３Ｌの一端に接続される（図２１）。第２経路片４１２Ｌと第３経路片４１３Ｌも、ねじ、ボルト等の締結部材で互いに固定される（図２２Ａ、図２２Ｂの第３経路片４１３Ｒと第４経路片４１４Ｒとの接続と同様）。

【0095】

第３経路片４１３Ｌ、第４経路片４１４Ｌ、及び第５経路片４１５Ｌは、図２１に示すように、第１本体部１１１Ａの第１本体１１１０Ａの基板保持面側において左半分部分に配置されている。第３経路片４１３Ｌは、第１アーム部１６０Ａに近い側で第１開口部１１２Ａの上辺に沿って設けられている。第３経路片４１３Ｌの一端は、第１保持部材１１０Ａの中央部付近において、第２経路片４１２Ｌの他端に対して接続されている。第３経路片４１３Ｌの他端は、第１開口部１１２Ａの上部角部付近において、第４経路片４１４Ｌの一端に、ねじ４１６で接続されている（図２２Ａ、図２２Ｂの第３経路片４１３Ｒと第４経路片４１４Ｒとの接続と同様）。第４経路片４１４Ｌは、第１アーム部１６０Ａに近い側から遠い側に向かって、第１開口部１１２Ａの左辺に沿って設けられている。第４経路片４１４Ｌの他端は、第１開口部１１２Ａの下部角部付近において、第５経路片４１５Ｌの一端に、ねじ等の締結部材で接続されている（図２２Ａ、図２２Ｂの第３経路片４１３Ｒと第４経路片４１４Ｒとの接続と同様）。第５経路片４１５Ｌは、第１アーム部１６０Ａから遠い側で第１開口部１１２Ａの下辺に沿って設けられている。第５経路片４１５Ｌの他端は、第１保持部材１１０Ａの中央部付近において、第５経路片４１５Ｒと離間した状態で終端している。

【0096】

右側導電経路部材４１０Ｒの各経路片４１１Ｒ〜４１５Ｒは、左側導電経路部材４１０Ｌの各経路片４１１Ｌ〜４１５Ｌと概ね同様に配置されている。但し、右側導電経路部材４１０Ｒの第３経路片４１３Ｒ、第４経路片４１４Ｒ、及び第５経路片４１５Ｒは、第１本体１１１０Ａにおいて、左側導電経路部材４１０Ｌの第３経路片４１３Ｌ、第４経路片４１４Ｌ、及び第５経路片４１５Ｌとは第１開口部１１２Ａに関して反対側（右側半分部分）に配置されている。

【0097】

第１経路片４１１Ｒは、図１８における第１アーム部１６０Ａの本体内を外部接続部１
６１Ａから中央の取付部１８１Ａとの連結部まで延びるように配置されている。図１９では、第１経路片４１１Ｒの一端が、第１アーム部１６０Ａに設けられた取付凹部１６００内に露出している状態が示されている。第１経路片４１１Ｒの他端は、外部接続部１６１Ａにおいて外部接続接点４４０Ｒ（図２４）に接続されている。

【0098】

第２経路片４１２Ｒは、図１９に示すように、中央の取付部１８１Ａの内部を延びるように取付部１８１Ａに配置されている。第２経路片４１２Ｒの第１アーム部１６０Ａ側の一端は、取付部１８１Ａの一端部において露出しており（図１９の第２経路片４２２Ｌと同様）、取付部１８１Ａの一端部が第１アーム部１６０Ａの取付凹部１６００に嵌合されたときに、第１アーム部１６０Ａ内に配置された第１経路片４１１Ｒの一端と接触して、第１経路片４１１Ｒと電気的に接続される。取付部１８１Ａが第１アーム部１６０Ａに対してボルト等の締結部材で固定される際に、第１経路片４１１Ｒと第２経路片４１２Ｒも共にボルト止めされ、互いに固定される。第２経路片４１２Ｒの他端は、取付部１８１Ａの他端部から突出しており、取付部１８１Ａが第１本体部１１１Ａに取り付けられたときに、第１本体１１１０Ａに設けられた開口に挿入され、第３経路片４１３Ｒの一端に接続される（図２１）。第２経路片４１２Ｒと第３経路片４１３Ｒも、ねじ、ボルト等の締結部材で互いに固定される（図２２Ａ、図２２Ｂの第３経路片４１３Ｒと第４経路片４１４Ｒとの接続と同様）。

【0099】

第３経路片４１３Ｒ、第４経路片４１４Ｒ、及び第５経路片４１５Ｒは、図２１に示すように、第１本体部１１１Ａの第１本体１１１０Ａの基板保持面側において、右半分部分に配置されている。第３経路片４１３Ｒは、第１アーム部１６０Ａに近い側で第１開口部１１２Ａの上辺に沿って設けられている。第３経路片４１３Ｒの一端は、第１保持部材１１０Ａの中央部付近において、第２経路片４１２Ｒの他端に対して接続されている。第３経路片４１３Ｒの他端は、第１開口部１１２Ａの上部角部付近において、第４経路片４１４Ｒの一端に、ねじ４１６で接続されている（図２２Ａ、図２２Ｂの第３経路片４１３Ｒと第４経路片４１４Ｒとの接続と同様）。第４経路片４１４Ｒは、第１アーム部１６０Ａに近い側から遠い側に向かって、第１開口部１１２Ａの右辺に沿って設けられている。第４経路片４１４Ｒの他端は、第１開口部１１２Ａの下部角部付近において、第５経路片４１５Ｒの一端に、ねじ等の締結部材で接続されている（図２２Ａ、図２２Ｂの第３経路片４１３Ｒと第４経路片４１４Ｒとの接続と同様）。第５経路片４１５Ｒは、第１アーム部１６０Ａから遠い側で第１開口部１１２Ａの下辺に沿って設けられている。第５経路片４１５Ｒの他端は、第１保持部材１１０Ａの中央部付近において、第５経路片４１５Ｌと離間した状態で終端している。

【0100】

上述したように、第１経路片４１１Ｌ、Ｒが第１アーム部１６０Ａ内に組み込まれ、第２経路片４１２Ｌ、Ｒが取付部１８１Ａ内に組み込まれ、第３乃至第５経路片４１３Ｌ、Ｒ、４１４Ｌ、Ｒ、４１５Ｌ、Ｒが第１本体部１１１Ａに組み込まれた後に、第１アーム部１６０Ａ、取付部１８１Ａ、第１本体部１１１Ａが互いに組み立てられる。このため、各導電経路部材の形成を容易に行うことができる。

【0101】

導電経路部４２０の構成は、導電経路部４１０と概ね同様であるため、導電経路部４１０に関する符号４１０、４１１を４２０、４２１に置き換えて対応する構成を表し、詳細な説明を省略する。左側導電経路部材４２０Ｌ及び右側導電経路部材４２０Ｒの各経路片は、第２保持部材１１０Ｂ内において、外部接続部１６１Ｂから第２本体部１１０Ｂの第２本体１１１０Ｂに亘って、導電経路部４１０の左側導電経路部材４１０Ｌ及び右側導電経路部材４１０Ｒの各経路片と同様に配置されている（図１９、図２１、図２２Ａ、図２２Ｂ、図２４、図２５を参照）。

【0102】

図２２Ａは、基板ホルダの基板接点近傍の拡大図である。図２２Ｂは、基板ホルダの基
板接点近傍の拡大図を、一部の基板接点を取り外した状態で示すものである。図２３は、第１保持部材とともに第２保持部材を示す、図２２ＢのＣ−Ｃにおける断面図である。

【0103】

図２３に示すように、導電経路部４１０及び導電経路部４２０は、内側シール１２０Ａ、１２０Ｂと、外側シール１２１Ａとで密閉された空間内に配置されている。内側シール１２０Ａを固定するためのシールホルダ１１８Ａは、ねじ１２３によって第１本体１１１０Ａに固定されている（図２２Ａ）。

【0104】

図２２Ａ及び図２２Ｂに示すように、導電経路部４１０の各経路片４１３Ｒ、４１４Ｒは、端部同士を重ねた状態でねじ４１６によって第１本体１１１０Ａに固定され、その他の部分においてねじ４１７によって第１本体１１１０Ａに固定されている。ねじ４１７は、各経路片の長手方向に沿って均等に配置されており、各経路片を長手方向に沿って均等に押圧している。つまり、ねじ４１６、４１７を取り外すことにより、各経路片を個別に交換することが可能である。例えば、基板ホルダ１１に処理液のリークが発生した場合に、基板ホルダ１１の処理槽内での姿勢に応じて、処理液の影響を受けやすい部分が存在する。基板ホルダを立てた姿勢でめっき槽に配置する場合には、処理液のリークが発生した場合、基板ホルダの最下部近傍に処理液が蓄積し易い。このため、処理液のリークが発生し、基板ホルダの最下部近傍の経路片にのみ処理液が接触した場合に、導電経路部４１０、４２０（又は各導電経路部材４１０Ｌ、４１０Ｒ、４２０Ｌ、４２０Ｒ）の全体を交換する代わりに、処理液に接触した経路片のみを交換することができる。基板ホルダ全体、又は導電経路部（又は各導電経路部材）の全体を交換する場合と比較して、費用を低減することができる。

【0105】

また、導電経路部４１０の右側導電経路部材４１０Ｒには、複数の基板接点１１７Ａがねじ１２２Ａによって接続されている。つまり、ねじ１２２Ａを取り外すことにより、各基板接点１１７Ａを導電経路部４１０から個別に交換することが可能である。一部の基板接点を交換することにより、基板ホルダを継続して使用できるようになり、基板ホルダのメンテナンス及び交換に要する費用を低減することができる。例えば、処理液のリークが生じた際に、基板ホルダ１１の処理槽内の姿勢に応じて、処理液に接触し易い基板接点（例えば、上述の基板ホルダの最下部の例）など、一部の基板接点のみを交換することにより、基板ホルダ１１全体又は基板接点全体を交換する場合と比較して、費用を低減することができる。

【0106】

ここでは、導電経路部４１０の右側導電経路部材４１０Ｒについて説明したが、導電経路部４１０の左側導電経路部材４１０Ｌ、導電経路部４２０の右側導電経路部材４２０Ｒ、左側導電経路部材４２０Ｌについても同様に配置されている。

【0107】

図２４は、外部接続部カバーを取り外した状態の外部接続部の拡大斜視図である。図２５は、外部接続部の断面図である。導電経路部４１０の右側導電経路部材４１０Ｒ（第１経路片４１１Ｒ）の一端は、外部接続部１６１Ａにおいて、外部接続接点４４０Ｒに対して導電板４３０とともにねじ止めされ、外部接続接点４４０Ｒに電気的に接続されている。第１経路片４１１Ｒは、ねじを取り外すことにより、外部接続接点４４０Ｒに対して取り外し可能である。外部接続接点４４０Ｒは、複数のリーフ部（ここでは、９個）を有し、各リーフ部の基端側が一体となったリーフコンタクトである。導電経路部４１０の左側導電経路部材４１０Ｌ（第１経路片４１１Ｌ）の一端は、外部接続部１６１Ａにおいて、外部接続接点４４０Ｌに対して導電板４３０とともにねじ止めされ、外部接続接点４４０Ｌに電気的に接続されている。第１経路片４１１Ｌは、ねじを取り外すことにより、外部接続接点４４０Ｌに対して取り外し可能である。外部接続接点４４０Ｌは、複数のリーフ部（ここでは、９個）を有し、各リーフ部の基端側が一体となったリーフコンタクトである。基板ホルダ１１がめっき槽に配置されたとき、図２５に示すように、外部接続接点４
４０Ｒと外部接続接点４４０Ｌとは、各リーフ部がバスバー１６７に接触して、バスバー１６７を介して電気的に短絡される。一方、通電試験時には、図１２Ｄと同様に、外部接続接点４４０Ｒ及び外部接続接点４４０Ｌの各リーフ部は、バスバー１６７から離間している。このため、外部接続接点４４０Ｒ及び外部接続接点４４０Ｌにそれぞれ通電確認装置１６９の各接点２３０を接続して、外部接続接点４４０Ｒ、右側導電経路部材４１０Ｒ、基板接点、基板Ｗ、基板接点、左側導電経路部材４４０Ｌ、外部接続接点４４０Ｌを通る電流を流して、通電試験を行うことができる。導電経路部４２０についても同様である。

【0108】

なお、ここでは、右側導電経路部材４１０Ｒと左側導電経路部材４１０Ｌとに対してそれぞれ、外部接続接点４４０Ｒ及び外部接続接点４４０Ｌを設ける場合を説明したが、導電経路部４１０を１系統とする場合には、外部接続接点を一体の部材としてもよい。なお、第２保持部材１１０Ｂの外部接続部１６１Ｂも同様に構成されている。

【0109】

上記実施形態によれば、基板ホルダが、少なくとも１つの基板接点と、少なくとも１つの外部接点と、それらを接続する導電経路部材とを備え、導電経路部材及び／又は基板接点が交換可能に設けられている。よって、導電経路部材及び／又は基板接点がめっき液と接触して腐食や金属の析出が生じた場合に、導電経路部材及び／又は基板接点を交換可能である。このため、導電経路部材及び／又は基板接点を交換することにより、基板ホルダを継続して使用できるようになり、基板ホルダのメンテナンス及び交換に要する費用を低減することができる。特に、導電経路部材が複数の経路片に分割されているため、交換が必要な部分のみ交換することができる。また、一部の基板接点のみを交換することができる。例えば、処理液のリークが生じた際に、基板ホルダの処理槽内の姿勢に応じて、処理液に接触し易い基板接点及び／又は経路片（基板ホルダを垂直な姿勢とする場合は、基板ホルダ底部側）など、一部の基板接点及び／又は経路片のみを交換することにより、基板ホルダ全体、導電経路部材全体、又は基板接点全体を交換する場合と比較して、費用を低減することができる。

【0110】

複数の基板接点１１７への配線を導電経路部としてまとめることにより、各導電経路部の断面積を大きく確保することができ（一例では、ケーブル１０−２０本分）、各導電経路部の単位長さ当たりの配線抵抗を低減することができる。これにより、外部接続部から各第１基板接点までの経路における電圧降下の差を低減することができる。この結果、各第１基板接点を通じて流れるめっき電流を均一化し、めっき膜厚を均一化することができる。また、複数の第１基板接点への配線を各導電経路部としてまとめるので、複数の第１基板接点までの配線の寸法を低減すること、又はケーブル配線を省略することができる。

【0111】

上記実施形態から少なくとも以下の形態が把握できる。

【0112】

第１形態は、基板を保持するための基板ホルダに関する。この基板ホルダは、 前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、 前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材であって、前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有する第２保持部材と、を備える。前記第１保持部材は、前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、少なくとも１つの第１外部接続接点と、前記少なくとも１つの第１基板接点と前記少なくとも１つの第１外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第１配線を有する。前記第２保持部材は、前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、少なくとも１つの第２外部接続接点と、前記少なくとも１つの第２基板接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第２配線を有する。前記少なくとも１つの第１外部接続接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点は電気的に独立である。「電気的に独立である」とは、基板ホルダ内で互いに電気的に
絶縁されていることを意味する。

【0113】

第１形態によれば、第１及び第２保持部材にそれぞれ独立に第１及び第２外部接続接点、第１基板接点及び第２基板接点、第１配線及び第２配線を設けたので、基板の第１面及び第２面への電流供給経路をそれぞれ第１及び第２保持部材に分配することができる。これにより、基板ホルダの厚みの増大を抑制しつつ、基板の第１面及び第２面への電流供給経路を設置する空間を確保することができる。また、基板の第１面及び第２面に対し独立して電流供給が可能になるため、各面のめっき厚さ等のめっき仕様を独立して制御することができる。
また、少なくとも１つの第１外部接続接点から少なくとも１つの第１配線及び少なくとも１つの第１基板接点を介して、基板の第１面に電流を供給することができる。第１配線の長さを調整することによって、少なくとも１つの第１基板接点と少なくとも１つの第１外部接続接点との間の抵抗値を調整することができる。同様に、少なくとも１つの第２外部接続接点から少なくとも１つの第２配線及び少なくとも１つの第２基板接点を介して、基板の第２面に電流を供給することができる。第２配線の長さを調整することによって、少なくとも１つの第２基板接点と少なくとも１つの第２外部接続接点との間の抵抗値を調整することができる。

【0114】

上記実施形態においては、第１保持部材と第２保持部材の各々は、例えば、それぞれ基板の外周に沿って配置され、基板に電流を供給するために基板に接触する複数の基板接点を有する。なお、基板に電流を供給するための基板に接触する基板接点は、基板の外周に沿って互いに連結して一体となった１つの基板接点であってもよい。

【0115】

第２形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、前記第１保持部材は、複数の前記第１基板接点と、複数の前記第１外部接続接点と、前記複数の前記第１基板接点と前記複数の前記第１外部接続接点とを電気的に接続する複数の前記第１配線を有する。

【0116】

１つの第１基板接点と１つの外部接続接点を一対一に対応させて１本の第１配線で接続してもよい。また、１つの第１外部接続接点に２本以上の第１配線を接続して、それら２本以上の第１配線の他端をそれぞれ異なる第１基板接点に接続してもよい。また、複数の外部接続接点を複数の第１配線に接続して、それらの第１配線を１つの基板接点に接続してもよい。また、これらの接続方法のうち２つ以上を組み合わせても良い。
第２形態によれば、各第１配線の長さを調整することによって、少なくとも１つの第１基板接点と少なくとも１つの第１外部接続接点との間の抵抗値を調整することができる。例えば、各第１配線の長さを同一にすることによって、少なくとも１つの第１基板接点と少なくとも１つの第１外部接続接点との間の抵抗値を均一にすることができる。 また、基板ホルダに基板を保持させた状態で、一部の第１配線と、他の一部の第１配線との間に電位差を加えることによって、めっき処理に先立って通電を確認することができる。

【0117】

第３形態によれば、第２形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、第１のアーム部を有し、前記少なくとも１つの第１外部接続接点は前記第１のアーム部に配置され、 前記第２保持部材は、第２のアーム部を有し、前記少なくとも１つの第２外部接続接点は前記第２のアーム部に配置され、 前記少なくとも１つの第１外部接続接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点は基板ホルダの左右両端に位置する。

【0118】

第３形態によれば、基板ホルダをめっき槽に設置する際にアーム部の左右両端から基板の第１面および第２面への給電を行うことができるので、アーム部の片方の端部に外部接点を集中させる形態に比べて基板ホルダを厚みの増大を防ぐことができる。

【0119】

第４形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、第１のア
ーム部を有し、前記基板ホルダをめっき槽内で位置決めするための第１及び第２の位置決め部を前記第１のアーム部の両側にそれぞれ有する。

【0120】

第４形態によれば、アーム部の両側の位置決め部を第１保持部材に設けるので、第１保持部材と第２保持部材の係合状態にばらつきがあったとしても、両側の位置決め部の間の位置関係に影響を与えない。

【0121】

第５形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、前記第１開口部を有する第１本体部を有し、 前記第２保持部材は、前記第２開口部を有する第２本体部を有し、 前記第１本体部及び前記第２本体部は、互いに係合する位置決め構造を有する。

【0122】

第５形態によれば、第１及び第２本体部の間の位置決め構造を有するので、基板の第１及び第２保持部材に対する位置決め精度が向上する。

【0123】

第６形態によれば、 第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、前記第１開口部を有する第１本体部と、前記第１本体部の一端側に設けられた第１アーム部を有し、 前記第２保持部材は、前記第２開口部を有する第２本体部と、前記第２本体部の一端側に設けられた第２アーム部を有し、 前記第１保持部材と前記第２保持部材が係合した状態で、前記第１アーム部と前記第２アーム部とが、前記第１及び第２本体部から前記第１及び第２アーム部に向かう方向において並んでいる。

【0124】

第６形態によれば、第１アーム部と第２アーム部とが基板ホルダの面方向に並んで配置されるので、アーム部の厚みが増大することを抑制することができる。これにより、複数の基板ホルダを並べたときのトータルの厚みを低減することができる。

【0125】

第７形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、 前記第１開口部および前記少なくとも１つの前記第１基板接点を有する第１本体部と、 少なくとも１つの前記第１外部接続接点を有する第１アーム部と、 前記第１本体部と前記第１アーム部との間に配置され、前記少なくとも１つの第１配線の余分な長さを収容するための第１配線収容部と、を有している。

【0126】

第７形態によれば、少なくとも１つの第１基板接点と少なくとも１つの第１外部接続接点との間の抵抗値を調整するために少なくとも１つの第１配線の長さを調整する際に、少なくとも１つの第１配線の余分な長さが生じる場合があるが、このような第１配線の余分な長さを第１配線収容部に収容することができる。 なお、複数の第１基板接点を複数の第１配線で個別に接続する場合には、複数の第１基板接点と少なくとも１つの第１外部接続接点との間の抵抗値を調整するために各第１配線の長さを調整する際に、第１の基板接点の位置に応じて第１配線の余分な長さが生じる場合があるが、このような第１配線の余分な長さを第１配線収容部に収容することができる。例えば、複数の第１基板接点と少なくとも１つの第１外部接続接点との間の抵抗値が均一になるように、第１配線の長さが調整される。また、特定の基板接点への電流量を調整するために抵抗値を変更するように、第１配線の長さを変えてもよい。

【0127】

第８形態によれば、第７形態の基板ホルダにおいて、 前記第１配線収容部は、前記第１配線収容部を前記第１アーム部に取り付ける第１取付部と一体に形成されている。

【0128】

第８形態によれば、第１配線収容部を第１アーム部に取り付ける第１取付部を別途設ける必要がない。組み立て部品数を低減し、組立体のばらつきを抑制することができる。

【0129】

第９形態によれば、第８形態の基板ホルダにおいて、 前記第１配線収容部は、前記第１本体部に向かって突出する第１突出部を有し、 前記第１本体部は、前記第１配線収容部の前記第１突出部の両側に突出する２つの第２突出部を有する。

【0130】

第９形態によれば、第１配線収容部内の第１配線を収容する収容空間が主に配置される部分を避けて、第１配線収容部の肉厚のある部分で、第１本体部を取り付けることができ、第１保持部材の剛性を高めることができる。

【0131】

第１０形態によれば、第７形態の基板ホルダにおいて、 前記第１配線収容部及び前記第１本体部の連結箇所において、基板ホルダの外側面となる側において、前記第１配線収容部の壁が、前記第１本体部の壁の外側で重なる。

【0132】

第１０形態によれば、基板ホルダの外側面となる面において、第１配線収容部の壁が第１本体部の壁の外側に配置されて、第１配線収容部の壁が傘構造となるので、液はね等によって基板ホルダの内部にめっき液が侵入することを抑制ないし防止することができる。基板ホルダ内部へのめっき液の侵入を抑制ないし防止し、基板ホルダ内の配線孔等にシールを配置することを省略することができる。

【0133】

第１１形態によれば、第７形態の基板ホルダにおいて、 前記第１配線収容部及び前記第１本体部の連結箇所が、前記基板ホルダがめっき槽に配置された際にめっき液面より上方に位置するように、前記第１保持部材が構成されている。

【0134】

第１１形態によれば、基板ホルダ内部へのめっき液の侵入を更に抑制ないし防止し、基板ホルダ内の配線孔等にシールを配置することを省略することができる。

【0135】

第１２形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、前記基板の前記第１面に電流を供給するための第１基板接点を有し、 前記第２保持部材は、前記基板の前記第２面に電流を供給するための第２基板接点を有し、 前記第１基板接点を前記第１保持部材内で固定するための第１接点固定部と、前記第２基板接点を前記第２保持部材内で固定するための第２接点固定部とは、前記第１保持部材及び前記第２保持部材を係合させた状態で互いに重ならない。

【0136】

第１２形態によれば、第１接点固定部及び第２接点固定部の間の干渉を防止して、基板ホルダの厚みが増加することを抑制ないし防止することができる。

【0137】

第１３形態によれば、第１２形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、前記第１開口部の外側に設けられた第１シールホルダを有し、 前記第２保持部材は、前記第２開口部の外側に設けられた第２シールホルダを有し、 前記第１及び第２基板接点は、それぞれ前記第１及び第２接点固定部によって前記第１及び第２シールホルダに取り付けられており、 前記第１シールホルダを前記第１保持部材内で固定するための第１シールホルダ固定部と、前記第２シールホルダを前記第２保持部材内で固定するための第２シールホルダ固定部とは、前記第１保持部材及び前記第２保持部材を係合させた状態で互いに重ならない。

【0138】

第１３形態によれば、第１シールホルダ固定部及び第２シールホルダ固定部の間の干渉を防止して、基板ホルダの厚みが増加することを抑制ないし防止することができる。

【0139】

第１４形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、前記第１開口部の周囲に設けられた第１シールを有し、 前記第２保持部材は、前記第２開口部の周囲に設けられた第２シールを有し、 前記第１保持部材及び前記第２保持部材の少な
くとも一方には、前記第１シール及び前記第２シールよりも外側において外側シールが更に設けられている。

【0140】

第１４形態によれば、第１保持部材及び第２保持部材の少なくとも一方に設ける外側シールによって、第１及び第２シールとともに基板接点を基板ホルダの外部から保護することができる。

【0141】

第１５形態によれば、第１形態の基板ホルダにおいて、 前記第１及び第２開口部は矩形状である。

【0142】

第１５形態によれば、大型化の傾向がある矩形形状の基板用の基板ホルダを提供することができる。

【0143】

第１６形態によれば、 基板を保持するための基板ホルダと、 前記基板を前記基板ホルダに着脱するための基板着脱部と、 前記基板を保持した前記基板ホルダにめっき処理を施すためのめっき槽と、 前記基板ホルダを搬送する搬送機と、を備えるめっき装置が提供される。このめっき装置の基板ホルダは、 前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、 前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材であって、前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有する第２保持部材と、を備える。 前記第１保持部材は、前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、少なくとも１つの第１外部接続接点と、前記少なくとも１つの第１基板接点と前記少なくとも１つの第１外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第１配線を有する。 前記第２保持部材は、前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、少なくとも１つの第２外部接続接点と、前記少なくとも１つの第２基板接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点とを電気的に接続する少なくとも１つの第２配線を有する。前記少なくとも１つの第１外部接続接点と前記少なくとも１つの第２外部接続接点は電気的に独立である。

【0144】

第１６形態によれば、第１及び第２保持部材にそれぞれ独立に第１及び第２外部接続接点、第１基板接点及び第２基板接点、第１配線及び第２配線を設けたので、基板の第１面及び第２面への電流供給経路をそれぞれ第１及び第２保持部材に分配することができる。これにより、めっき装置において、基板ホルダの厚みの増大を抑制しつつ、基板の第１面及び第２面への電流供給経路を設置する空間を確保することができる。また、基板の第１面及び第２面に対し独立して電流供給が可能になるため、各面のめっき厚さ等のめっき仕様を独立して制御することができる。

【0145】

第１７形態によれば、基板を保持するための基板ホルダであって、 前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、 前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材と、を備え、 前記第１保持部材は、 第１外部接続部と、 前記基板の前記第１面に接触して前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、 前記第１外部接続部と、前記少なくとも１つの第１基板接点とに接続される第１導電経路部材と、を有し、 前記第１導電経路部材には、前記第１基板接点が取り外し可能に取り付けられ、前記第１導電経路部材は、前記第１保持部材と前記第２保持部材とでシールされた空間内に配置されており、前記第１保持部材の本体に着脱可能に取り付けられている、基板ホルダが提供される。

【0146】

この形態によれば、基板ホルダを処理槽に配置した際に、第１導電経路部材が処理液に接触することが防止される。また、少なくとも１つの第１基板接点は、第１導電経路部材に対して取り外し可能に取り付けられるため、少なくとも１つの第１基板接点の交換が容易である。このため、一部の第１基板接点を交換することにより、基板ホルダを継続して
使用できるようになり、基板ホルダのメンテナンス及び交換に要する費用を低減することができる。例えば、処理液のリークが生じた際に、基板ホルダの処理槽内の姿勢に応じて、処理液に接触し易い基板接点など（基板ホルダを垂直な姿勢とする場合は、基板ホルダ底部側）、一部の基板接点のみを交換することにより、基板ホルダ全体又は第１基板接点全体を交換する場合と比較して、費用を低減することができる。

【0147】

また、基板ホルダが、少なくとも１つの基板接点と、少なくとも１つの外部接点と、それらを接続する導電経路部材とを備え、導電経路部材が交換可能に設けられている。よって、導電経路部材がめっき液と接触して腐食や金属の析出が生じた場合に、導電経路部材を交換可能である。このため、導電経路部材を交換することにより、基板ホルダを継続して使用できるようになり、基板ホルダのメンテナンス及び交換に要する費用を低減することができる。

【0148】

また、複数の第１基板接点に接続される第１導電経路部材を使用する場合には、配線収容部を省略し、基板ホルダの小型化およびコストダウンを図ることができる。また、複数の基板接点への配線を導電経路部材としてまとめることにより、導電経路部材の断面積を大きく確保することができ、導電経路部材の単位長さ当たりの配線抵抗を低減することができる。これにより、外部接続部から各第１基板接点までの経路における電圧降下の差を低減することができる。この結果、各第１基板接点を通じて流れるめっき電流を均一化し、めっき膜厚を均一化することができる。また、複数の第１基板接点への配線を導電経路部材としてまとめるので、複数の第１基板接点までの配線の寸法を低減すること、又はケーブル配線を省略することができる。

【0149】

第１８形態によれば、第１７形態の基板ホルダにおいて、 前記第１保持部材は、複数の第１基板接点を有し、並びに、前記第１外部接続部と、前記複数の第１基板接点の少なくとも１つとに接続され、前記第１導電経路部材から離間した第２導電経路部材を更に有する。

【0150】

この形態によれば、導電経路を第１導電経路部材、第２導電経路部材に分割して形成することにより、基板ホルダに基板を保持させた状態で第１導電経路部材と第２導電経路部材との間に電位差を加えることによって、めっき処理に先だって通電を確認することができる。また、複数の第１基板接点を第１及び第２導電経路部材に分配することにより、外部接続部から各第１基板接点までの経路長の差を抑制することができる。例えば、第１保持部材の対称な各半分部分にある第１基板接続接点を第１及び第２導電経路部材に分配することにより、外部接続部から各第１基板接点までの経路長差をほぼ同一にすることができる。また、導電経路部材ごとに交換することが可能である。

【0151】

第１９形態によれば、第１８形態の基板ホルダにおいて、 前記第１導電経路部材及び前記第２導電経路部材の少なくとも一方は、複数の経路片に分割可能である。

【0152】

この形態によれば、経路片ごとに交換することが可能である。例えば、基板ホルダに処理液のリークが発生した場合に、基板ホルダの処理槽内での姿勢に応じて、処理液の影響を受けやすい部分が存在する。基板ホルダを立てた姿勢でめっき槽に配置する場合には、処理液のリークが発生した場合、基板ホルダの最下部近傍に処理液が蓄積し易い。このため、処理液のリークが発生し、基板ホルダの最下部近傍の経路片にのみ処理液が接触した場合に、導電経路部材の全体を交換する代わりに、処理液に接触した経路片のみを交換することができる。基板ホルダ全体、又は導電経路部材の全体を交換する場合と比較して、費用を低減することができる。また、経路片ごとに形成し、その後組み立てることにより、導電経路部材を安価に製造することができる。

【0153】

第２０形態によれば、第１７形態の基板ホルダにおいて、 前記第１導電経路部材は、板状または棒状である。

【0154】

第１導電経路部材を板状とすることにより、基板ホルダの厚みが増大することを抑制することができる。第１導電経路部材を棒状とすることにより、湾曲した導電経路に沿う形状を加工しやすい。

【0155】

第２１形態によれば、第１７乃至２０形態の何れかの基板ホルダにおいて、 前記第２保持部材は、 前記基板の第２面を露出するための第２の開口部を有し、 前記基板の前記第２面に接触して前記基板の前記第２面に電流を供給するための少なくとも１つの第２基板接点と、 第２外部接続部と、 前記第２外部接続部と、前記少なくとも１つの第２基板接点とに接続される第３導電経路部材と、を有し、 前記第３導電経路部材には、前記第２基板接点が取り外し可能に取り付けられる。

【0156】

この形態によれば、両面めっき処理用の基板ホルダの各保持部材及びにおいて、上記形態で述べた作用効果を奏する。

【0157】

第２２形態によれば、 基板を保持するための基板ホルダと、 前記基板を前記基板ホルダに着脱するための基板着脱部と、 前記基板を保持した前記基板ホルダにめっき処理を施すためのめっき槽と、を備えるめっき装置が提供される。 前記基板ホルダは、 前記基板の第１面を露出するための第１の開口部を有する第１保持部材と、 前記第１保持部材とともに前記基板を挟持して保持するための第２保持部材と、を備える。 前記第１保持部材は、 第１外部接続部と、 前記基板の前記第１面に接触して前記基板の前記第１面に電流を供給するための少なくとも１つの第１基板接点と、 前記第１外部接続部と、前記少なくとも１つの第１基板接点とに接続される第１導電経路部材と、を有し、 前記第１導電経路部材には、前記第１基板接点が取り外し可能に取り付けられ、 前記第１導電経路部材は、前記第１保持部材と前記第２保持部材とでシールされた空間内に配置されており、前記第１保持部材の本体に着脱可能に取り付けられている。この形態によれば、第１７形態と同様の作用効果を奏する。

【0158】

以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。例えば、大型基板の形状は矩形に限定されず、正方形であってもよく、それ以外の多角形形状、例えば、五角形や六角形であってもよい。また、円形形状の基板を基板ホルダに脱着する基板脱着装置にも本発明が適用できることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

【符号の説明】

【0159】

１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ めっき槽
１１ 基板ホルダ
１１０Ａ 第１保持部材
１１０Ｂ 第２保持部材
１１１Ａ 第１本体部
１１１Ｂ 第２本体部
１１１０Ａ 第１本体
１１１０Ｂ 第２本体
１１２Ａ 第１開口部
１１２Ｂ 第２開口部
１１３Ａ、１１３Ｂ 取付部（突出部）
１１４Ａ、１１４Ｂ 取付部
１１５Ａ、１１５Ｂ 取付部
１１７Ａ 第１基板接点
１１７Ｂ 第２基板接点
１１８Ａ、１１８Ｂ シールホルダ
１１９Ｂ シールホルダ
１２０Ａ、１２０Ｂ 内側シール
１２１Ａ 外側シール
１２２Ａ、１２２Ｂ 螺子
１２３Ａ、１２３Ｂ 螺子
１５０ 配線収容部
１５０Ａ 第１配線収容部
１５０Ｂ 第２配線収容部
１５４Ａ、１５４Ｂ 取付部
１５７Ａ、１５７Ｂ 突出部
１５９Ａ、１５９Ｂ 取付部
１６０ アーム部
１６０Ａ 第１アーム部
１６０Ｂ 第２アーム部
１６３Ｒ、１６３Ｌ 位置決め部
１６８ 外部接続接点
１７０Ｂ 基板セット部
１８０、１８０Ａ、１８０Ｂ 取付部
１８１、１８１Ａ、１８０Ｂ 取付部
１９１Ａ、１９１Ｂ 取付部
２１０Ａ 突起部
２１０Ｂ 貫通穴
４１０、４２０ 導電経路部
４１０Ｌ、４２０Ｌ 左側導電経路部材
４１０Ｒ、４２０Ｒ 右側導電経路部材
４１１Ｌ〜４１５Ｌ、４１１Ｒ〜４１５Ｒ 経路片
４２１Ｌ〜４２５Ｌ、４２１Ｒ〜４２５Ｒ 経路片
４３０ 導電版
４４０Ｌ、４４０Ｒ 外部接続接点
Ｌ 配線
Ｓ めっき液面
Ｗ 基板

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図7D】

【図8】

【図8A】

【図8B】

【図8C】

【図9A】

【図9B】

【図9C】

【図10】

【図11】

【図12A】

【図12B】

【図12C】

【図12D】

【図12E】

【図13A】

【図13B】

【図14A】

【図14B】

【図15】

【図16A】

【図16B】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22A】

【図22B】

【図23】

【図24】

【図25】