発明の名称 光学検査システム、光学検査方法、及びレーザー
出願人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション (識別番号 500049141)
特許公開件数ランキング 344 位(89件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 277 位(97件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6954980
公報発行日 2021年10月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6954980
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