ホーム > 特許ランキング > 田中貴金属工業株式会社 > 特許6958819
特許 6958819出願番号 特願 2018-548601
磁気記録媒体用スパッタリングターゲット
出願人 田中貴金属工業株式会社（識別番号 509352945）
2026年 特許公開件数ランキング 1313位 16件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 983位 22件（※）
出願人 国立大学法人東北大学（識別番号 504157024）
2026年 特許公開件数ランキング 255位 165件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 176位 202件（※）
公報発行日 2021年11月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6958819 ログイン済みの方はこのURLへ
［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。
※ 共同出願を含む
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。 ログインはこちら ログイン・ユーザー登録
技術分野
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであって、良好な磁気特性を維持しつつ、磁性結晶粒の微細化および磁性結晶粒の中心間距離の低減がなされた磁性薄膜を作製可能な磁気記録媒体用スパッタリングターゲットを提供することを課題とする。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】本発明の第１スパッタリングターゲットを用いてスパッタリングを行い、グラニュラ媒体を形成する際の成長過程を模式的に示す模式図であり、（Ａ）はグラニュラ媒体の成長の初期段階（グラニュラ媒体１０）を示す模式図で、（Ｂ）はグラニュラ媒体の成長が進んだ段階（グラニュラ媒体２０）を示す模式図
【図2】酸化物成分にＢ2Ｏ3のみを用いたスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングを行い、グラニュラ媒体を形成する際の成長過程を模式的に示す模式図であり、（Ａ）はグラニュラ媒体の成長の初期段階（グラニュラ媒体３０）を示す模式図で、（Ｂ）はグラニュラ媒体の成長が進んだ段階（グラニュラ媒体４０）を示す模式図
【図3】実施例１、４〜６、比較例１の磁気特性測定用サンプルのグラニュラ媒体磁化曲線の一例を示す図
【図4】実施例１、４〜６、比較例１の磁気特性測定用サンプルの面内方向（柱状のＣｏＰｔ合金結晶粒の高さ方向と直交する平面方向）のＸ線回折の測定結果を示す図
【図5】組織観察用サンプルを透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察して得た平面ＴＥＭ写真であり、（Ａ）実施例１、（Ｂ）実施例４、（Ｃ）比較例１
【図6】実施例４の組織観察用サンプルを透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察して得た断面ＴＥＭ写真
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録
［広告欄］
ログインすれば広告は減ります
ログインすれば広告は減ります