特許第6959147号(P6959147)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6959147ハライドシラン化合物及び組成物並びにそれを使用してケイ素含有膜を堆積するためのプロセス
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  • 特許6959147-ハライドシラン化合物及び組成物並びにそれを使用してケイ素含有膜を堆積するためのプロセス 図000004
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