特許6963338走査型プローブ顕微鏡

発明の名称　走査型プローブ顕微鏡

出願人　株式会社日立ハイテクサイエンス　（識別番号 503460323）

　　　　特許公開件数ランキング 2303 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1361 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6963338

公報発行日　2021年11月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6963338

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