特許 6963419 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6963419

(24)【登録日】2021年10月19日

(45)【発行日】2021年11月10日

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/409 20060101AFI20211028BHJP

   G06F 3/0484 20130101ALI20211028BHJP

   G06F 3/0488 20130101ALI20211028BHJP

【ＦＩ】

   G05B19/409 C

   G06F3/0484 170

   G06F3/0488 160

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-113374(P2017-113374)

(22)【出願日】2017年6月8日

(65)【公開番号】特開2018-206240(P2018-206240A)

(43)【公開日】2018年12月27日

【審査請求日】2020年4月6日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】特許業務法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】千葉 慎弥

(72)【発明者】

【氏名】根岸 克治

【審査官】 尾形 元

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−１５１８１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−２５６１０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平５−８２７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平５−２２０７（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０５Ｂ １９／１８ −１９／４１６

Ｇ０５Ｂ １９／４２ −１９／４６

Ｇ０６Ｆ ３／０１ − ３／０２７

Ｇ０６Ｆ ３／０４８− ３／０４８９

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも加工条件の入力に用いるタッチパネルと、少なくとも該タッチパネルを制御する制御手段と、を備えた加工装置であって、
該制御手段は、
文字が入力される文字セルと数値が入力される数値セルとを該タッチパネルに表示させるセル表示部と、
該タッチパネルにおいて該数値セルが選択されると該タッチパネルに数値表示欄を備えた電卓画面を表示させる電卓表示部と、
該電卓画面から入力された計算式の結果を算出する算出部と、
該電卓画面を用いて該入力された数値又は該算出部が算出した数値を該電卓画面上の該数値表示欄に表示する数値表示部と、
該数値表示欄に表示された数値を該数値セルに転送する数値転送部と
を備え、
該数値転送部は、該数値表示欄がタッチされることによって該表示された数値を該数値セルに転送する加工装置。

【請求項2】

該タッチパネルに表示される数値を記憶可能な記憶手段を備え、
前記制御手段は、
該記憶手段が記憶した複数の数値のリストを表示するリスト表示部と、
該リスト表示部が表示した数値のリストのうち選択された数値を前記数値セルに入力するか、又は、該電卓画面上の該数値表示欄に入力する選択数値入力部と
を備えた
請求項１に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、タッチパネルを備える加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

切削装置、研削装置等の加工装置には、加工条件等の入力に用いるタッチパネルを備えたものがある。このような加工装置においてタッチパネルを用いて加工条件等を入力する際には、画面に表示される入力用のセルを指でタッチして選択するとソフトウェアキーボードが表示され、オペレータがソフトウェアキーボードのいずれかのキーに指でタッチすると、タッチされたキーに対応する文字又は数字が選択されたセルに入力される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１０−２４０３４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、セルに数値を入力する場合において、その入力しようとする数値が何らかの計算の結果であると、タッチパネルとは別にオペレータの手元に用意した電卓を用いて計算を行い、その結果をソフトウェアキーボードから入力している。そのため、電卓における計算式の入力やソフトウェアキーボードからの計算結果の入力に誤りがあると、その誤った数値が加工条件となるため、加工不良や装置の破損が発生するおそれがある。

【0005】

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、タッチパネルを備える加工装置において、計算結果の誤った数値がタッチパネルから入力されるのを防止することを課題としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、少なくとも加工条件の入力に用いるタッチパネルと、少なくともタッチパネルを制御する制御手段と、を備えた加工装置であって、制御手段は、文字が入力される文字セルと数値が入力される数値セルとをタッチパネルに表示させるセル表示部と、タッチパネルにおいて数値セルが選択されるとタッチパネルに数値表示欄を備えた電卓画面を表示させる電卓表示部と、電卓画面から入力された計算式の結果を算出する算出部と、電卓画面を用いて入力された数値又は算出部が算出した数値を電卓画面上の数値表示欄に表示する数値表示部と、数値表示欄に表示された数値を数値セルに転送する数値転送部とを備え、数値転送部は、数値表示欄がタッチされることによって表示された数値を数値セルに転送する。
この加工装置は、タッチパネルに表示される数値を記憶可能な記憶手段を備え、制御手段は、記憶手段が記憶した複数の数値のリストを表示するリスト表示部と、リスト表示部が表示した数値のリストのうち選択された数値を数値セルに入力するか、又は、電卓画面上の数値表示欄に入力する選択数値入力部とを備えることが望ましい。

【発明の効果】

【0007】

本発明に係る加工装置は、タッチパネルにおいて数値セルが選択されるとタッチパネルに数値表示欄を備えた電卓画面を表示させる電卓表示部と、電卓画面から入力された計算式の結果を算出する算出部と、入力された数値又は計算式の結果の数値を該電卓画面上の数値表示欄に表示する数値表示部と、数値表示欄に表示された数値を数値セルに転送する数値転送部とを備えているため、電卓画面から計算式を入力し、その計算結果を数値セルに入力することができる。したがって、タッチパネルとは別に電卓を用意する必要がなく、計算結果の入力に誤りが生じるおそれが低減され、誤った数値が加工条件となって加工不良や装置の破損が発生するおそれを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】加工装置の一例である切削装置の例を示す斜視図である。

【図2】切削装置の内部構造を示す斜視図である。

【図3】加工条件入力画面の例を示す説明図である。

【図4】加工条件入力画面及び電卓画面の例を示す説明図である。

【図5】制御手段の構成例を示すブロック図である。

【図6】加工条件入力画面のセルへの入力手順を示すフローチャートである。

【図7】ウェーハの例を示す拡大平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

図１に示す切削装置１は、チャックテーブル６に保持された被加工物を、加工室１０の内部の切削手段３によって切削する装置である。

【0010】

装置前部には、被加工物を収容するカセット７０ａが載置されるカセットテーブル７０が配設され、カセットテーブル７０は、昇降可能となっている。カセット７０ａに収容される被加工物、例えばウェーハＷは、裏面にテープＴが貼着され、テープＴの外周部にリング状のフレームＦが貼着されることにより、テープＴを介してフレームＦに支持された状態となる。なお、以下では、テープＴを介してフレームＦに支持された状態のウェーハＷを、ウェーハユニットＵと称する。

【0011】

加工室１０の側部には、カセット７０ａからウェーハユニットＵを搬出するとともに切削後のウェーハユニットＵをカセット７０ａに搬入する搬出入手段７２が配設されている。搬出入手段７２は、フレームを把持する把持部７３と、把持部７３を支持するアーム７４と、アーム７４をＹ軸方向に移動させる水平移動部７５とを備えている。

【0012】

搬出入手段７０の上方には、搬出入手段７２がカセット７０ａから搬出したウェーハユニットＵを受け取ってチャックテーブル６に搬送するとともに、加工後のウェーハユニットＵをチャックテーブル６から搬出入手段７２に受け渡す受け渡し手段７７が配設されている。受け渡し手段７７は、フレームＦを吸着保持する吸着部７８と、吸着部７８を昇降させる昇降駆動部７９とを備えている。

【0013】

チャックテーブル６は、ウェーハＷを吸引保持する吸引保持部６０と、吸引保持部６０の外周側に配設されフレームＦを固定する固定部６１とを備えており、Ｘ軸方向に移動可能となっている。チャックテーブル６が位置しうる＋Ｘ側の位置の上方には、ウェーハユニットＵを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段６２が配設されている。

【0014】

装置の前面には、加工条件の入力や画像の表示等に用いるタッチパネル８０が設けられている。装置の内部には、タッチパネル８０への画像の表示処理や、タッチパネル８０から入力された情報の処理を行う制御手段８１が設けられている。制御手段８１には、少なくともＣＰＵ及びメモリを備えている。また、制御手段８１には、メモリ等からなる記憶手段８２が接続されており、制御手段８１は、必要に応じて情報を記憶手段８２に記憶させることができる。

【0015】

加工室１０の内部に配設された切削手段３は、図２に示すように、第一切削手段３ａと第二切削手段３ｂとから構成されている。これらは同様に構成されているため、共通の符号を付して説明する。

【0016】

第一切削手段３ａ及び第二切削手段３ｂは、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドルの先端に装着されたブレード３０と、ウェーハＷを撮像して切削すべきラインを検出する撮像手段３１と、ブレード３０に対して切削水を供給するノズル３２とを備えている。

【0017】

第一切削手段３ａ及び第二切削手段３ｂは、割り出し送り手段４によってＹ軸方向に送られるとともに、切り込み送り手段５によってＺ軸方向に送られる。

【0018】

割り出し送り手段４は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ４０と、ボールネジ４０と平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の一端に連結されボールネジ４０を回転させるパルスモータ４２と、ボールネジ４０に螺合するナットを有するとともに側部がガイドレール４１に摺接する移動板４３とを備えている。パルスモータ４２がボールネジ４０を回転させると、移動板４３がガイドレール４１にガイドされてＹ軸方向に移動する。

【0019】

切り込み送り手段５は、移動板４３に配設されており、Ｚ軸方向に延在するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の一端に連結されボールネジ５０を回転させるパルスモータ５２と、ボールネジ５０に螺合するナットを有するとともに側部がガイドレール５１に摺接する移動板５３とを備えている。パルスモータ５２がボールネジ５０を回転させると、移動板５３がガイドレール５１にガイドされてＹ軸方向に移動する。

【0020】

第一切削手段３ａ及び第二切削手段３ｂは移動板５３に固定されており、移動板５３のＺ軸方向の昇降にともない第一切削手段３ａ及び第二切削手段３ｂもＺ軸方向に昇降する。また、移動板４３のＹ軸方向の移動にともない第一切削手段３ａ及び第二切削手段３ｂもＹ軸方向に移動する。

【0021】

チャックテーブル６は、加工送り手段２によってＸ軸方向に送られる。加工送り手段２は、Ｘ軸方向に延在するボールネジ２０と、ボールネジ２０と平行に配設された一対のガイドレール２１と、ボールネジ２０の一端に連結されボールネジ２０を回転させるモータ２２と、ボールネジ２０に螺合するナットを有するとともに底部がガイドレール２１に摺接する移動板２３とを備えている。モータ２２がボールネジ２０を回転させると、移動板２３がガイドレール２１にガイドされてＸ軸方向に移動する。移動板２３上にはチャックテーブル６を回転させる回転駆動手段２４が配設されており、移動板２３がＸ軸方向に移動すると、回転駆動手段２４及びチャックテーブル２もＸ軸方向に移動する。

【0022】

タッチパネル８０には、制御手段８１による制御によって、例えば図３に示す加工条件入力画面９０が表示される。加工条件入力画面９には、入力用のセルが複数表示されるが、表示されるセルは、文字入力用の文字セル９１と数値入力用の数値セル９２とに大別される。オペレータが文字セル９１又は数値セル９２をタッチすると、図４に示すように、タッチされたセルが拡大表示される。また、タッチされたセルが数値セルであると、加工条件入力画面９０とは別に、又は加工条件入力画面９０に重ねて、電卓画面９３が表示される。この電卓画面９３は、オペレータによる計算式の入力を可能とし、タッチパネル８０上において電卓機能を提供する。

【0023】

文字セル９１及び数値セル９２は、図５に示す制御手段８１を構成するセル表示部８１０によって表示される。また、電卓画面９３の表示処理は、図５に示す制御手段８１を構成する電卓表示部８１１によって行われる。

【0024】

図４に示すように、電卓画面９３には、数値キー９３１及び演算子キー９３２等の入力キーと、数値キー９３１から入力された数値又は計算結果が表示される数値表示欄９３３と、以前に入力された数値のリストを表示する数値リスト表示欄９３４とを備えている。数値表示欄９３３への数値の表示処理は、図５に示す制御手段８１を構成する数値表示部８１２によって行われる。また、数値リスト表示欄９３４への数値の表示処理は、図５に示す制御手段８１を構成するリスト表示部８１３によって行われる。数値リスト表示欄９３４へ表示する数値は記憶手段８２に記憶されており、リスト表示部８１は、記憶手段８２に記憶された数値を読み出して数値リスト表示欄９３４に表示する。

【0025】

図５に示すように、制御手段８１は、電卓画面から入力された計算式の計算結果を算出する算出部８１４と、リスト表示部８１３が数値リスト表示欄９３４に表示した数値のリストのうち選択された数値を前記数値セルに入力するか、又は、電卓画面の数値表示欄９３３に入力して表示させる選択数値入力部８１５と、数値表示部８１２によって数値表示欄９３３に表示された数値を数値セル９２に複写する数値転送部８１６とを備えている。

【0026】

以下では、図３及び図４に示した加工条件入力画面９０において文字又は数値を入力する際の制御手段８１によるタッチパネル８０の制御について、図６に示すフローチャートに沿って説明する。

【0027】

まず、オペレータは、入力しようとするセルを指でタッチする。タッチパネル８１がこれを感知すると、制御手段８１は、タッチパネル８１に、図示しないソフトウェアキーボードを表示するとともに、タッチされたセルを拡大表示する（ステップＳ１）。

【0028】

制御手段８１は、タッチされたセルが数値セルであるか文字セルであるかを判断し（ステップＳ２）、タッチされたセルが数値セルである場合は、電卓表示部８１１が、例えば加工条件入力画面９０の横に、図示しない電卓アイコンを表示する（ステップＳ３）。そして、制御手段８１は、その電卓アイコンにタッチされるか否かを監視し（ステップＳ４）、オペレータがその電卓アイコンにタッチすると、電卓表示部８１１は、図４に示した電卓画面９３を表示する（ステップＳ５）。さらに、リスト表示部８１３が記憶手段８２から数値リストを読み出し、数値リスト表示欄９３４に表示する（ステップＳ６）。

【0029】

例えば、図４に示すように、タッチされたセルが、Ｚ１ブレードの第１インデックスの数値セル９２ａであり、その後、電卓アイコンがタッチされた場合は、Ｚ１ブレードの第１インデックスの計算に、電卓画面９３を使用する。

【0030】

ここで、加工条件入力画面９０に表示された「インデックス」は、ウェーハの所望のラインを切削するために図２に示したブレード３０をＹ軸方向に割り出し送りする際の割り出し送り間隔を意味しており、この値はウェーハの種類によって異なる。例えば、図６に示すウェーハＷでは、切削すべきラインが等間隔ではなく、ラインＬ１とラインＬ２との間隔Ｄ１２と、ラインＬ２とラインＬ３との間隔Ｄ２３とは等しいが、ラインＬ３とラインＬ１との間隔Ｄ３１は、間隔Ｄ１２及び間隔Ｄ２３より長い。なお、ラインＬ１、ラインＬ２及びラインＬ３の３本のラインによってラインセットＬＳが構成されており、ウェーハＷには、複数のラインセットＬＳが形成されている。

【0031】

例えば、間隔Ｄ１２及び間隔Ｄ２３が２ｍｍ、間隔Ｄ３１が５ｍｍであり、ラインＬ２については図２に示した第一切削手段３ａのブレード３０を用いて切削し、ラインＬ１及びラインＬ３については図２に示した第二切削手段３ｂのブレード３０を用いて切削することとする。割り出し送りの基準となるラインがラインＬ１である場合は、図３に示した加工条件入力画面９０において、Ｚ１ブレードの第１インデックスの数値セル９２ａに、間隔Ｄ１２の値である２ｍｍを入力する。一方、Ｚ１ブレードの第２インデックスの数値セル９２ｂには、間隔Ｄ２３＋間隔Ｄ３１の値、すなわち２ｍｍ＋５ｍｍ＝７ｍｍを入力する必要がある。また、Ｚ２ブレードの第１インデックスの数値セル９２ｃには、間隔Ｄ１２＋間隔Ｄ２３の値、すなわち２ｍｍ＋２ｍｍ＝４ｍｍを入力する。一方、Ｚ２ブレードの第２インデックスの数値セル９２ｄには、間隔Ｄ３１の値である５ｍｍを入力する必要がある。このような数値を入力する際には、数値リスト表示欄９３４に表示された中から数値を選択してタッチすることにより、その数値を計算式の一部として使用することができ、計算式の入力を効率化することができる。

【0032】

上記例においては、Ｚ１ブレードの第２インデックスの数値セル９２ｂ及びＺ２ブレードの第１インデックスの数値セル９２ｃには計算結果を入力する必要があるため、電卓画面９３を表示させて使用する。

【0033】

電卓画面９３上において、オペレータが数値キー９３１及び演算子キー９３２をタッチして、例えばＺ１ブレードの第２インデックスを算出するための計算式を入力すると、その入力を制御手段８１が受け付け（ステップＳ７）、図５に示した算出部８１４がその計算を行い、数値表示部８１２が計算結果を数値表示欄９３３に表示する（ステップＳ８）。

【0034】

計算結果が数値表示欄９３３に表示された後、オペレータが例えば数値表示欄９３３をタッチすると、数値転送部８１６が数値表示欄９３３に表示された数値を数値セル９２ｂに転送して表示させる（ステップＳ９）。

【0035】

なお、オペレータが文字セルをタッチした場合は、ソフトウェアキーボードから入力される文字を制御手段８１が受け付け（ステップＳ１０）、その文字を文字セルに入力して表示させる（ステップＳ１１）。

【0036】

また、オペレータが数値セルをタッチした場合であっても、電卓アイコンをタッチしなかった場合は、ソフトウェアキーボードから入力される数値を制御手段８１が受け付け（ステップＳ１２）、その数値を数値セルに入力して表示させる（ステップＳ１３）。

【0037】

このように、オペレータによって数値セルが選択されると、電卓表示部８１１が電卓画面９３をタッチパネル８０に表示し、オペレータは、電卓画面９３上で計算をして計算結果を算出し、算出された計算結果を数値セル９２に転送することができる。したがって、タッチパネル８０とは別に電卓をオペレータの手元に用意する必要がないため、数値セルに入力する数値に誤りが生じにくく、加工不良や装置の破損が発生するおそれを低減することができる。

【0038】

以上のようにして加工条件が入力されると、その加工条件に従ってウェーハＷの切削加工が行われる。図１に示したカセット７０ａには、複数のウェーハユニットＵが収容される。カセット７０ａは、カセットテーブル７０に載置される。そして、カセットテーブル７０が昇降し、搬出しようとするウェーハユニットＵが所定の高さ位置に位置付けられ、把持部７３によってフレームＦが把持され、アーム７４が＋Ｙ方向に移動することにより、ウェーハユニットＵがカセット７０ａから搬出される。

【0039】

カセット７０ａから搬出されたウェーハユニットＵは、位置合わせ手段６２において一定の位置に位置合わせされた後、受け渡し手段７７によってチャックテーブル６に載置され、ウェーハＷが吸引保持部６０に吸引保持され、フレームＦが固定部６１によって固定される。

【0040】

次に、図２に示した加工送り手段２がチャックテーブル６を−Ｘに移動させ、撮像手段３１によってウェーハＷの表面が撮像される。そして、例えばラインＬ１を基準として切削されるラインの位置が特定される場合は、ラインＬ１を検出する。なお、以下では、最初に、第一切削手段３ａのブレード３０によってラインセットＬＳ１のラインＬ２を切削し、第二切削手段３ｂのブレード３０によってラインセットＬＳ６のラインＬ１を切削することとする。したがって、第一切削手段３ａの撮像手段３１は、ラインセットＬＳ１のラインＬ１を検出し、第二切削手段３ｂの撮像手段３１は、ラインセットＬＳ６のラインＬＳ１を検出する。

【0041】

最初に、第一切削手段３ａのブレード３０がラインセットＬＳ１のラインＬ１の延長上に位置合わせされ、第二切削手段３ｂのブレード３０がラインセットＬＳ６のラインＬＳ１の延長上に位置合わせされる。次に、第一切削手段３ａが−Ｙ方向に割り出し送りされ、ラインセットＬＳ１のラインＬ２の延長上にブレード３０が位置合わせされる。なお、第二切削手段３ｂのブレード３０については、ラインセットＬＳ６のラインＬＳ１の延長上に位置合わせされたままとする。

【0042】

こうして２つのブレードが所定の位置に位置合わせされた状態で、各ブレード３０が回転するとともに所定のＺ軸方向に位置に位置付けされ、チャックテーブル６がさらに−Ｘ方向に移動することにより、２本のラインが２つのブレード３０によってそれぞれ切削される。

【0043】

次に、第一切削手段３ａ及び第二切削手段３ｂがＹ軸方向に所定距離だけ割り出し送りされ、次に切削しようとするラインに対して２つのブレード３０のＹ軸方向の位置合わせが行われる。ここで、割り出し送りされる所定距離は、図４の加工条件入力画面９０において入力したＺ１ブレードの第２インデックス及びＺ２ブレードの第１インデックスであり、この割り出し送りがなされた後、２つのブレード３０によって、ラインセットＬＳ２のラインＬ２及びラインセットＬＳ６のラインＬ３がそれぞれ切削される。

【0044】

次に、第一切削手段３ａがＺ１ブレードの第２インデックスだけ割り出し送りされ、第二切削手段３ｂがＺ２ブレードの第２インデックスだけ切削された後に、同様に切削が行われる。

【0045】

このようにして割り出し送りをしつつ切削が行われ、すべてのラインが切削されると、チャックテーブル６が＋Ｘ方向に移動し、図１に示した受け渡し手段７７の吸着部７８によってフレームＦが吸着され、位置合わせ手段６２に載置される。そして、搬出入手段７２の把持部７３によってフレームＦが把持され、カセット７０ａを所定の高さ位置に位置付けるとともに、水平移動部７５がアーム７４を−Ｙ方向に移動させることにより、ウェーハユニットＵがカセット７０ａに収容される。このような動作が、カセット７０ａに収容されたすべてのウェーハユニットについて行われる。

【0046】

各インデックスの値は、電卓画面９３における電卓機能を用いて計算されたもので、計算結果がインデックスのセルに転送されているため、オペレータの手元にある電卓を用いて計算してセルに入力する場合と比較して、計算結果の入力に誤りが生じるおそれが低減され、誤った数値が加工条件となって誤った位置を切削するおそれが低減され、また、装置の破損が発生するおそれを低減することができる。

【0047】

上記実施形態では、記憶手段８２に記憶された数値リストを電卓画面９３の数値リスト表示欄９３４に表示させる例について説明したが、記憶手段８２に記憶された数値リストは、数値セルが選択されたときにその数値セルの近傍に表示させるようにしてもよい。この場合は、その数値リストから選択された数値が数値セルに入力される。

【0048】

なお、上記実施形態では、加工装置の例として切削装置を挙げたが、本発明は、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の他の加工装置に適用することができる。

【符号の説明】

【0049】

１：切削装置 １０：加工室
２：加工送り手段
２０：ボールネジ ２１：ガイドレール ２２：モータ ２３：移動板
２４：回転駆動手段
３：切削手段
３ａ：第一切削手段 ３ｂ：第二切削手段
３０：ブレード ３１：撮像手段 ３２：ノズル
４：割り出し送り手段
４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：パルスモータ ４３：移動板
５：切り込み送り手段
５０：ボールネジ ５１：ガイドレール ５２：パルスモータ ５３：移動板
６：チャックテーブル
６０：吸引保持部 ６１：固定部 ６２：位置合わせ手段
７０：カセットテーブル ７０ａ：カセット
７２：搬出入手段 ７３：把持部 ７４：アーム ７５：水平移動部
７７：受け渡し手段 ７８：吸着部 ７９：昇降駆動部
８０：タッチパネル
８１：制御手段
８１０：セル表示部 ８１１：電卓表示部 ８１２：数値表示部 ８１３：リスト表示部
８１４：算出部 ８１５：数値選択入力部 ８１６：数値転送部
８２：記憶手段
９０：加工条件入力画面
９１：文字セル ９２：数値セル
９３：電卓画面
９３１：数値キー ９３２：演算子キー ９３３：数値表示欄
９３４：数値リスト表示欄
Ｕ：ウェーハユニット Ｗ：ウェーハ Ｔ：テープ Ｆ：フレーム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】