特許6964531ウィーンフィルタ、電子光学装置

発明の名称　ウィーンフィルタ、電子光学装置

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 182 位（174件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 199 位（139件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6964531

公報発行日　2021年11月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6964531

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