特許第6964964号(P6964964)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧

特許6964964チェンバ内で基板を処理する方法およびその装置