特許 6969944 板状物の切削方法及び切削措置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6969944

(24)【登録日】2021年11月1日

(45)【発行日】2021年11月24日

(54)【発明の名称】板状物の切削方法及び切削措置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20211111BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20211111BHJP

   B24B 55/02 20060101ALI20211111BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 F

   B24B27/06 M

   B24B55/02 D

【請求項の数】2

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2017-179301(P2017-179301)

(22)【出願日】2017年9月19日

(65)【公開番号】特開2019-57525(P2019-57525A)

(43)【公開日】2019年4月11日

【審査請求日】2020年7月3日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】滝田 友春

(72)【発明者】

【氏名】原田 成規

【審査官】 三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−０３１６３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０２５９４８３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−１４２１２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−１１５０７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１７９００２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−０９２３６２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２４Ｂ ５５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

保持手段と、切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、切削水供給手段と、を少なくとも有する切削装置を用いて、板状物を任意の分割予定ラインに沿って分割する切削方法であって、
該分割予定ラインの延長線上に三枚以上の板状物が隣接しないように、複数枚の該板状物を該保持手段に保持する保持ステップと、
切削点に供給される切削水を該切削ブレードの回転方向につれ回って排出しながら該板状物を切削する切削ステップと、を備え、
該切削ステップにおいて、
該切削点から排出される該切削水が該切削点から該保持手段の外周に向かう方向に回転された該切削ブレードを該保持手段の外周側から該板状物の該分割予定ラインに切り込ませて、該切削ブレードが該保持手段の中心に向かうように該保持手段を移動させることで、該切削水が排出される方向が、隣接する他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削ブレードを回転させながら切削する事を特徴とする、板状物の切削方法。

【請求項2】

少なくとも一つの板状物の分割予定ラインの延長線上に他の板状物が位置する状態で複数枚の板状物を保持する保持手段と、
切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、
該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、
該保持手段と該切削手段とを相対的に移動させる移動手段と、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備えた切削装置であって、
該制御ユニットは、該切削手段が複数枚の該板状物を切削する際に、切削点から排出される該切削水が該切削点から該保持手段の外周に向かう方向に回転された該切削ブレードを該保持手段の外周側から該板状物の該分割予定ラインに切り込ませて、該移動手段に該切削ブレードが該保持手段の中心に向かうように該保持手段を移動させることで、切削中に該切削ブレードの回転によって該切削ブレードから該切削水が排出される方向が、他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削手段と該移動手段との少なくとも一方を制御する、
ことを特徴とする切削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数枚の板状物を同時に保持手段に保持して分割する板状物の切削方法及び切削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

比較的小型な板状物を切削して個々のデバイスに分割する際には、複数枚の板状物を一つの保持手段に保持し、切削ユニットの切削ブレードと各板状物とを分割予定ラインに沿って相対的に移動させることで、切削ブレードにより各板状物を個々のデバイスに分割する加工方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７−９２３６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に示す加工方法は、板状物の切削中に切削ブレードの回転によって切削水が切削ブレードから他の板状物に向かって飛散する虞があり、切削水中の切削屑が他の板状物に付着する虞があった。

【0005】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削水中の切削屑が板状物に付着することを抑制することができる板状物の切削方法及び切削装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の板状物の切削方法は、保持手段と、切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、切削水供給手段と、を少なくとも有する切削装置を用いて、板状物を任意の分割予定ラインに沿って分割する分割方法であって、該分割予定ラインの延長線上に三枚以上の板状物が隣接しないように、複数枚の該板状物を該保持手段に保持する保持ステップと、切削点に供給される切削水を該切削ブレードの回転方向につれ回って排出しながら該板状物を切削する切削ステップと、を備え、該切削ステップにおいて、該切削点から排出される該切削水が該切削点から該保持手段の外周に向かう方向に回転された該切削ブレードを該保持手段の外周側から該板状物の該分割予定ラインに切り込ませて、該切削ブレードが該保持手段の中心に向かうように該保持手段を移動させることで、該切削水が排出される方向が、隣接する他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削ブレードを回転させながら切削することを特徴とする。
本発明の切削装置は、少なくとも一つの板状物の分割予定ラインの延長線上に他の板状物が位置する状態で複数枚の板状物を保持する保持手段と、切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に移動させる移動手段と、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備えた切削装置であって、該制御ユニットは、該切削手段が複数枚の該板状物を切削する際に、切削点から排出される該切削水が該切削点から該保持手段の外周に向かう方向に回転された該切削ブレードを該保持手段の外周側から該板状物の該分割予定ラインに切り込ませて、該移動手段に該切削ブレードが該保持手段の中心に向かうように該保持手段を移動させることで、切削中に該切削ブレードの回転によって該切削ブレードから該切削水が排出される方向が、他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削手段と該移動手段との少なくとも一方を制御することを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本願発明は、切削水中の切削屑が板状物に付着することを抑制することができる、という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、実施形態１に係る板状物の切削方法が用いる切削装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態１に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。

【図3】図３は、実施形態１に係る板状物の切削方法の流れを示すフローチャートである。

【図4】図４は、図３に示された板状物の切削方法の切削ステップの一つの板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。

【図5】図５は、図４に示された板状物を示す平面図である。

【図6】図６は、図４に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した状態を一部断面で示す側面図である。

【図7】図７は、図６に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した切削ユニットを上昇させた状態を一部断面で示す側面図である。

【図8】図８は、図７に示す状態から他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。

【図9】図９は、図８に示された板状物を示す平面図である。

【図10】図１０は、実施形態２に係る板状物の切削方法の切削ステップにおいて、一つの板状物の分割予定ラインの切削の終了後に他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。

【図11】図１１は、図１０に示された板状物を示す平面図である。

【図12】図１２は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0010】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る板状物の切削方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る板状物の切削方法が用いる切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。

【0011】

実施形態１に係る板状物の切削方法は、図１に示す切削装置１を用いて板状物１００を分割する方法である。実施形態１に係る板状物の切削方法の加工対象である板状物１００は、平板状に形成され、例えば、ＣＳＰ（Chip Size Package）などのパッケージ基板である。板状物１００は、図２に示すように、表面１０１に互いに交差（実施形態１では、直交）する複数の分割予定ライン１０２によって区画された複数の領域にデバイス１０３が配設されている。板状物１００は、表面１０１の裏面１０４に粘着テープ１１０が貼着され、粘着テープ１１０の外周に環状フレーム１１１が貼着されることで、環状フレーム１１１と一体となっている。

【0012】

また、板状物１００は、一つの粘着テープ１１０に複数枚貼着されて、複数枚の板状物１００が環状フレーム１１１と一体となっている。一つの粘着テープ１１０に貼着される複数枚の板状物１００は、互いに交差する分割予定ライン１０２のうちいずれの延長線上にも三枚以上の板状物１００が隣接しないように配置されている。即ち、一つの粘着テープ１１０に貼着される複数枚の板状物１００は、互いに交差する分割予定ライン１０２のうちいずれの延長線上に最大で二枚並ぶように配置されている。

【0013】

なお、実施形態１において、板状物１００は、図２に示すように、互いに交差する分割予定ライン１０２の双方の延長線上に二つ並ぶように一つの粘着テープ１１０に４枚貼着されているが、本発明では、板状物１００が一つの粘着テープ１１０に貼着される数は、４枚に限定されないとともに、粘着テープ１１０に対する複数枚の板状物１００の配置は、図２に示された配置に限定されない。なお、実施形態１において、板状物１００は、パッケージ基板であるが、本発明では、パッケージ基板に限定されることなく、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどのウエーハ、セラミックス板又はガラス板でも良い。

【0014】

実施形態１に係る板状物の切削方法で用いられる切削装置１は、図１に示すように、板状物１００を保持面１１で吸引保持する保持手段であるチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持した板状物１００をスピンドル２１に装着した切削ブレード２２で切削する切削手段である切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された板状物１００を撮像する撮像ユニット３０と、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動手段である移動ユニット４０と、各構成要素を制御する制御ユニット５０とを少なくとも有する。

【0015】

移動ユニット４０は、チャックテーブル１０を鉛直方向と平行なＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転駆動源４１と、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＺ軸方向に切り込み送りする図示しないＺ軸移動ユニットとを少なくとも備える。

【0016】

チャックテーブル１０は、板状物１００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成された円盤形状である。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４２によりＸ軸方向に移動自在で回転駆動源４１によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、ポーラスセラミック等から形成された保持面１１が図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１０は、保持面１１に環状フレーム１１１に一体となった板状物１００が粘着テープ１１０を介して載置され、保持面１１が真空吸引源により吸引されることで、環状フレーム１１１に一体となった複数枚の板状物１００を吸引保持する。なお、チャックテーブル１０は、環状フレーム１１１に一体となった複数枚の板状物１００を分割予定ライン１０２の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接しない状態で複数枚の板状物１００を保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、環状フレーム１１１をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

【0017】

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された板状物１００を切削する切削ブレード２２を装着するスピンドル２１を備えるものである。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された板状物１００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

【0018】

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２２を位置付け可能となっている。切削ブレード２２は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドル２１は、切削ブレード２２を回転させることで板状物１００を切削する。スピンドル２１は、スピンドルハウジング２３内に回転自在に収容されている。切削ユニット２０は、スピンドル２１に切削ブレード２２を装着することにより、切削ブレード２２を回転可能に保持する。切削ユニット２０のスピンドル２１及び切削ブレード２２の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に割り出し送りされるとともにＺ軸移動ユニットに切り込み送りされながら、Ｘ軸移動ユニット４２によりチャックテーブル１０がＸ軸方向に切削送りされることにより、板状物１００を切削する。

【0019】

また、切削ユニット２０には、切削中に切削ブレード２２の板状物１００を切削する切削点２５（図４に示す）に純水からなる切削水２６（図４に示す）を供給する切削水供給手段である切削水供給ノズル２４が取り付けられている。即ち、切削装置１は、切削水供給手段である切削水供給ノズル２４を備えている。なお、切削点２５とは、切削ブレード２２の外縁の切り刃のうちの板状物１００を切削している部分をいう。切削水供給ノズル２４から切削ブレード２２の切削点２５に供給された切削水２６は、切削点２５から切削ブレード２２の回転方向に連れ回って切削点２５での接線方向に沿うようにして排出される。

【0020】

また、切削装置１は、切削前後の板状物１００を収容するカセット６０が載置されかつカセット６０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ７０と、切削後の板状物１００を洗浄する洗浄ユニット８０と、板状物１００をカセット６０とチャックテーブル１０と洗浄ユニット８０との間で搬送する搬送ユニット９０とを備える。

【0021】

撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された板状物１００の表面１０１を撮像する。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持した板状物１００の表面１０１を撮像する図示しないＣＣＤ（Charge Coupled Device）撮像素子を備えている。撮像ユニット３０は、板状物１００を撮像して、板状物１００と切削ブレード２２との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得て、得た画像を制御ユニット５０に出力する。

【0022】

制御ユニット５０は、切削装置１の上述した構成要素をそれぞれ制御して、板状物１００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット５０は、コンピュータである。制御ユニット５０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット５０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット５０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニット及びオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットと接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

【0023】

次に、切削装置１を用いた板状物の切削方法、即ち切削装置１の加工動作について説明する。図３は、実施形態１に係る板状物の切削方法の流れを示すフローチャートである。図４は、図３に示された板状物の切削方法の切削ステップの一つの板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。図５は、図４に示された板状物を示す平面図である。図６は、図４に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した状態を一部断面で示す側面図である。図７は、図６に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した切削ユニットを上昇させた状態を一部断面で示す側面図である。図８は、図７に示す状態から他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。図９は、図８に示された板状物を示す平面図である。なお、図５及び図９に示す板状物１００の平面図は、切削前の分割予定ライン１０２を点線で示し、切削済の分割予定ライン１０２を実線で示す。

【0024】

実施形態１に係る板状物の切削方法（以下、単に切削方法と記す）は、図１に示す切削装置１を用いて、板状物１００を任意の分割予定ライン１０２に沿って分割する方法である。切削方法は、オペレータが加工内容情報を制御ユニット５０に登録し、板状物１００を収容したカセット６０をカセットエレベータ７０に設置し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置１により開始される。

【0025】

切削方法は、図３に示すように、保持ステップＳＴ１と、切削ステップＳＴ２とを備える。保持ステップＳＴ１は、複数枚の板状物１００をチャックテーブル１０の保持面１１に保持するステップである。保持ステップＳＴ１では、制御ユニット５０は、搬送ユニット９０に切削前の板状物１００をカセット６０から取り出させてチャックテーブル１０に載置させ、チャックテーブル１０の保持面１１に板状物１００を吸引保持するとともに、クランプ部１２に環状フレーム１１１をクランプさせる。保持ステップＳＴ１は、一つの粘着テープ１１０に貼着された複数枚の板状物１００をチャックテーブル１０に保持することにより、分割予定ライン１０２の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接しないように、即ち、互いに交差する分割予定ライン１０２のうち少なくとも一方の延長線上に二枚並ぶように複数枚の板状物１００をチャックテーブル１０に保持する。切削方法は、チャックテーブル１０の保持面１１に複数枚の板状物１００を吸引保持すると、切削ステップＳＴ２に進む。

【0026】

切削ステップＳＴ２は、切削点２５に供給される切削水２６を切削ブレード２２の回転方向につれ回って排出しながら板状物１００を切削するステップである。切削ステップＳＴ２では、制御ユニット５０は、加工内容情報に基づいて、Ｘ軸移動ユニット４２とＹ軸移動ユニットとＺ軸移動ユニットと回転駆動源４１により、切削水供給ノズル２４から切削水２６を供給しながら切削ユニット２０の回転する切削ブレード２２と板状物１００とを分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させて、切削ブレード２２を各板状物１００の分割予定ライン１０２に粘着テープ１１０まで切り込ませて、板状物１００を切削して、個々のデバイス１０３に分割する。

【0027】

切削ステップＳＴ２では、制御ユニット５０は、粘着テープ１１０に貼着されたすべての板状物１００のすべての分割予定ライン１０２を切削して、粘着テープ１１０に貼着されたすべての板状物１００を個々のデバイス１０３に分割すると、チャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方から退避させた後、チャックテーブル１０の吸引保持を解除させるとともにクランプ部１２のクランプを解除させる。制御ユニット５０は、搬送ユニット９０に切削後の板状物１００を洗浄ユニット８０に搬送させ、洗浄ユニット８０で洗浄した後カセット６０に収容する。制御ユニット５０は、カセット６０に収容されたすべての板状物１００を切削するまで、保持ステップＳＴ１と切削ステップＳＴ２とを繰り返し、カセット６０に収容されたすべての板状物１００を切削すると、切削方法を終了する。

【0028】

また、切削ステップＳＴ２では、制御ユニット５０は、粘着テープ１１０に貼着された複数枚の板状物１００それぞれの最初の分割予定ライン１０２を切削する前に、各板状物１００を撮像ユニット３０に撮像させる。制御ユニット５０は、各板状物１００の分割予定ライン１０２と、切削ユニット２０の切削ブレード２２との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を施し、各板状物１００と切削ユニット２０との相対位置を調整するアライメントを遂行する。

【0029】

また、切削ステップＳＴ２では、例えば、粘着テープ１１０に貼着された複数枚の板状物１００のうちの図２中左上の板状物１００（以下、符号１００−１で示す）のＸ軸方向と平行な図２中の最も上方に位置する分割予定ライン１０２（以下、符号１０２−１で示す）を切削した直後に、図２中右上の板状物１００（以下、符号１００−２で示す）のＸ軸方向と平行な図２中の最も上方でかつ分割予定ライン１０２−１と同一線上又は略同一線上に位置する分割予定ライン１０２（以下、符号１０２−２で示す）を連続して切削する際には、制御ユニット５０は、以下のように各構成要素を制御する。

【0030】

板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削する際には、制御ユニット５０は、切削点２５から排出される切削水２６が、切削点２５からチャックテーブル１０の外周に向かう方向に切削ブレード２２を回転させる。切削点２５から排出される切削水２６が切削点２５からチャックテーブル１０の外周に向かう方向とは、切削点２５からチャックテーブル１０の中心に近付くことなく、常にチャックテーブル１０の中心から離れてチャックテーブル１０の外周に向かう方向をいう。

【0031】

また、板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削する際には、制御ユニット５０は、図４に示すように、切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切り込ませて、図１に示すＸ軸移動ユニット４２に切削ブレード２２がチャックテーブル１０の中心に向かうようにチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿ってカセット６０から離れる方向に移動させる。すると、切削水２６が排出される方向である排出方向２００（図５に矢印で示す）は、板状物１００−１から板状物１００−２に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周に向かうこととなる。

【0032】

制御ユニット５０は、図６に示すように、板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削し終えると、図１に示すＸ軸移動ユニット４２にチャックテーブル１０の移動を停止させる。制御ユニット５０は、図７に示すように、Ｚ軸移動ユニットに切削ユニット２０を上昇させて切削ブレード２２をチャックテーブル１０から退避させる。制御ユニット５０は、回転駆動源４１にチャックテーブル１０を軸心回りに９０度回転させた後、図１に示すＸ軸移動ユニット４２にチャックテーブル１０をカセット６０に近づく方向に移動させる。制御ユニット５０は、図８に示すように、切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切り込ませて、Ｘ軸移動ユニット４２に切削ブレード２２がチャックテーブル１０の中心に向かうようにチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿ってカセット６０から離れる方向に移動させる。すると、切削水２６が排出される排出方向２００（図９に矢印で示す）は、板状物１００−２から板状物１００−１に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周に向かうこととなる。このように、本発明において、切削水２６が排出される方向である排出方向２００が、板状物１００−１，１００−２から板状物１００−２，１００−２に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周に向かうとは、排出方向２００が、切削点２５からチャックテーブル１０の中心に近付くことなく、常にチャックテーブル１０の中心から離れてチャックテーブル１０の外周に向かう方向であることを示している。

【0033】

こうして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませた後、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して直前に切削済の分割予定ライン１０２−１と同一線上に位置する他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する。切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して、板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する際に、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削後に切削ブレード２２をチャックテーブル１０から上昇させて退避させた後、チャックテーブル１０を軸心回りに９０度回転させる。そして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませる。

【0034】

こうして、実施形態１に係る切削方法において、制御ユニット５０は、切削ユニット２０が複数枚の板状物１００，１００−１，１００−２を切削する際に、切削中に切削ブレード２２の回転によって切削ブレード２２から切削水２６が排出される排出方向２００が、他の板状物１００，１００−１，１００−２でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ユニット２０と移動ユニット４０とのうちの少なくとも一方を制御する。即ち、実施形態１に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削する。なお、実施形態１に係る切削方法において、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削後に切削ブレード２２をチャックテーブル１０から退避させて、チャックテーブル１０を９０度回転するが、本発明では、切削ブレード２２の退避後のチャックテーブル１０を回転する角度は、９０度に限定されることなく、粘着テープ１１０に貼着された複数の板状物１００，１００−１，１００−２同士の位置関係により適宜変更しても良い。例えば、本発明は、板状物１００−１及び板状物１００−１の図５中の下方に保持される板状物１００の分割予定ライン１０２−１と同一方向の分割予定ライン１０２を全て切削した後に、チャックテーブル１０を１８０度回転させ、板状物１００−２及び板状物１００−２の図５中の下方に保持された板状物１００の分割予定ライン１０２−２と同一方向の分割予定ライン１０２を全て切削する。その後、本発明は、チャックテーブル１０を９０度回転させて同一の工程を繰り返しても良い。

【0035】

実施形態１に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削するので、切削中に切削水２６が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。その結果、切削方法は、切削水２６中の切削屑が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。

【0036】

また、実施形態１に係る切削方法は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませて、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する前に、切削ブレード２２を退避させた後、チャックテーブル１０を軸心回りに回転して、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませる。このために、切削方法は、常に、板状物１００，１００−１，１００−２の分割予定ライン１０２，１０２−１，１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませることとなり、切削水２６が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。

【0037】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る板状物の切削方法を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態２に係る板状物の切削方法の切削ステップにおいて、一つの板状物の分割予定ラインの切削の終了後に他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。図１１は、図１０に示された板状物を示す平面図である。なお、図１１に示す板状物１００，１００−１，１００−２の平面図は、切削前の分割予定ライン１０２，１０２−２を点線で示し、切削済の分割予定ライン１０２−１を実線で示す。また、図１０及び図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0038】

実施形態２に係る板状物の切削方法（以下、単に切削方法と記す）は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する際の切削ユニット２０及び移動ユニット４０の動作が異なること以外、実施形態１の切削方法と同じである。

【0039】

実施形態２に係る切削方法の切削ステップＳＴ２では、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削し終えて、Ｚ軸移動ユニットに切削ユニット２０を上昇させて切削ブレード２２をチャックテーブル１０から退避させた後、制御ユニット５０は、切削ユニット２０のスピンドル２１に切削ブレード２２を逆向きに回転させると共に、Ｘ軸移動ユニット４２にチャックテーブル１０をカセット６０から離れる方向に移動させる。制御ユニット５０は、図１０に示すように、切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切り込ませて、Ｘ軸移動ユニット４２に切削ブレード２２がチャックテーブル１０の中心に向かうようにチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿ってカセット６０に近付く方向に移動させる。すると、切削水２６が排出される排出方向２００−２（図１１に矢印で示す）は、板状物１００−２から板状物１００−１に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周方向に向かうこととなる。

【0040】

こうして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませた後、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して直前に切削済の分割予定ライン１０２−１と同一線上に位置する他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する。切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して、板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する際に、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削後に切削ブレード２２をチャックテーブル１０から上昇させて退避させた後、切削ブレード２２を逆向きに回転させる。そして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませる。

【0041】

こうして、実施形態２に係る切削方法において、制御ユニット５０は、切削ユニット２０が複数枚の板状物１００，１００−１，１００−２を切削する際に、切削中に切削ブレード２２の回転によって切削ブレード２２から切削水２６が排出される排出方向２００−２が、チャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ユニット２０と移動ユニット４０とのうちの少なくとも一方を制御する。即ち、実施形態２に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００−２が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削する。

【0042】

実施形態２に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００−２が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削するので、切削中に切削水２６が板状物１００に付着することを抑制することができる。その結果、切削方法は、実施形態１と同様に、切削水２６中の切削屑が板状物１００に付着することを抑制することができる。

【0043】

また、実施形態２に係る切削方法は、一つの板状物１００の分割予定ライン１０２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませて、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する前に、切削ブレード２２を退避させた後、切削ブレード２２を逆向きに回転させて、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませる。このために、切削方法は、常に、板状物１００，１００−１，１００−２の分割予定ライン１０２，１０２−１，１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませることとなり、切削水２６が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。

【0044】

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例に係る板状物の切削方法を図面に基づいて説明する。図１２は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。図１２は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0045】

実施形態１及び実施形態２に係る板状物の切削方法では、板状物１００は、図２に示すように、互いに交差する分割予定ライン１０２の双方の延長線上に二枚並ぶように一つの粘着テープ１１０に４枚貼着されている。しかしながら、変形例に係る板状物の切削方法では、板状物１００は、図１２に示すように、互いに交差する分割予定ライン１０２の一方の延長線上に二枚並び（即ち、互いに交差する分割予定ライン１０２の一方の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接せず）、かつ互いに交差する分割予定ライン１０２の他方の延長線上に二枚並ぶ（即ち、互いに交差する分割予定ライン１０２の他方の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接しない）ように、一つの粘着テープ１１０に複数枚（図１２に示す場合には、６枚）貼着されている。

【0046】

変形例に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削するので、切削中に切削水２６が板状物１００に付着することを抑制することができる。その結果、切削方法は、実施形態１と同様に、切削水２６中の切削屑が板状物１００に付着することを抑制することができる。

【0047】

なお、前述した実施形態１、実施形態２及び変形例に係る板状物の切削方法によれば、以下の切削装置が得られる。
（付記１）
少なくとも一つの板状物の分割予定ラインの延長線上に他の板状物が位置する状態で複数枚の板状物を保持する保持手段と、
切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、
該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、
該保持手段と該切削手段とを相対的に移動させる移動手段と、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備えた切削装置であって、
該制御ユニットは、該切削手段が複数枚の該板状物を切削する際に、切削中に該切削ブレードの回転によって該切削ブレードから該切削水が排出される方向が、他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削手段と該移動手段との少なくとも一方を制御する、
ことを特徴とする切削装置。

【0048】

上記切削装置は、実施形態１等に係る切削方法と同様に、切削ステップにおいて、切削水が排出される排出方向が、隣接する他の板状物でなくチャックテーブルの外周に向かうように、切削ブレードを回転させながら切削するので、切削中に切削水が板状物に付着することを抑制することができる。その結果、切削装置は、実施形態１等と同様に、切削水中の切削屑が板状物に付着することを抑制することができる。

【0049】

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0050】

１ 切削装置
１０ チャックテーブル（保持手段）
２０ 切削ユニット（切削手段）
２２ 切削ブレード
２４ 切削水供給ノズル（切削水供給手段）
２５ 切削点
２６ 切削水
１００，１００−１，１００−２ 板状物
１０２，１０２−１，１０２−２ 分割予定ライン
２００，２００−２ 排出方向（排出される方向）
ＳＴ１ 保持ステップ
ＳＴ２ 切削ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】