特許6971322フォトマスク及びレチクル検査並びにウェハプリントチェック検証のためのマルチカラム間隔

発明の名称　フォトマスク及びレチクル検査並びにウェハプリントチェック検証のためのマルチカラム間隔

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 346 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 430 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6971322

公報発行日　2021年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6971322

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