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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6971727
(24)【登録日】2021年11月5日
(45)【発行日】2021年11月24日
(54)【発明の名称】収容カセット
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20211111BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 V
【請求項の数】3
【全頁数】13
(21)【出願番号】特願2017-173115(P2017-173115)
(22)【出願日】2017年9月8日
(65)【公開番号】特開2019-50257(P2019-50257A)
(43)【公開日】2019年3月28日
【審査請求日】2020年7月3日
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】北住 祐一
(72)【発明者】
【氏名】遠藤 智章
(72)【発明者】
【氏名】大宮 直樹
【審査官】
三浦 みちる
(56)【参考文献】
【文献】
特開２０１２−１０４５８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平０５−２９１３８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
実開平０６−０２９１４３（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特開２０１２−２３１０４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平０１−０７４７３４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
実開平０４−１０９０８３（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特開平０７−０４１０７１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ２１／６７３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
粘着テープを介して環状フレームの開口に保持されたウエーハを複数枚収容可能であり、該ウエーハを加工する加工手段と、収容カセットを載置する載置手段と、該加工手段と該載置手段に置かれた該収容カセットとの間において該ウエーハを搬送する搬送手段と、を少なくとも有する加工装置において用いられる収容カセットであって、
対向する一対の側壁の内面に該ウエーハを収容する左右で高さの揃った複数対の収容棚が形成されるとともに該収容棚に該ウエーハを出し入れする開口部を前面に有するカセット本体と、
該カセット本体の該開口部を覆うウエーハ挿入ガイドと、
を具備し、
該ウエーハ挿入ガイドは、
該複数対の収容棚の高さに対応した位置に複数個の貫通溝が形成された板状物であり、
該貫通溝は、中央部分から該環状フレームをガイドする両端部にかけて狭まる傾斜が形成され、
該搬送手段が該収容カセットに収容された該ウエーハを把持して搬出及び搬入できるように該環状フレームの先端を露出させる切りかけ部をさらに備えることを特徴とする収容カセット。
対向する一対の側壁の内面に該ウエーハを収容する左右で高さの揃った複数対の収容棚が形成されるとともに該収容棚に該ウエーハを出し入れする開口部を前面に有するカセット本体と、
該カセット本体の該開口部を覆うウエーハ挿入ガイドと、
を具備し、
該ウエーハ挿入ガイドは、
該複数対の収容棚の高さに対応した位置に複数個の貫通溝が形成された板状物であり、
該貫通溝は、中央部分から該環状フレームをガイドする両端部にかけて狭まる傾斜が形成され、
該搬送手段が該収容カセットに収容された該ウエーハを把持して搬出及び搬入できるように該環状フレームの先端を露出させる切りかけ部をさらに備えることを特徴とする収容カセット。
【請求項2】
該ウエーハ挿入ガイドは該カセット本体に着脱可能に装着されていることを特徴とする請求項１に記載の収容カセット。
【請求項3】
該ウエーハ挿入ガイドは、該ウエーハ挿入ガイドの上面から底面まで貫通する貫通孔と、該貫通孔に抜き差し可能な抜き差し部材とを含むウエーハ落下防止機構を更に備える事を特徴とする請求項１または請求項２に記載の収容カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、粘着テープを介して環状フレームの開口に保持されたウエーハを収容する収容カセットに関する。
【背景技術】
【0002】
ウエーハに切削加工等の各種の加工を施す加工装置は、複数枚のウエーハを収容した収容カセットから加工前のウエーハを取り出し、加工後のウエーハを収容カセット内に収容する。収容カセットは、作業者によりウエーハが挿入されて、複数枚のウエーハを収容することとなる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１２−１０４５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に示された収容カセットに作業者がウエーハを収容する場合には、誤って左右の側壁の段違いの収容棚に跨ってウエーハを挿入し易いという問題がある。ウエーハが左右の側壁で段違いの収容棚に跨って収容されると、加工装置などがウエーハの搬出時に搬送ロボット等の搬送手段とウエーハとが衝突してウエーハと搬送手段とのうちの少なくとも一方を破損させてしまうという問題が生じる。
【0005】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウエーハ及び加工装置の搬送手段を破損させてしまう恐れを抑制することができる収容カセットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の収容カセットは、粘着テープを介して環状フレームの開口に保持されたウエーハを複数枚収容可能であり、該ウエーハを加工する加工手段と、該収容カセットを載置する載置手段と、該加工手段と該載置手段に置かれた該収容カセットとの間において該ウエーハを搬送する搬送手段と、を少なくとも有する加工装置において用いられる収容カセットであって、対向する一対の側壁の内面に該ウエーハを収容する左右で高さの揃った複数対の収容棚が形成されるとともに該収容棚に該ウエーハを出し入れする開口部を前面に有するカセット本体と、該カセット本体の該開口部を覆うウエーハ挿入ガイドと、を具備し、該ウエーハ挿入ガイドは、該複数対の収容棚の高さに対応した位置に複数個の貫通溝が形成された板状物であり、該貫通溝は、中央部分から該環状フレームをガイドする両端部にかけて狭まる傾斜が形成され、該搬送手段が該収容カセットに収容された該ウエーハを把持して搬出及び搬入できるように該環状フレームの先端を露出させる切りかけ部をさらに備えることを特徴とする。
【0008】
また、前記収容カセットにおいて、該ウエーハ挿入ガイドは該カセット本体に着脱可能に装着されても良い。
【0009】
また、前記収容カセットにおいて、該ウエーハ挿入ガイドは、該ウエーハ挿入ガイドの上面から底面まで貫通する貫通孔と、該貫通孔に抜き差し可能な抜き差し部材とを含むウエーハ落下防止機構を更に備えても良い。
【発明の効果】
【0010】
本願発明は、ウエーハ及び加工装置の搬送手段を破損させてしまう恐れを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0013】
〔実施形態１〕本発明の実施形態１に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る収容カセットが用いられる加工装置の一例である切削装置を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る収容カセットが収容するウエーハの斜視図である。図３は、実施形態１に係る収容カセットの構成例を示す斜視図である。図４は、図３に示された収容カセットの分解斜視図である。図５は、図３に示された収容カセットのウエーハを出し入れする状態を示す斜視図である。
【0014】
実施形態１に係る収容カセット１は、図１及び図２に示すように、粘着テープ１０１を介して環状フレーム１０２の開口１０３内に保持されたウエーハ１００を複数枚収容可能な収容カセットであって、半導体製造工程等で用いられる複数のウエーハ１００に加工を施す各種の加工装置において用いられる。加工装置は、例えば、ウエーハ１００を切削する図１に示す切削装置２００、ウエーハ１００を研削する研削装置、ウエーハ１００を研磨する研磨装置、又はウエーハ１００をレーザー加工するレーザー加工装置である。
【0015】
ウエーハ１００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。ウエーハ１００は、図２に示すように、表面１１０の格子状の分割予定ライン１１１に区画された複数の領域にデバイス１１２が形成されている。また、ウエーハ１００は、結晶方位を示すノッチ１１３が外縁に形成されている。ウエーハ１００は、表面１１０の裏側の裏面１１４に粘着テープ１０１が貼着され、粘着テープ１０１の外縁部が環状フレーム１０２に貼着されて、環状フレーム１０２の開口１０３内に保持される。環状フレーム１０２は、ウエーハ１００よりも厚みが厚い。
【0016】
なお、環状フレーム１０２の外縁は、直線状の直線部１０４と、円弧状の円弧状部１０５とが周方向に交互に設けられている。実施形態１において、環状フレーム１０２は、直線部１０４と、円弧状部１０５とが４つずつ設けられ、ウエーハ１００の中心を挟んで互いに逆側に位置する直線部１０４は、互いに平行である。また、環状フレーム１０２は、先端である一つの直線部１０４（以下、符号１０４−１で記す）の両端部に環状フレーム１０２の母材を切り欠いた切欠部１０６が設けられている。ウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２は、直線部１０４−１が後方に位置した状態で、直線部１０４−１の隣の直線部１０４と平行なＹ軸方向に沿って収容カセット１に挿入される。ウエーハ１００は、環状フレーム１０２の開口１０３に保持された状態で収容カセット１に複数枚収容され、収容カセット１が加工装置に設置され、加工装置により各種の加工が施される。
【0017】
加工装置の一例としての切削装置２００は、図１に示すように、ウエーハ１００を保持面２１１で吸引保持するとともに回転駆動源により軸心回りに回転可能なチャックテーブル２１０と、チャックテーブル２１０に保持されたウエーハ１００を切削ブレード２２１で切削（加工）する加工手段である切削ユニット２２０と、チャックテーブル２１０をＸ軸方向に移動させる図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２２０をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動ユニット２３０と、切削ユニット２２０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動ユニット２４０とを備える。また、切削装置２００は、切削後のウエーハ１００を洗浄する洗浄ユニット２５０と、切削前後のウエーハ１００を収容した収容カセット１を載置する載置手段であるカセットエレベータ２６０と、搬送手段である搬送ユニット２７０と、各構成要素を制御するコンピュータである図示しない制御ユニットとを備える。
【0018】
搬送ユニット２７０は、少なくとも切削ユニット２２０により切削されるウエーハ１００を保持するチャックテーブル２１０とカセットエレベータ２６０に置かれた収容カセット１との間においてウエーハ１００を搬送するものである。搬送ユニット２７０は、収容カセット１からウエーハ１００を出し入れする仮置きユニット２７１と、図示しないウエーハ搬送ユニットとを備える。
【0019】
仮置きユニット２７１は、カセットエレベータ２６０に載置された収容カセット１から切削前のウエーハ１００を一枚取り出すとともに、切削後のウエーハ１００を収容カセット１内に収容するものである。仮置きユニット２７１は、切削前のウエーハ１００を収容カセット１から取り出すとともに切削後のウエーハ１００を収容カセット１内に挿入する搬出入ユニット２７２と、切削前後のウエーハ１００を一時的に載置する一対のレール２７３とを含んで構成されている。
【0020】
搬出入ユニット２７２は、環状フレーム１０２の直線部１０４−１を把持してＹ軸方向に沿って収容カセット１から離れる方向に移動して、切削前のウエーハ１００を収容カセット１から取り出してレール２７３上に一時的に載置する。搬出入ユニット２７２は、切削後のレール２７３上に一時的に載置されたウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２の直線部１０４−１を把持してＹ軸方向に沿って収容カセット１に近付く方向に移動して、ウエーハ１００を収容カセット１内に挿入する。ウエーハ搬送ユニットは、レール２７３とチャックテーブル２１０と洗浄ユニット２５０との間においてウエーハ１００を搬送する。
【0021】
切削装置２００は、切削ユニット２２０からウエーハ１００に切削水を供給しながら、Ｘ軸移動ユニット、回転駆動源、Ｙ軸移動ユニット２３０及びＺ軸移動ユニット２４０にチャックテーブル２１０と切削ユニット２２０とを分割予定ライン１１１に沿って相対的に移動させながら切削ユニット２２０のスピンドル２２２により回転される切削ブレード２２１でウエーハ１００の分割予定ライン１１１を切削する。切削装置２００は、ウエーハ１００の全ての分割予定ライン１１１を切削すると、ウエーハ１００を洗浄ユニット２５０で洗浄した後に収容カセット１内に収容する。
【0023】
カセット本体１０は、図４に示すように、対向する一対の側壁１１と、底板１２と、天板１３と、複数対の収容棚１４とを有する。一対の側壁１１と、底板１２と、天板１３とは、平板状に形成されている。一対の側壁１１は、収容カセット１がカセットエレベータ２６０に載置された際に、左右方向であるＸ軸方向に沿って相対対向する。底板１２は、一対の側壁１１の下端同士を連結し、天板１３は、一対の側壁１１の上端同士を連結している。天板１３は、各種の加工装置のオペレータ等が掴んで収容カセット１を搬送するため持ち手１６が設けられている。
【0024】
複数対の収容棚１４は、一対の側壁１１の内面に形成され、かつＺ軸方向に間隔をあけて配置されている。各対の収容棚１４のうちの一方の収容棚１４は、一方の側壁１１から他方の側壁１１に向かって凸に形成され、他方の収容棚１４は、他方の側壁１１から一方の側壁１１に向かって凸に形成されている。各対の収容棚１４のうちの一方の収容棚１４と他方の収容棚１４とは、Ｘ軸方向でＺ軸方向の高さが揃った位置に配置されている。即ち、各対の収容棚１４のうちの一方の収容棚１４と他方の収容棚１４とは、収容カセット１がカセットエレベータ２６０に載置された際に、Ｚ軸方向の高さが互いに等しい。各対の収容棚１４のうちの一方の収容棚１４と他方の収容棚１４とは、ウエーハ１００が収容カセット１に出し入れされる際に移動するＹ軸方向に沿って直線状に延びている。各収容棚１４は、一方の収容棚１４と他方の収容棚１４上にウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２が載置されて、図３及び図５に示すように、カセット本体１０内にウエーハ１００を収容する。
【0025】
また、カセット本体１０は、収容棚１４にウエーハ１００を出し入れする開口部１５を一対の側壁１１間の前面である図３、図４及び図５中の手前側に有している。カセット本体１０は、開口部１５を通してウエーハ１００がＹ軸方向に移動されることにより、図５に示すように、ウエーハ１００が出し入れされる。また、カセット本体１０は、一対の側壁１１の開口部１５が設けられた前面の逆側の端同士を連結する平板状の奥板１７を備える。なお、図３及び図５は、ウエーハ１００の分割予定ライン１１１とデバイス１１２とを省略している。
【0026】
次に、ウエーハ挿入ガイド２０を図面に基いて説明する。図６は、図３に示された収容カセットのウエーハ挿入ガイドの正面図である。図７は、図６に示されたウエーハ挿入ガイドの貫通溝を模式的に示す正面図である。図８は、図７に示された挿入ガイドにウエーハが上下方向に傾けられて挿入された状態を示す要部の断面図である。図９は、図７に示された貫通溝にウエーハを挿入し始めた状態を示すウエーハ挿入ガイドとウエーハの平面図である。図１０は、図９に示されたウエーハ挿入ガイドの貫通溝とウエーハを模式的に示す正面図である。図１１は、図７に示された貫通溝にウエーハの中央部を挿入した状態を示すウエーハ挿入ガイドとウエーハの平面図である。図１２は、図１１に示されたウエーハ挿入ガイドの貫通溝とウエーハを模式的に示す正面図である。
【0027】
ウエーハ挿入ガイド２０は、カセット本体１０に着脱可能に装着される。ウエーハ挿入ガイド２０は、板状に形成され、かつカセット本体１０に装着されると、カセット本体１０の開口部１５を覆う板状物である。実施形態１において、ウエーハ挿入ガイド２０は、Ｘ軸方向の両端において、図４等に示すように、Ｚ軸方向の両端がねじ２１によりカセット本体１０の一対の側壁１１に固定されることにより、カセット本体１０に着脱可能に装着されるが、カセット本体１０に装着されるための構成はねじ２１に限定されない。
【0028】
ウエーハ挿入ガイド２０は、図６に示すように、複数対の収容棚１４の高さに対応した位置に複数個の貫通溝２２が形成されている。各貫通溝２２は、ウエーハ挿入ガイド２０を貫通しており、図５に示すように、内側にウエーハ１００が通されることで、ウエーハ１００をカセット本体１０に出し入れする。
【0029】
各貫通溝２２は、各対の収容棚１４と対応している。各貫通溝２２は、Ｚ軸方向の高さが対応する一対の収容棚１４と同一又は略同一となる位置に配置されて、カセット本体１０内に挿入されるウエーハ１００を保持する環状フレーム１０２を対応する一対の収容棚１４上に案内する。なお、貫通溝２２が、複数対の収容棚１４の高さに対応した位置に形成されているとは、貫通溝２２の軸方向の高さが対応する一対の収容棚１４と同一又は略同一となる位置に配置されて、カセット本体１０内に挿入されるウエーハ１００を保持する環状フレーム１０２を対応する一対の収容棚１４上に案内する位置に配置されていることをいう。
【0030】
貫通溝２２は、図７に示すように、Ｘ軸方向の中央部分に設けられた厚み部２３と、厚み部２３のＸ軸方向の両端に連なった厚み縮小部２４とを一体に備える。厚み部２３は、Ｘ軸方向の全長に亘ってＺ軸方向の厚み２３−１が一定に形成されている。厚み縮小部２４の厚み部２３から離れた側の端部２４−１は、貫通溝２２内に通される環状フレーム１０２を貫通溝２２が対応する一対の収容棚１４上にガイドするとともに、厚み部２３から離れるのにしたがってＺ軸方向の厚みが徐々に縮小する。このように、厚み部２３と厚み縮小部２４とを備えることにより、貫通溝２２は、中央部分から環状フレーム１０２をガイドする両端部２４−１，２４−１にかけてＺ軸方向の厚みが狭まる傾斜２５が厚み縮小部２４の内縁に形成されている。
【0031】
貫通溝２２のＸ軸方向の幅２２−１は、環状フレーム１０２の幅１０７（図２に示す）よりも若干大きい。厚み部２３のＸ軸方向の幅２３−２は、環状フレーム１０２の直線部１０４−１の幅１０８（図２に示す）よりも大きいのが望ましい。厚み部２３のＺ軸方向の厚み２３−１は、ウエーハ挿入ガイド２０の剛性がウエーハ挿入ガイド２０自体の形状を維持できない程小さくならなくかつ対応する一対の収容棚１４上にウエーハ１００を案内できる範囲内で広い方が望ましい。
【0032】
厚み縮小部２４の端部２４−１のＺ軸方向の厚み２４−２は、環状フレーム１０２の厚み１０９（図２に示す）よりも大きい。また、厚み縮小部２４の端部２４−１のＺ軸方向の厚み２４−２は、カセット本体１０に挿入されるウエーハ１００のバタツキを抑制しながらも環状フレーム１０２を対応する一対の収容棚１４に案内できる厚みであるのが望ましい。また、厚み縮小部２４の傾斜２５のＸ軸方向とのなす角度θは、貫通溝２２内に通されるウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２が、Ｙ軸方向の両端部がＺ軸方向に変位して、図８に示すように、Ｙ軸方向に対して交差する上下方向に傾いた際にウエーハ１００が貫通溝２２の内縁と間隔をあけて接触しない（接触することを規制する）角度であることが望ましい。
【0033】
即ち、厚み縮小部２４の傾斜２５のＸ軸方向とのなす角度θは、貫通溝２２内に通されるウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２が、図８に示すように、上下方向に傾いた際にウエーハ１００が貫通溝２２の内縁に接触する角度よりも大きいことが望ましい。また、厚み縮小部２４の傾斜２５のＸ軸方向とのなす角度θは、ウエーハ１００が貫通溝２２に挿入される際に、環状フレーム１０２が既に接触可能な角度に形成される。
【0034】
前述したように構成されたウエーハ挿入ガイド２０は、カセット本体１０に装着されて、図９及び図１０に示すように、カセット本体１０に挿入されるウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２の直線部１０４から貫通溝２２内にウエーハ１００を通す。このとき、図９に示すように、ウエーハ挿入ガイド２０は、貫通溝２２内にウエーハ１００を通す前に、図１０に示すように、環状フレーム１０２が傾斜２５に接触可能となる。そして、ウエーハ挿入ガイド２０は、図１１に示すように、貫通溝２２内にウエーハ１００の中央部を通す際には、図１２に示すように、環状フレーム１０２が傾斜２５の両端部２４−１に接触可能となり、ウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２を収容棚１４上に案内する。なお、図９及び図１１は、ウエーハ１００ので分割予定ライン１１１及びデバイス１１２を省略している。
【0035】
また、ウエーハ挿入ガイド２０は、図３、図４及び図５に示すように、カセット本体１０内に収容したウエーハ１００を保持する環状フレーム１０２の直線部１０４−１を露出させる切りかけ部２６をさらに備える。切りかけ部２６は、カセット本体１０に装着された際にウエーハ挿入ガイド２０の収容カセット１の外側に露出する前面２７のＸ軸方向の中央部が切り欠かれて形成されている。切りかけ部２６は、前面２７から凹に形成されてカセット本体１０内に収容したウエーハ１００を保持する環状フレーム１０２の直線部１０４−１を露出させる。切りかけ部２６は、カセット本体１０内に収容したウエーハ１００を保持する環状フレーム１０２の直線部１０４−１を露出させることで、切削装置２００の搬送ユニット２７０の搬出入ユニット２７２がウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２の直線部１０４−１を把持して、ウエーハ１００を収容カセット１から搬出及び収容カセット１に搬入できるようにしている。
【0037】
ウエーハ落下防止機構３０は、カセット本体１０内に収容したウエーハ１００が貫通溝２２を通してカセット本体１０外に排出されることを規制するものである。ウエーハ落下防止機構３０は、図３及び図４に示すように、ウエーハ挿入ガイド２０の上面から底面まで貫通する貫通孔３１と、貫通孔３１に抜き差し可能な抜き差し部材３２とを備えている。実施形態において、貫通孔３１は、切りかけ部２６を互いの間に挟む位置に二つ設けられ、それぞれがＺ軸方向と平行である。
【0038】
抜き差し部材３２は、図４に示すように、一対の棒部材３３と、棒部材３３の一端同士を連結した持ち手部材３４とを一体に備える。棒部材３３は、直線状に延びて形成され、互いに平行に配置されている。また、棒部材３３は、貫通孔３１内に抜き差し可能である。持ち手部材３４は、一対の連結部３４１と、持ち手部３４２とを一体に備える。連結部３４１は、それぞれ、棒部材３３の一端に連結している。持ち手部３４２は、一対の連結部３４１間に配置され、これら一対の連結部３４１に連結している。持ち手部３４２は、オペレータが掴んで、抜き差し部材３２の棒部材３３を貫通孔３１に抜き差し可能にする。
【0039】
前述した構成のウエーハ落下防止機構３０は、抜き差し部材３２の棒部材３３がウエーハ挿入ガイド２０の上面から底面に亘って貫通孔３１内に挿入されると、図１３に示すように、カセット本体１０内に収容されたウエーハ１００を保持した環状フレーム１０２と干渉して、カセット本体１０内のウエーハ１００が貫通溝２２を通してカセット本体１０外に排出されることを規制する。なお、実施形態１において、ウエーハ落下防止機構３０は、貫通孔３１と抜き差し部材３２とを備えて構成されているが、本発明では、貫通孔３１と抜き差し部材３２とを備える構成に限定されずに、例えば、特許第５９８２１２８号公報に記載されたウエーハ規制部と第一の圧縮バネと当接部と第二の圧縮バネとを備える構成でも良い。
【0040】
実施形態１に係る収容カセット１は、ウエーハ挿入ガイド２０にＸ軸方向に高さの揃った各対の収容棚１４に対応し、かつ貫通溝２２が挿入されるウエーハ１００を対応する一対の収容棚１４上に案内する貫通溝２２を設けている。このために、収容カセット１は、オペレータがウエーハ１００をカセット本体１０内に挿入する場合には、ウエーハ挿入ガイド２０の貫通溝２２を通してウエーハ１００を挿入するため、段違いの収容棚１４に跨ってウエーハ１００を収容することを抑制できる。その結果、収容カセット１は、ウエーハ１００及び加工装置の一例である切削装置２００の搬送ユニット２７０の搬出入ユニット２７２を破損させてしまう恐れを抑制することができる。
【0041】
また、収容カセット１は、貫通溝２２が中央部分にＸ軸方向の幅２３−２が直線部１０４−１の幅１０８よりも大きい厚み部２３を設けているので、貫通溝２２内にウエーハ１００を挿入しやすい。
【0042】
また、収容カセット１は、貫通溝２２が中央部分に設けられた厚み部２３から環状フレーム１０２をガイドする両端部２４−１，２４−１にかけてＺ軸方向の厚みが狭まる傾斜２５が厚み縮小部２４の内縁に形成されているために、カセット本体１０に挿入される環状フレーム１０２を傾斜２５によりガイドでき、挿入時のウエーハ１００のバタツキを抑制することができる。
【0043】
また、収容カセット１は、貫通溝２２が中央部分に設けられた厚み部２３から環状フレーム１０２をガイドする両端部２４−１，２４−１にかけてＺ軸方向の厚みが狭まる傾斜２５が厚み縮小部２４の内縁に形成されていることで、挿入時のウエーハ１００の角度が斜めになっても環状フレーム１０２が常に先にウエーハ挿入ガイド２０に接触するためウエーハ１００の表裏面がウエーハ挿入ガイド２０に接触することを抑制することができる。
【0044】
また、収容カセット１は、カセット本体１０に収容されたウエーハ１００を保持する環状フレーム１０２の直線部１０４−１を露出させる切りかけ部２６をウエーハ挿入ガイド２０の前面２７に設けているので、ウエーハ挿入ガイド２０でカセット本体１０の開口部１５を覆っても、開口部１５側から切削装置２００等がウエーハ１００を出し入れすることができる。このために、収容カセット１は、ウエーハ挿入ガイド２０を設けても、搬出入ユニット２７２を備える加工装置にも用いることができる。
【0045】
また、収容カセット１は、カセット本体１０にウエーハ挿入ガイド２０が着脱自在であるので、カセット本体１０からウエーハ挿入ガイド２０を取り外すことで、ウエーハ挿入ガイド２０を装着した収容カセット１に対応することができない加工装置にも用いることができる。
【0046】
また、収容カセット１は、ウエーハ落下防止機構３０を更に備えるので、カセット本体１０に収容したウエーハ１００がカセット本体１０から不意に脱落することを抑制することができる。
【符号の説明】
【0048】
１ 収容カセット１０ カセット本体
１１ 側壁
１４ 収容棚
１５ 開口部
２０ ウエーハ挿入ガイド
２２ 貫通溝
２４−１ 端部
２５ 傾斜
２６ 切りかけ部
３０ ウエーハ落下防止機構
１００ ウエーハ
１０１ 粘着テープ
１０２ 環状フレーム
１０３ 開口
２００ 切削装置（加工装置）
２２０ 切削ユニット（加工手段）
２６０ カセットエレベータ（載置手段）
２７０ 搬送ユニット（搬送手段）