特許6972312荷電粒子ビーム装置及びその装置を動作させるシステム及び方法

発明の名称　荷電粒子ビーム装置及びその装置を動作させるシステム及び方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 225 位（141件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 346 位（76件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6972312

公報発行日　2021年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6972312

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