発明の名称 ワークの両面研磨装置および両面研磨方法
出願人 株式会社SUMCO (識別番号 302006854)
特許公開件数ランキング 666 位(35件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 365 位(67件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6973315
公報発行日 2021年11月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6973315
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