特許6973366単結晶シリコンインゴットの製造方法及びシリコン単結晶引上げ装置

発明の名称　単結晶シリコンインゴットの製造方法及びシリコン単結晶引上げ装置

出願人　株式会社ＳＵＭＣＯ　（識別番号 302006854）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（11件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6973366

公報発行日　2021年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6973366

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6973366「単結晶シリコンインゴットの製造方法及びシリコン単結晶引上げ装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録