特許6977100半導体構造上にエピタキシャルスムージング加工を実行するためのシステムおよび方法

発明の名称　半導体構造上にエピタキシャルスムージング加工を実行するためのシステムおよび方法

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 552 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 910 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6977100

公報発行日　2021年12月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6977100

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