発明の名称 化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、感光性ドライフィルムの製造方法、パターン化されたレジスト膜の製造方法、鋳型付き基板の製造方法、及びめっき造形物の製造方法、及びメルカプト化合物
出願人 東京応化工業株式会社 (識別番号 220239)
特許公開件数ランキング 238 位(136件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 358 位(73件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6978268
公報発行日 2021年12月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6978268
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