特許6978928シリコンウェーハの評価方法

発明の名称　シリコンウェーハの評価方法

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 1061 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1236 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6978928

公報発行日　2021年12月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6978928

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