特許6979900基板保持部材、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体

発明の名称　基板保持部材、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（179件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 206 位（142件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6979900

公報発行日　2021年12月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6979900

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