１１…基板ホルダ　　 １２…第１保持部材　　 １３…第２保持部材　　 １３ａ…開口部　　 １４…ヒンジ　　 １５…ハンガ　　 １７…基部　　 ３０…撮像装置　　 ６０…シール部材　　 ６０ａ…リップ部　　 ６０ｂ…リップ部　　 ６０ｃ…透明部　　 ６１ａ…内側シール部　　 ６１ｂ…外側シール部　　 ８０…基台　　 ８１…突条部　　 ８２…支持面　　 ８３…凹部　　 ８８…導電体　　 ９０…支持体　　 ９０ａ…基端部　　 ９０ｂ…遠位部　　 ９０ｃ…透明部　　 ９０ｄ…外周部　　 ９２…電気接点　　 ９２ａ…脚部　　 ９２ｂ…接点端部　　 １００…基板処理装置　　 １０１Ａ…ロード／アンロード部　　 １０１Ｂ…処理部　　 １０２…カセットテーブル　　 １０３…基板搬送装置　　 １０３ａ…搬送ロボット　　 １０４…アライナ　　 １０５…基板着脱部　　 １０５ａ…基板着脱装置　　 １０５ｂ…フィキシングテーブル　　 １０５ｃ…フィキシングヘッド　　 １０６…スピンドライヤ　　 １０７…ストッカ　　 １０８…プリウェット槽　　 １０９…プリソーク槽　　 １１０ａ…プリリンス槽　　 １１１…ブロー槽　　 １１０ｂ…リンス槽　　 １１２…めっき処理部　　 １１２ａ…めっき槽　　 １１３…基板ホルダ搬送装置　　 １１４…第１トランスポータ　　 １１５…第２トランスポータ　　 １１６…レール　　 １２０…装置コンピュータ　　 １２０Ａ…ＣＰＵ　　 １２０Ｂ…メモリ　　 １２１…装置コントローラ　　 １２２…画像診断端末　　 １２ａ…透明部　　 １３０…撮像装置　　 １３１…ホルダ　　 １３２…上下移動機構　　 １３３…前後移動機構　　 １３４…横移動機構　　 １３５…走行移動機構　　 １３６…支柱部　　 １３７…ベース部　　 １４１…支柱部　　 １４２…アーム部　　 １４３…把持部　　 １４４…ベース部