知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
特許6982686次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法および半導体ウエハの処理方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6982686
(24)【登録日】2021年11月24日
(45)【発行日】2021年12月17日
(54)【発明の名称】次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法および半導体ウエハの処理方法
(51)【国際特許分類】
C07C 209/68 20060101AFI20211206BHJP
C07C 211/63 20060101ALI20211206BHJP
C11D 1/62 20060101ALI20211206BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20211206BHJP
【ＦＩ】
C07C209/68
C07C211/63
C11D1/62
H01L21/304 647A
H01L21/304 647Z
【請求項の数】15
【全頁数】32
(21)【出願番号】特願2020-521221(P2020-521221)
(86)(22)【出願日】2019年5月20日
(86)【国際出願番号】JP2019019898
(87)【国際公開番号】WO2019225541
(87)【国際公開日】20191128
【審査請求日】2020年8月6日
(31)【優先権主張番号】特願2018-99223(P2018-99223)
(32)【優先日】2018年5月23日
(33)【優先権主張国】JP
(31)【優先権主張番号】特願2018-99224(P2018-99224)
(32)【優先日】2018年5月23日
(33)【優先権主張国】JP
(31)【優先権主張番号】特願2018-116832(P2018-116832)
(32)【優先日】2018年6月20日
(33)【優先権主張国】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000003182
【氏名又は名称】株式会社トクヤマ
(74)【代理人】
【識別番号】110001494
【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許業務法人
(72)【発明者】
【氏名】下田 享史
(72)【発明者】
【氏名】吉川 由樹
(72)【発明者】
【氏名】根岸 貴幸
(72)【発明者】
【氏名】東野 誠司
【審査官】
奥谷 暢子
(56)【参考文献】
【文献】
特開２００５−２２７７４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
米国特許第０２２５６９５８（ＵＳ，Ａ）
【文献】
MOHAMMED, Abdulkarim H. A. et al.，Oxidation of gem-chloronitroso- and vic-chloronitroso-alkanes and -cycloalkanes to respective chloro，Journal of Chemical Sciences，2011年，Vol.123,No.4，PP.433-441
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｃ０７Ｃ
Ｃ１１Ｄ
Ｈ０１Ｌ
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法であって、
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を準備する準備工程と
前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と、塩素を接触させる反応工程とを含んでなり、
反応工程における気相部の二酸化炭素濃度が１００体積ｐｐｍ以下であり、反応工程における液相部のｐHが、１０．５以上である、
次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法。
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を準備する準備工程と
前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と、塩素を接触させる反応工程とを含んでなり、
反応工程における気相部の二酸化炭素濃度が１００体積ｐｐｍ以下であり、反応工程における液相部のｐHが、１０．５以上である、
次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法。
【請求項2】
前記準備工程で準備する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が、アルキル基の炭素数が１〜１０である水酸化第４級アルキルアンモニウムの溶液である請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記反応工程において、反応温度が−３５℃以上１５℃以下である請求項１または２に記載の方法。
【請求項4】
前記反応工程において、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液中の二酸化炭素濃度が５００ｐｐｍ以下である請求項１〜３の何れか一項に記載の方法。
【請求項5】
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとを反応容器内で接触させる反応工程を含む、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する方法において、
該反応容器内の該水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する面が、有機高分子材料からなる、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法。
該反応容器内の該水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する面が、有機高分子材料からなる、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法。
【請求項6】
前記有機高分子材料が、フッ素樹脂である請求項５に記載の方法。
【請求項7】
前記塩素ガスの水分量が、１０体積ｐｐｍ以下である請求項５または６に記載の方法。
【請求項8】
前記反応工程において得られた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、濾過する工程をさらに含む、請求項１〜７の何れか一項に記載の方法。
【請求項9】
濾過する次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐＨが１３．５以下である請求項８に記載の方法。
【請求項10】
濾過する次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐＨが１２．５以下である請求項９に記載の方法。
【請求項11】
前記反応工程後に、反応液を保存する保存工程を含み、該保存工程において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐHが１２．０以上、１４．０未満となるよう調整された請求項１〜１０の何れか一項に記載の方法。
【請求項12】
前記保存工程後に、反応液のｐHを調整する希釈工程を含み、該希釈工程において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐHを８．０以上、１２．０未満とする請求項１１に記載の方法。
【請求項13】
前記希釈工程が、保存された次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、２５℃におけるｐＨが０より大きく７以下の溶液で希釈する工程である、請求項１２に記載の方法。
【請求項14】
請求項１〜１３の何れか一項に記載に方法により次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を得た後、
該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液により、半導体ウエハ表面を処理する、半導体ウエハの処理方法。
該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液により、半導体ウエハ表面を処理する、半導体ウエハの処理方法。
【請求項15】
該半導体ウエハが、銅、タングステン、タンタル、チタン、コバルト、ルテニウム、マンガン、アルミニウム、シリコン、酸化シリコン、及びこれらの化合物よりなる群から選択される少なくとも１種を含む半導体ウエハである、請求項１４に記載の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液、およびその製造方法に関する。より具体的には、本発明は保存安定性に優れた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液、およびその製造方法に関する。また、本発明は、半導体ウエハ・素子の洗浄に適した、金属不純物を低減した次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液、およびその製造方法に関する。【背景技術】
【0002】
近年、半導体素子のデザインルールの微細化が進み、半導体素子製造工程における不純物管理に対する要求がより厳しくなっている。半導体素子の製造工程で発生する不純物は、製造工程毎に異なるため、製造工程毎に汚染源を特定し、さらに、その汚染源となる不純物の濃度を管理することが重要である。【0003】
また、半導体素子の製造効率を向上させるために、３００ミリを超える大口径の半導体ウエハが使用されている。大口径の半導体ウエハでは、電子デバイスが作製されない端面部や裏面部の面積が小口径の半導体ウエハと比較して大きい。そのため、金属配線を形成する工程やバリアメタルを形成する工程において、半導体素子を形成する半導体ウエハ表面部だけでなく、端面部や裏面部などにも金属配線材料やバリアメタル材料（以下、まとめて「金属材料等」とする場合もある）が付着し易くなる。その結果、大口径の半導体ウエハでは小口径のウエハに比べ、端面部や裏面部に付着する余剰の金属材料等の量が増加している。【0004】
半導体ウエハの端面部や裏面部に付着した余剰の金属材料等は、金属配線やバリアメタル形成後の工程である酸素によるアッシング工程やプラズマによるドライエッチング工程において、金属、もしくは金属酸化物のパーティクルとして製造装置内を汚染し、クロスコンタミネーションの原因となる。そのため、端面部や裏面部に付着した金属材料等は、次工程に持ち込む前に除去する必要があった。【0005】
これら金属材料等の中でも、白金、及びルテニウムに代表される貴金属類は、その後のエッチング工程や洗浄工程では酸化、溶解、除去され難くい。そのため、これら貴金属類は、他の金属材料よりも優先して半導体ウエハから除去することが好ましい。特に、ルテニウムは、配線材料に銅を使用した場合よりも抵抗値を低減可能という理由で、半導体素子のデザインルールが１０ｎｍ以下の配線材料として多用されているため、不要な箇所から素早く除去することが望まれている。【0006】
一般的に半導体ウエハの洗浄液として、酸化力が高い次亜塩素酸塩を利用した洗浄方法が提案されている。具体的には、次亜塩素酸ナトリウム水溶液を使用した方法が提案されている（特許文献１、２参照）。【0007】
しかしながら、次亜塩素酸ナトリウム水溶液を洗浄液として使用する方法では、必然的に該洗浄液に含まれるナトリウムイオンが多くなる。その結果、半導体ウエハ等にナトリウムイオンが付着し易くなり、半導体の生産効率が低下するおそれがあった。【0008】
これに対して、ナトリウムを必須成分としない次亜塩素酸溶液（特許文献３参照）、または次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム水溶液（特許文献４参照）を使用した洗浄液の開発も行われている。【0009】
しかしながら、これら次亜塩素酸を使用した洗浄液（特許文献３参照）は、金属膜や金属酸化物膜を備えた基板の洗浄に使用されるものであり、特に貴金属の除去を目的としているものではない。そのため、貴金属等の金属／金属酸化物膜の洗浄には適していない。【0010】
一方、特許文献４に記載された次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を含む洗浄液も、フォトレジストや残渣の洗浄のために使用される洗浄液であり、ルテニウムを含む銅やアルミニウムの金属被覆は洗浄対象としていない。具体的に実施例においては、金属膜がエッチングされ難いことが示されている。【先行技術文献】
【特許文献】
【0011】
【特許文献1】特開２００２−１６１３８１号公報
【特許文献2】特開２００９−０８１２４７号公報
【特許文献3】特開２００３−１１９４９４号公報
【特許文献4】特開２００５−２２７７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
特許文献４の水酸化テトラメチルアンモニウム溶液は、保存安定性が必ずしも満足のいくものではない。すなわち、酸化作用を発揮する次亜塩素酸イオンの経時的減少によって、所望の洗浄性能が発揮されていないことが、本発明者らの検討によって明らかとなった。【0013】
また、特許文献４には利用可能なハロゲンのレベルを維持するために、例えば、トリアゾール、チアゾール、テトラゾールおよびイミダゾールを安定化剤として、洗浄組成物に添加することが開示されている。【0014】
しかしながら、安定化剤を添加することで、洗浄後に有機物の残渣として残存しやすく、半導体素子の歩留まり低下を引き起こす。また、安定化剤は、特定の金属、例えば、トリアゾールであれば銅に吸着しやすく、銅を洗浄する能力を低下させることもある。【0015】
したがって、本発明の第１の目的は、安定化剤を添加せずとも、次亜塩素酸イオン濃度の経時変化が少なく、保存安定性に優れた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法を提供することにある。【0016】
また、特許文献４に記載された次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を含む洗浄液は、上記の通り、フォトレジスト・残渣を除去することを目的としている。このため、例えば、洗浄液中のナトリウム、アルミニウム、および／またはカリウム等の金属含量を低減することは考慮されていない。洗浄液に含まれる金属含量が少ない方が半導体素子の生産効率を向上できるものと考えられる。【0017】
したがって、本発明の第２の目的は、半導体素子を製造する工程に使用される、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液において、金属含量が低減された溶液、およびその製造方法を提供することにある。【課題を解決するための手段】
【0018】
本発明者らは、上記第１の目的を達成するために鋭意検討を行った。そして、反応中の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが管理されていないため、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液中に存在する次亜塩素酸イオン濃度が低下し、洗浄、除去力が低下することを見出した。【0019】
すなわち、反応工程における次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨによって、次亜塩素酸イオン濃度が大きく変化する。そこで、反応工程のｐＨの変動要因をさらに検討した結果、反応工程の気相部の二酸化炭素が反応液に吸収され、反応液のｐＨが大きく変動しており、反応工程の気相部の二酸化炭素濃度を制御することで、安定化剤を添加せずとも、保存安定性が高い次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造できることを見出した。【0020】
また、上記知見に基づきさらに検討を続けたところ、酸化剤、洗浄剤として、好適に使用できる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、安定化剤を添加せずとも次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨを調整することによって、保存安定性のさらなる向上が図れることを見出した。【0021】
すなわち、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨによって、次亜塩素酸、及び次亜塩素酸イオンの不均化反応の反応速度が異なり、次亜塩素酸、及び次亜塩素酸イオンの自己分解が抑制されるｐＨの範囲が存在することが判明した。一般的には、次亜塩素酸ナトリウム溶液では、アルカリ性、例えば、ｐＨ１１以上では、次亜塩素酸、及び次亜塩素酸イオンの不均化反応が抑制されることが知られているが、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の場合、ｐＨが１２以上１４未満において、特異的に、次亜塩素酸、及び次亜塩素酸イオンの不均化反応が抑制されることが判明した。【0022】
例えば、本発明の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、金属の洗浄、除去に使用する場合、最適な次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨは、７より大きく１２未満であるが、このようなｐＨの範囲で次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を調製し、保存した場合は、短時間で著しく酸化力が失われることが本発明者の検討によって、判明した。【0023】
これらの知見から、安定化剤を添加せずとも次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨを調整することによって、次亜塩素酸イオン濃度が低下せず、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の保存安定性が向上することを見出した。
【0024】
また、本発明者らは、上記第２の目的を達成するために鋭意検討を重ねた。先ず、特許文献４に記載されている次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液に含まれる可能性がある金属不純物について詳細に検討した。【0025】
特許文献４においては、フォトレジストの除去を目的とするため、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液に含まれる金属原子を低減させる必要性は考慮されていない。【0026】
具体的には、特許文献４の実施例では、エーレンマイヤーフラスコ中で、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液と塩素ガスとを反応させて、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を製造している。そして、該フラスコは何ら断りがないため、ガラス容器である蓋然性が高い。本発明者等によれば、該実施例の追試では、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液にナトリウム等の金属原子が比較的多く含まれることが分かった。【0027】
そのため、本発明者等は、ナトリウム等の金属原子が含まれる原因を検討した。そして、その原因の一つは、原料となる水酸化第４級アルキルアンモニウム、およびフラスコの材質に起因しているものと考えられた。すなわち、水酸化第４級アルキルアンモニウムは強いアルカリ性を示す物質であるため、フラスコの材質であるガラスから、ナトリウム等の金属原子が溶けだすことが原因であると推定した。そして、水酸化第４級アルキルアンモニウム水溶液と塩素ガスとを反応させる際に、反応容器の材質を限定することにより、上記課題を解決できることを見出した。【0028】
すなわち、本発明は、以下の要旨を含む。（１）次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法であって、
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を準備する準備工程と
前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と、塩素を接触させる反応工程とを含んでなり、
反応工程における気相部の二酸化炭素濃度が１００体積ｐｐｍ以下であり、反応工程における液相部のｐHが、１０．５以上である、
次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法。
【0029】
（２）前記準備工程で準備する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が、アルキル基の炭素数が１〜１０である水酸化第４級アルキルアンモニウムの溶液である（１）に記載の方法。【0030】
（３）前記反応工程において、反応温度が−３５℃以上１５℃以下である（１）または（２）に記載の方法。【0031】
（４）前記反応工程において、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液中の二酸化炭素濃度が５００ｐｐｍ以下である（１）〜（３）の何れか一項に記載の方法。【0032】
（５）水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとを反応容器内で接触させる反応工程を含む、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する方法において、該反応容器内の該水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する面が、有機高分子材料からなる、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法。
【0033】
（６）前記有機高分子材料が、フッ素樹脂である（５）に記載の方法。【0034】
（７）前記塩素ガスの水分量が、１０体積ｐｐｍ以下である（５）または（６）に記載の方法。【0035】
（８）前記反応工程において得られた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、濾過する工程をさらに含む、（１）〜（７）の何れか一項に記載の方法。【0036】
（９）濾過する次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐＨが１３．５以下である（８）に記載の方法。【0037】
（１０）濾過する次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐＨが１２．５以下である（９）に記載の方法。【0038】
（１１）前記反応工程後に、反応液を保存する保存工程を含み、該保存工程において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐHが１２．０以上、１４．０未満となるよう調整された（１）〜（１０）の何れか一項に記載の方法。【0039】
（１２）前記保存工程後に、反応液のｐHを調整する希釈工程を含み、該希釈工程において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐHを８．０以上、１２．０未満とする（１１）に記載の方法。【0040】
（１３）前記希釈工程が、保存された次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、２５℃におけるｐＨが０より大きく７以下の溶液で希釈する工程である、（１２）に記載の方法。【0041】
（１４）上記（１）〜（１３）の何れか一項に記載に方法により得た次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液により、半導体ウエハ表面を処理する、半導体ウエハの処理方法。【0042】
（１５）該半導体ウエハが、銅、タングステン、タンタル、チタン、コバルト、ルテニウム、マンガン、アルミニウム、シリコン、酸化シリコン、及びこれらの化合物よりなる群から選択される少なくとも１種を含む半導体ウエハである、（１４）に記載の処理方法。【0043】
（１６）ナトリウム、カリウム、およびアルミニウムの各金属の含有量がそれぞれ１ｐｐｂ未満である次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液。【0044】
（１７）さらに、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の各金属の含有量がそれぞれ１ｐｐｂ未満である（１６）に記載の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液。【0045】
（１８）２３℃におけるｐＨが９．０以上１２．５以下である（１６）または（１７）に記載の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液。【発明の効果】
【0046】
上記（１）〜（４）の本発明の第１の実施形態によれば、トリアゾール、チアゾール、テトラゾールおよびイミダゾール等の安定化剤を添加せずとも、保存安定性が高い次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造することができる。また、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、洗浄能力に関与しない安定化剤を添加する必要はない。したがって、本発明によって製造された次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、半導体製造工程で使用すれば、歩留まりが低下しない洗浄液として好適に使用することができる。【0047】
上記（５）〜（７）の本発明の第２の実施形態によれば、金属含量が少ない次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を得ることができる。そのため、半導体素子を製造する際に使用する、エッチング液、洗浄液として好適に利用できる。【0048】
また、上記（８）〜（１０）の濾過工程を含むことで、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液に含まれる金属含量をさらに低減することができる。上記（１１）のように、保存時のｐＨを制御することで、さらに保存安定性を向上できる。
本発明の各実施形態により奏される作用効果は、以下においてさらに具体的に詳述する。
【図面の簡単な説明】
【0049】
【図1】第１の実施形態に係る次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法の一形態を表わす概略図である。
【図2】第２の実施形態に係る次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法の一形態を表わす概略図である。
【図3】次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の一般的な製造方法の一形態を表わす概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0050】
＜第１実施形態：次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法＞第１の実施形態に係る次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法は、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を準備する準備工程と
前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と、塩素を接触させる反応工程とを含んでなり、
反応工程における気相部の二酸化炭素濃度が１００体積ｐｐｍ以下であり、反応工程における液相部のｐHが、１０．５以上であることを特徴とする。
以下、各工程を説明する。
【0051】
（水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を準備する準備工程）水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、水酸化第４級アルキルアンモニウムが水に溶解した水溶液又は非水系溶媒に溶解した溶液の何れでも良い。水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、水、又は非水系溶媒に水酸化第４級アルキルアンモニウムを溶解させることや市販の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を所望の濃度に希釈することなどで得ることができる。非水系溶媒としては、水酸化第４級アルキルアンモニウムを溶解できる公知の有機溶媒を挙げることができる。具体的には、アルコール、グリコールが挙げられ、特にメタノール、プロピレングリコールが好ましい。これら溶媒の中でも、工業的に入手が容易であって、かつ高純度の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を入手可能であるという点から、該溶媒は水であることが好ましい。
【0052】
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液の濃度は、特に限定されないが、水酸化第４級アルキルアンモニウムの濃度が高濃度になると塩が析出し、固体となる。したがって、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液の濃度は、好ましくは０．０１〜３０質量％、より好ましくは０．０５〜２７．５質量％、さらに好ましくは０．１〜２５質量％である。【0053】
準備する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液中には、通常は大気に由来する二酸化炭素が含まれている。二酸化炭素は、炭酸イオン、又は重炭酸イオンとして溶液中に存在している。二酸化炭素濃度は、特に制限されないが、炭酸イオンに換算して、０．００１ｐｐｍ以上５００ｐｐｍ以下（質量基準である）であることが好ましく、０．００５ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、０．０１ｐｐｍ以上１００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液に含まれる二酸化炭素濃度が０．００１ｐｐｍ以上５００ｐｐｍ以下であることにより、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨ変化を抑制できる。その結果、該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の保存安定性を向上できる。このような二酸化炭素濃度の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、市販のものを利用できる。【0054】
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を準備する溶媒としては、水のみを溶媒とし水溶液を準備してもよいし、有機溶媒を混合して、非水系溶液として準備しても良い。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の用途、洗浄対象物に対応して、溶媒を適宜変更すればよい。例えば、洗浄対象物をルテニウムとする場合は、溶媒は水のみで十分な洗浄が可能なため、水酸化第４級アルキルアンモニウム水溶液として準備すればよい。【0055】
本実施形態において、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、アルキル基の炭素数が１〜１０である水酸化第４級アルキルアンモニウムの溶液であることが好ましく、炭素数１〜５である水酸化第４級アルキルアンモニウムの溶液であることがより好ましい。具体的な水酸化第４級アルキルアンモニウムを例示すると、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウムなどである。これらの水酸化第４級アルキルアンモニウムは１種単独で用いても良く、２種以上を組み合わせて用いても良い。また、水酸化第４級アルキルアンモニウムに含まれる４つのアルキル基の炭素数は同一であっても良く、異なっていても良い。【0056】
水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとを反応させて次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する工程において、反応容器内で生じる該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を含む溶液のｐＨが低下する。後述する濾過操作の条件や、水酸化第４級アルキルアンモニウムの溶解性を考慮すると、本実施形態においては、原料となる水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨの下限は１０．５以上であり、好ましくは１１．０以上、さらに好ましくは１１．５以上、特に好ましくは１２．０を超える。水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨの上限は前記水酸化第４級アルキルアンモニウムの濃度によって決まる。【0057】
また、本実施形態において使用する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、金属、具体的には、ナトリウム、カリウム、アルミニウム、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の含有量が、それぞれ０．０１ｐｐｂ以上２０ｐｐｂ以下であることが好ましい。なお、当然のことながら、使用する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液に含まれる金属含量は、０．０１ｐｐｂ未満であってもよいが、このような水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を入手すること自体が困難である。【0058】
そのため、上記金属含量が前記範囲を満足する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を使用することにより、それ自体の入手が容易となり、かつ、該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造中、および製造後における濾過操作によって該金属不純物の除去・低減が容易となる。濾過操作によって金属不純物が除去・低減できる理由は明らかではないが、ある程度の量の金属不純物が存在することによって、濾過による除去が難しいコロイド状ではなく、ある程度の大きさを有する不純物粒子が生成し、濾過による除去が可能になるためと考えられる。そのため、本実施形態で使用する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、ｐＨが下がることにより金属不純物の固体物が濾過操作で除去・低減できるため、超高純度の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液ではなくとも好適に使用できる。この効果をより高め、特にアルカリ性でイオンとなっている不純物をより一層除去・低減するためには、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液に含まれる、ナトリウム、カリウム、アルミニウム、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の金属含量はそれぞれ、０．０１ｐｐｂ以上５ｐｐｂ以下となることがより好ましく、０．０１ｐｐｂ以上２ｐｐｂ以下であることがさらに好ましい。【0059】
以上のような水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は、市販のものを使用することができる。中でも、電解法、および／又はイオン交換樹脂等と接触させて高純度化した、半導体素子のフォトレジスト現像液として使用されている水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を好適に利用できる。そして、これら市販のものを、超純水のような金属不純物が含まれない溶媒で希釈して使用することもできる。【0060】
（水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と、塩素を接触させる反応工程）水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素を接触、反応させることにより、水酸化第４級アルキルアンモニウムの水酸化物イオンが、塩素によって生成された次亜塩素酸イオンと置換され、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液が生成する。
【0061】
本実施形態において、使用する塩素ガスは、特に制限されるものではなく、市販のものを採用できる。その中でも、半導体材料のエッチング、半導体材料の原料として使用されるような高純度のガスを使用することができる。【0062】
高純度ガスの中でも、特に水分量が少ないものが好ましく、具体的には１０体積ｐｐｍ以下（質量基準）の水分量のものを使用することが好ましい。この理由は明らかではないが以下のようなことが考えられる。例えば、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する際、通常、塩素ガスは配管を経由して輸送される。そのため、水が多く存在すると、塩化水素が発生して配管、および流量計等の金属部材を腐食させ、塩素ガスと共に腐食した金属不純物が系内に導入され易くなると考えられる。そのため、塩素ガスに含まれる水分量は１０体積ｐｐｍ以下のものを使用することが好ましい。当然のことながら、市販の塩素ガスをそのまま使用することもできるし、反応系内に導入される直前に、乾燥材等を接触させて塩素ガスに含まれる水分量を低減させることもできる。塩素ガスに含まれる水分量の下限は、特に制限されるものではないが、工業的に入手可能なものを考えると、０．１体積ｐｐｍである。【0063】
本実施形態において、該塩素ガスに含まれる二酸化炭素の濃度は、特に制限されないが、０．００１体積ｐｐｍ以上８０体積ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．００５体積ｐｐｍ以上５０体積ｐｐｍ以下であることがより好ましく、０．０１体積ｐｐｍ以上２体積ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。塩素ガスに含まれる二酸化炭素濃度が０．００１体積ｐｐｍ以上８０体積ｐｐｍ以下の範囲であれば、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨ変化を抑制できる。その結果、該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の保存安定性を向上できる。このような二酸化炭素濃度の塩素ガスは、市販のものを利用できる。【0064】
なお、本実施形態において、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素を接触させる方法は特に制限されず、公知の方法を採用することができる。しかし、反応系への二酸化炭素の混入を避けるため、閉鎖系で反応を行うことが好ましい。簡易的には、図１に示したように、三ツ口フラスコ内に準備した水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液に、塩素を吹き込むことで、十分に反応させることができ、保存安定性に優れた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造することができる。また、詳細は後述するが、図２に示す構成の反応装置を用いても良い。【0065】
本実施形態において、塩素ガスの使用量（使用する塩素ガスの全量）は、特に制限されないが、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液１リットルに対して、０℃、１ａｔｍ換算で、１０〜３１０００ｍＬであることが好ましい。この範囲で塩素ガスを使用することにより、反応系内の急激なｐＨ変化を抑制し、濾過操作による金属不純物の除去・低減が容易となる。水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液１リットルに対して、塩素の使用量が０℃、１ａｔｍ換算で、３１０００ｍＬを越える使用量とすることもできるが、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨの低下・変動が大きくなり、さらには未反応の塩素ガスが残留する傾向にある。一方、１０ｍＬ未満の場合は、十分な次亜塩素酸イオンが生成できない傾向にある。そのため、工業的な製造を考慮すると、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液１リットルに対して、塩素ガスの使用量が０℃、１ａｔｍ換算で、１０〜３１０００ｍＬの範囲であることが好ましい。ただし、塩素ガスの使用量は、得られる溶液のｐＨ、すなわち、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨにおいて決定することもできる。【0066】
また、塩素ガスを以下の速度で反応系内に供給することが好ましい。塩素ガスの供給流量（速度）は、急激なｐＨの低下を生じさせない、および反応に関与しない塩素ガスを低減するという点で、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液、１リットルに対して、０℃、１ａｔｍ換算で、０．００３４Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以上１６．９Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以下が好ましい。この範囲を満足することにより、反応性が十分となり、急激なｐＨの低下・変動がなく、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造できる。この効果をより発揮するためには、塩素ガスの反応系内への供給量は、０．０１７Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以上５．１Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以下がより好ましく、０．０３４Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以上１．７Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以下がさらに好ましい。【0067】
（反応工程における気相部）反応工程における気相部の二酸化炭素濃度が１００体積ｐｐｍ以下であることが、本実施形態の最大の特徴である。本実施形態において、気相部とは、反応工程において、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と接触する気体で占められた部分のことであり、例えば、図１に示す製造方法であれば、三ツ口フラスコ１１内の気体が占める部分（上部空間）である。
【0068】
本実施形態において、気相部中の二酸化炭素濃度の上限は、１００体積ｐｐｍである。１００体積ｐｐｍを越える二酸化炭素濃度の場合は、反応工程時に式（１）、（２）の反応によって炭酸イオン、重炭酸イオンが発生し、それに伴って次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが低下してしまう。ＣＯ２ ＋ ＯＨ− → ＨＣＯ３− …（１）
ＨＣＯ３− ＋ ＯＨ− → ＣＯ３２− + Ｈ２Ｏ …（２）
上記の化学反応によってｐＨが低下すると、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の保存中に次亜塩素酸イオンが分解して、保存安定性が悪化すると推測している。
【0069】
なお、本実施形態において、気相部中の二酸化炭素濃度が、０．００１〜１００体積ｐｐｍ、好ましくは、０．０１〜８０体積ｐｐｍであれば、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨを十分に制御すること可能となり、保存安定性に優れた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造することができる。【0070】
（反応工程のｐＨ）本実施形態の反応工程における液相部のｐＨの範囲は、１０．５以上である。上限は特に限定はされないが、反応中のｐＨが過度に高いと、反応終了後に同じｐＨで長期間保存すると、次亜塩素酸イオンが分解され、有効塩素濃度が低下することがある。したがって、反応工程における液相部のｐＨは１４未満であることが好ましく、１３．９未満がより好ましく、１１以上１３．８未満がさらに好ましい。ｐＨが前記範囲であれば、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の保存中に、次亜塩素酸イオンの分解が抑制され、保存安定性が向上する。なお、反応時のｐＨが高い場合であっても、後述するように保存時のｐＨを特定範囲に制御することで、保存安定性は向上する。一方、反応工程のｐＨが低すぎると式（３）に示す化学反応のため、保存安定性が低下する。
２ＨＣｌＯ ＋ ＣｌＯ− ＋ ２ＯＨ− →
ＣｌＯ３− ＋ ２Ｃｌ− ＋ ２Ｈ２Ｏ …（３）
【0071】
（反応工程の反応温度）本実施形態の反応工程における水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液の反応温度の範囲は、−３５℃以上１５℃以下が好ましく、−１５℃以上１５℃以下がより好ましく、０℃以上１５℃以下がさらに好ましい。反応温度が前記範囲であれば、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素が十分に反応し、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を高い生成効率で得ることができる。
【0072】
なお、反応温度が−３５℃未満の場合、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液の凝固がはじまり、塩素との反応が十分でなくなってしまう。一方、反応温度が１５℃を超える場合は、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液中に生成した次亜塩素酸イオンが熱によって分解する。特に反応時のｐＨが１３．８以上では、反応温度が高くなると次亜塩素酸イオンの分解が顕著になる。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムの生成効率は、原料として供給した塩素分子のモル数に対する、生成した次亜塩素酸イオンのモル数の割合で評価できる。【0073】
以上のように、本実施形態の製造方法によれば、保存安定性に優れた、例えば、製造後１０日経過しても、洗浄、除去力を十分保つことができる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造することができる。【0074】
このことから明らかな通り、本実施形態の製造方法で得られた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、保存安定性に優れており、半導体素子の製造工程において好適に使用することができる。【0075】
＜第２実施形態：次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法＞第２の実施形態は、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとを反応容器内で接触させる反応工程を含む、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する方法に関し、
該反応容器内の該水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する面が、有機高分子材料からなることを特徴としている。以下、順を追って説明する。
【0076】
（水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液および塩素ガス）水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液および塩素ガスとしては、前記第１実施形態で説明したものと同様のものを使用できる。
【0077】
（反応条件 反応容器の内面に使用する有機高分子材料）本実施形態においては、反応容器内で前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と前記塩素ガスとを接触させて、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する。このとき、先ず、反応容器内に所定量の前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を導入しておき、次いで塩素ガスを該水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と接触するように導入すればよい。
【0078】
そして、本実施形態においては、反応容器内の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する面（以下、単に「反応容器の内面」とする場合もある）を、有機高分子材料で形成する。本発明者等の検討によれば、反応容器として、汎用のホウケイ酸ガラス製（以下、ガラス製）の反応容器を使用すると、原料として使用する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が、該ガラス製に含まれる金属成分、例えば、ナトリウム、カリウム、およびアルミニウムを溶解する。これは、原料として使用する水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液がアルカリ性を示すことに起因すると考えられる。そのため、反応容器の内面を有機高分子材料で形成することにより、上記金属を含む不純物（金属不純物）の混入を低減できる。【0079】
本実施形態においては、溶媒に有機溶媒を使用する場合には反応装置を防爆構造とすることが好ましい。そのため、簡易な装置構成とするためには、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液は水を溶媒とすることが好ましい。【0080】
本実施形態において、使用する有機高分子材料としては、塩化ビニル系樹脂（軟質・硬質塩化ビニル樹脂）、ナイロン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン）、フッ素系樹脂等を使用できる。中でも、成型のし易さ、耐溶剤性、不純物の溶出が少ないもの等を考慮すると、フッ素系樹脂が挙げられる。【0081】
該フッ素樹脂としては、フッ素原子を含有する樹脂（ポリマー）であれば特に制限されず、公知のフッ素樹脂を用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体、及びパーフルオロ（ブテニルビニルエーテル）の環化重合体等が挙げられる。中でも、反応容器自体の入手のし易さ、生産性等を考慮すると、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体を使用することが好ましい。【0082】
本実施形態において、反応容器の内面を有機高分子材料で形成する方法としては、反応容器全体を有機高分子材料で形成する方法、ガラス製・ステンレス製の反応容器の内面のみを有機高分子材料で覆う方法などが挙げられる。【0083】
また、有機高分子材料から金属成分が溶出するのを防ぐために洗浄してから使用することもできる。具体的には、高純度硝酸・塩酸のような酸で十分に洗浄し（例えば、１ｍｏｌ／Ｌの酸濃度の溶液に１２時間浸漬させて洗浄し）、超純水等でさらに洗浄することが好ましい。また、安定した反応を行うためには、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとを反応させる前に、前記有機高分子材料で形成された反応容器の内面を前記方法で洗浄することが好ましい。【0084】
本実施形態おいては、反応容器内の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する面を有機高分子材料で形成すれば、その他の部分は、ガラスであっても、ステンレス鋼であっても、不動態化処理したステンレス鋼であってもよい。ただし、影響は少ないため、必須ではないが、撹拌棒等も同じ有機高分子材料で形成することが好ましい。【0085】
本実施形態おいては、反応容器内で前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとを接触させればよいが、撹拌中の前記水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液に塩素ガスを導入することが好ましい。その際の反応温度の範囲は、特に制限されるものではないが、前記第１の実施形態と同様とすることが好ましい。【0086】
また、反応系内に二酸化炭素が存在すると、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが低下する傾向にある。そのため、安定した製造を考慮すると、反応系内には、前記第１の実施形態と同様に、二酸化炭素が含まれないようにすることが好ましい。具体的には、二酸化炭素量が低減された水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液、塩素ガス等を使用することが好ましい。そして、二酸化炭素量が低減された不活性ガス存在下（例えば、窒素ガス存在下）にて反応を実施することが好ましい。このような条件で反応することで、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨ低下を抑制できるため、保存安定性が向上する。【0088】
反応装置３１において、反応容器３２の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液３３が接する面（反応容器の内面）３４を前記有機高分子材料で形成する。そして、この反応装置３１には、温度を確認できる温度計（熱電対）３５を設けることもできる。そして、反応系内を混合できるように攪拌モーター３６、撹拌棒３７、撹拌羽３８を備えることが好ましい。これら温度計３５、撹拌棒３７、撹拌羽３８も、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液３３と接する部分は、有機高分子材料で形成されることが好ましい。【0089】
また、該反応装置３１には、塩素ガスを供給する塩素ガス供給管３９を備え、該供給管３９を通じて、反応系内へ塩素ガスを導入するガス導入管４０を経由して水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液３３と接触するようにすればよい。前記の通り、反応系内は、二酸化炭素が含まれない方が好ましいため、窒素ガス供給管４１を設けることもできる。図２においては、窒素ガス供給管４１が途中、塩素ガス供給管３９と合流し、ガス導入管４０から窒素ガスが導入される構成となっているが、ガス導入管４０は、塩素ガス導入管／窒素ガス導入管のそれぞれに分別されていてもよい。そして、このガス導入管４０は、水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液３３と接するため、前記有機高分子材料から形成されることが好ましい。【0090】
また、下記に詳述するが、本実施形態においては、塩素ガスと水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液とを接触させて次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造する際、反応系内のｐＨが低下し、金属成分を含む固体物が析出する場合がある。本実施形態においては、この固体物を濾過により除去・低減するために、濾過装置を備えることもできる。この濾過装置は、反応液移送管４２、ポンプ４３、濾過フィルター４４、反応液返送管４５を備える。これら濾過装置における各部材は、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムを含む反応溶液と接触するため、前記有機高分子材料で形成されることが好ましい。【0091】
ポンプ４３は、ケミカルダイヤフラムポンプ、チューブポンプ、マグネットポンプ等が利用できる。中でも、金属成分による汚染防止のため、接液部が前記フッ素樹脂からなるポンプを使用することが好ましく、その中でも入手のし易さを考慮すると、マグネットポンプを使用することが好ましい。【0092】
また、濾過フィルター４４は、下記に詳述する材質、形態のものを使用することが好ましい。図２では、１つの濾過フィルター４４を設けた例を示したが、複数の濾過フィルター４４をその使用目的（除去を目的とする不純物）に応じて直列、および／又は並列に配置することもできる。【0093】
以上のような濾過装置を設けることにより、反応途中に濾過操作を行うこともできる。また、塩素ガスの供給を止めて、反応後にポンプ４３により、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムを含む溶液を循環させ、濾過フィルター４４により、含まれる金属成分を含む固体物を除去・低減することもできる。なお、図２には、反応装置と濾過装置とが一体となった構成を示したが、反応後に濾過を行うのであれば、反応装置と濾過装置とは別々に設置してもよい。【0094】
また、供給された未反応の塩素ガスを逃がすための塩素ガス排出管４６、塩素ガストラップ４７を設けることもできる。塩素ガストラップ４７には、例えば５質量％程度の水酸化ナトリウム水溶液を入れておけばよい。【0095】
さらに、反応容器３２の周囲には、反応温度を制御するための反応浴４８を設けることもできる。【0096】
そして、温度計３５、撹拌棒３７、ガス導入管４０、反応液移送管４２、反応液返送管４５および塩素ガス排出管４６は、ハーフジョイント４９等により、反応容器３２と接続できる。【0097】
このような反応装置３１を使用することにより、本実施形態の方法を容易に行うことができ、純度の高い次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造できる。【0098】
＜濾過工程＞水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液と塩素ガスとが接触して、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を生成してくると、反応系内の溶液のｐＨが低下する。その際、金属不純物を含む固体物が析出する場合があり、それを除去・低減するために、好ましい実施形態では、濾過する工程を含むことが好ましい。すなわち、第１実施形態および第２実施形態の反応の途中、または所定の濃度まで塩素ガスを供給して得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を濾過することが好ましい。なお、濾過工程は、後述する保存工程あるいは希釈工程の後に行っても良い。
【0099】
濾過工程においては、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨに応じて、濾取される金属成分が異なることがある。具体的には、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが１３．５以下とした場合、好ましくは該溶液のｐＨが１２．５を超え１３．５以下の場合には、マグネシウム、鉄、カドミウム等の水酸化物、ニッケル、銀の酸化物が固体化するため、濾過操作を行うことにより、これら不純物も除去・低減できる。
【0100】
また、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが１２．５以下とした場合、好ましくは該溶液のｐＨが９．０以上１２．５以下の場合には、前記不純物に加えて、銅、鉛の酸化物が固体化するため、濾過操作を行うことにより、これら不純物も除去・低減できる。なお、溶液のｐＨは温度に依存し変動することがある。上記のｐＨは２５℃での値を目安とする。実際に濾過工程を実施する際の液温は２５℃に限定はされないが、好ましくは２０〜２８℃、さらに好ましくは２３℃〜２５℃で行う。【0101】
このような金属不純物の固体物は、原料とする水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液、および塩素ガスの純度を高めても生成する。特に、反応容器の内面を有機高分子材料で形成した場合にも、該固体物が生成される場合がある。この原因は明らかではないが、塩素ガスという腐食性の高いガスを使用しているため、反応装置内のどこからか金属不純物が反応系内に含まれるためと推定している。【0102】
濾過操作は、除去・低減を目的とする金属類が固体化されるｐＨで実施すればよい。そのため、１回のみの実施であってもよいし、各ｐＨで複数回実施することもできる。その際、各ｐＨで孔径の異なる濾過フィルターを複数準備し、孔径の大きな濾過フィルターから順に濾過することでより濾過効率が向上する。具体的には１段階目に粗大粒子を、２段階目で微粒子を除去することで実施可能である。なお、金属成分を含む固体物、例えば、単なる金属の不純物、金属酸化物、金属水酸化物、および／又はコロイド状物の内、１μｍ以上１００μｍ以下の粒子のことを、以下、単に「粗大粒子」とする場合がある。一方、０．０１μｍ以上１μｍ未満の粒子のことを、以下、単に「微粒子」ということがある。なお、固体物の粒径はレーザー回折による円相当径をいう。【0103】
前記濾過操作は、特に制限されるものではなく、公知の濾過装置、濾過フィルターを使用して実施することができる。ただし、不要な金属成分を増加させないためには、濾過装置において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液が接触する可能性のある面は、有機高分子材料で形成されることが好ましい。この有機高分子は、前記に例示したものと同じものが使用できる。【0104】
具体的な濾過フィルターとして、有機高分子材料あるいは無機材料からなる濾過フィルターを使用することが好ましい。例えば、ポリオレフィン製（ポリプロピレン製、ポリエチレン製、超高分子量ポリエチレン製）、ポリスルフォン製、酢酸セルロース製、ポリイミド製、ポリスチレン、前記フッ素系樹脂、および／又は石英繊維製からなる濾過フィルターを挙げることができる。また、濾過フィルターは正に帯電している膜と負に帯電している膜とを組み合わせて使用することが好ましい。この理由は、多くの金属酸化物や金属水酸化物がアルカリ性雰囲気下で負に帯電しており、静電吸着によって正に帯電した濾過フィルターにより効果的に金属成分を除去することが可能となるためである。また一部の金属成分はカチオンの状態で存在していて正に帯電している。このため、負に帯電している濾過フィルターには静電吸着によって効果的にイオン化した金属成分を除去することが可能となる。【0105】
濾過フィルターの孔径は、特に制限されるものではないが、粗大粒子の除去には孔径が１μｍ以上の濾過フィルター、あるいは精密濾過フィルターを使用することができる。一方、微粒子の除去には孔径が０．０１μｍ以上１μｍ未満の精密濾過フィルター、限外濾過フィルター、あるいはナノフィルトレーション膜を使用することができる。【0106】
以上のような濾過フィルターは、市販のものを使用できる。具体的には、日本インテグリス社製のポリテトラフルオロエチレン製「フロロガードＡＴＸフィルター（孔径０．０５μｍ、）」、「クイックチェンジＡＴＥフィルター（孔径０．０３μｍ）」、「トレントＡＴＥフィルター（孔径０．０２μｍ）」、「フロロラインＰ−１５００（孔径０．０５μｍ、０．１μｍ）」を使用できる。
【0107】
以上の濾過操作は、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨを、その用途に適した範囲に調整する前に実施することができる。この場合、一旦濾過操作を行った後、再度、塩素ガスと混合して目的とするｐＨの次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液とすることができる。また、水、塩化水素等の酸、および／又は水酸化第４級テトラメチルアンモニウム水溶液等のアルカリを混合して目的とするｐＨの次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液とすることもできる。一方、製造した次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが洗浄液として適したｐＨである場合には、該溶液を濾過して、そのまま半導体素子を製造する際に使用する洗浄液とすればよい。【0108】
このような濾過操作を行うことにより、特に、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛等の金属成分を低減することができる。【0109】
＜保存工程＞第１および第２の実施形態における反応工程後、あるいは上記濾過工程の後の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、そのまま洗浄液等の所定の用途に使用できるが、一般には、保存工程（貯蔵、輸送を含む）の後に、使用される。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は単体では保存安定性が悪く、安定化剤の添加が必要とされていた。しかし、安定化剤は有機物残渣の原因となることがあり、改善が求められていたが、以下に説明する保存工程を経ることで、保存安定性がより向上した次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の供給が可能になる。
【0110】
本発明の好ましい実施形態に係る次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の製造方法は、前記反応工程後に、反応液を保存する保存工程を含み、該保存工程において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の２５℃におけるｐHが１２．０以上、１４．０未満となるよう調整する。なお、反応工程後に濾過工程を行い、その後に保存工程を行っても良い。【0111】
保存対象である次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の濃度は、特に制限されないが、工業的な製造を考慮すると、所定のｐＨにおける次亜塩素酸イオンが０．００１〜２０質量％、第４級アルキルアンモニウムイオンが０．００１〜５０質量％、含まれている次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液であることが好ましい。なお、「所定のｐＨ」とは、保存工程におけるｐＨとして選択された１２．０以上、１４．０未満の何れかのｐＨをいう。【0112】
その他、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液には、その用途に応じて所望により各種の添加剤を配合してもよい。例えば、添加剤として、金属キレート化剤、錯体化剤、金属溶解促進剤、金属腐食阻害剤、界面活性剤、酸、アルカリなどを加えることができる。これらの添加剤を加えることにより半導体ウエハ処理時に金属溶解の促進または抑制、表面ラフネスの改善、処理速度の向上、パーティクル付着の低減などが期待できるため、これら添加剤を含む洗浄液は半導体ウエハ処理に好適に利用できる。【0113】
好ましい実施形態に係る次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の保存方法は、限定されたｐＨの範囲で次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を保存する。保存方法について、以下に詳細に記載する。【0114】
ここで「保存」とは、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液が２５℃におけるｐＨを１２以上１４未満の状態で保存を開始してから、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の濃度、及び／またはｐＨを調整するまでを意味する。なお、ｐＨを調整した後の溶液のｐＨが１２以上１４未満である場合、該溶液をさらに保存すれば、それはやはり本発明の保存に該当する。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨが最初から１２以上１４未満であればそのまま保存すれば良く、ｐＨが１２未満又は１４以上である場合にはｐＨを１２以上１４未満の範囲に調整した後保存すれば良い。【0115】
なお、溶液のｐＨは温度に依存し変動することがある。上記のｐＨは２５℃での値を目安とする。実際に溶液を保存する際の液温は２５℃に限定はされない。したがって、保存時の条件は、特に限定されることはないが、一般的な保存条件、すなわち、−２５〜５０℃で公知の容器、キャニスター缶や樹脂製の保存容器に保存するのが好ましく、−２０〜４０℃で、遮光できる保存容器、キャニスター缶等の輸送容器や樹脂製の保存容器に不活性ガスを充填して、暗所で保存することが、さらに好ましい。保存する温度が前記範囲を超える場合、長期間の保存の間に次亜塩素酸イオンが熱分解によって酸素分子を形成して容器が膨張し、破損することもある。【0116】
好ましい実施形態では、２５℃におけるｐＨが１２以上１４未満の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液として保存する。このｐＨの範囲内であれば、次亜塩素酸イオン濃度が低下せず、長期間の保存が可能である。ｐＨが１２未満の場合は、次亜塩素酸イオンの不均化反応が進行し、次亜塩素酸イオンが分解され、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の酸化力が低下する。一方、ｐＨが１４以上の場合は、カチオンである有機イオンが分解すると推定される。その結果、有機イオンの嵩高さによって阻害されていた次亜塩素酸イオンの不均化反応が再び進行し、次亜塩素酸イオンが分解すると推定される。２５℃におけるｐＨが１２以上１３．９未満の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液として保存することが好ましく、２５℃におけるｐＨが１２以上１３．８未満で保存することがより好ましい。【0117】
前記の保存方法により、保存安定性が向上する理由は明らかではないが、本発明者らは以下のように推定している。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液中では、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムはその一部が次亜塩素酸イオンと有機イオンに解離しているが、大部分は次亜塩素酸イオンと有機イオンとがイオン結合しており、有機イオンの立体的な嵩高さが、次亜塩素酸イオンの不均化反応を抑制していると推測している。このため、有機イオンの立体的な嵩高さが大きくなるほど、不均化反応を抑制し、保存安定性が向上すると考えられる。有機イオンは嵩高い第４級アルキルアンモニウムイオン、例えば、テトラメチルアンモニウムイオンであれば、十分に不均化反応を抑制できる。【0118】
本発明の保存方法によれば、保存期間が３０日でも、好ましくは６０日でも、さらに好ましくは９０日でも、保存中の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の酸化力は、ほとんど変化しない。したがって、保存後、使用する条件に応じて、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を希釈するのみで、様々な用途に使用することができる。保存期間が長期間になればなるほど、生産性向上の効果を期待することができる。【0119】
（希釈工程）次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、その用途に応じて適宜に希釈して用いることがある。希釈工程では、上記保存工程を経て、ｐＨ１２以上で次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を保存した後、該次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液をｐＨが１２未満の溶液で希釈し、ｐＨを８．０以上１２．０未満に調整する。
【0120】
次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の希釈方法は、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液に含まれる水素イオン濃度を相対的に上昇させることができればよく、水で次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を希釈してもよいし、酸を含む溶液で希釈してもよいし、保存時の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨよりも低いｐＨの溶液で希釈してもよい。例えば、本発明の保存方法で保存された次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液より低いｐＨの溶液の例として、アルカリ性の溶液、例えば、ｐＨ１２未満の水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液を挙げることができる。【0121】
また、前記次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を希釈するために加えられる溶液に、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムが含まれていてもよいし、含まれていなくてもよい。例えば、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムを含む溶液で希釈する場合は、ｐＨを調整するだけでなく、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液濃度を任意に調整することができる。【0122】
なお、本発明において、前記次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を希釈するために加えられる溶液は、ｐＨが０より大きく７以下である溶液で希釈することが好ましい。酸性溶液を使用することで、ｐＨ調整にともなう次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウムの濃度低下を小さくできる。ｐＨが０より大きく７以下である溶液の具体例として、例えば、無機酸であれば、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、ホウ酸、フッ酸、臭素酸、塩素酸、過塩素酸、ヨウ素酸、過ヨウ素酸、炭酸等を挙げることができ、有機酸であれば、ギ酸、酢酸、氷酢酸、プロピオン酸、クエン酸、シュウ酸、リンゴ酸、乳酸、安息香酸等を挙げることができる。【0123】
その他、希釈するために使用する溶液の不純物濃度が高い場合、得られた希釈液の用途が限定されることから、希釈するために使用する溶液の不純物が少ない方が好ましい。例えば、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を半導体ウエハの処理液として使用する場合、高純度であることが求められるため、高純度な次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液に対して、工業的に容易に高純度化可能な塩酸、硫酸などで、希釈することが好ましい。【0124】
次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の希釈方法としては、特に制限されず、公知の方法で希釈すればよい。例えば、容器の２つの供給口から、それぞれ次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液と希釈するために使用する溶液とを供給し、プロペラや回転子を用いて撹拌を行うことで混合する方法を用いてもよいし、ポンプを用いて液を循環することで混合する方法などを採用してもよい。また、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液が保存された容器に、希釈するために使用する溶液を供給して希釈してもよい。【0125】
別の希釈方法としては、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液含有組成物を使用する場所において、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液と、希釈するために使用する溶液とを混合することで、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を希釈することもできる。例えば、２つのノズルから、それぞれ次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液と希釈するために使用する溶液をユースポイントに供給すれば、ユースポイントで希釈を行うことができる。この方法は、半導体ウエハを処理する時に特に有効である。【0126】
その他、希釈液を半導体洗浄用に使用する場合には、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液に無機酸または有機酸を加えて希釈する方法を採用することができる。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を供給する配管と無機酸または有機酸を供給する配管とを途中で合流させて混合することで希釈を行い、得られた希釈液を被洗浄面である半導体ウエハに供給する方法がある。この混合は、圧力を付した状態で狭い通路を通して液同士を衝突混合する方法； 配管中にガラス管などの充填物を詰め液体の流れを分流分離、合流させることを繰り返し行う方法； 配管中に動力で回転する羽根を設ける方法など、公知の方法を採用することができる。【0127】
以上の通り、希釈工程を採用することにより、使用時のｐＨで次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を保存した場合に比べ、酸化力を安定に保持した希釈液を利用することが可能となる。一般に次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を洗浄液等として使用する場合には、ｐＨを８〜１２程度に希釈するが、このｐＨで次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を保存すると、次亜塩素酸イオン濃度が低下し、洗浄性は低下する。しかし、上記保存工程を経て保存した後に、上記の希釈工程を経ることで、次亜塩素酸イオン濃度の高い希釈液（洗浄液）が得られる。【0128】
（半導体ウエハの処理方法）本発明の処理方法は、半導体ウエハにダメージを与えることなく、半導体ウエハに存在する種々の金属およびその化合物をエッチング、洗浄、除去できる処理方法である。ただし、処理の対象物がこれに限定される訳ではなく、当然のことながら、表面に金属類を有さない半導体ウエハの洗浄にも利用できるし、金属のウェットエッチングなどにも使用することができる。
【0129】
本発明の処理方法の対象は、銅、タングステン、タンタル、チタン、コバルト、ルテニウム、マンガン、アルミニウム、シリコン、酸化シリコン、及びこれらの化合物よりなる群から選択される少なくとも１種を含む化合物を有する半導体ウエハであることが好ましい。本発明は、次亜塩素酸イオンの強力な酸化作用を有効に発揮することができるため、前記の金属の中でも容易に酸化されない貴金属類の処理に好適に使用することができる。したがって、本発明の処理方法は、貴金属類、特に、ルテニウムを洗浄、除去する場合に、好適に使用することができる。例えば、ルテニウムを洗浄、除去する場合であれば、公知の洗浄方法を採用すればよい。【0130】
以上のように、本発明の保存方法によれば、製造後３０日経過しても、洗浄、除去力を十分に保つことができる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を提供することができる。このように、保存安定性に優れた次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を提供することにより、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の運搬や保存に関わるコストが低減でき、工業的に非常に重要である。【0131】
＜次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液＞第２実施形態の製造方法、さらには濾過工程を経ることで、金属成分の含有量が低減された次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を製造できる。なお、当然のことながら、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の溶媒は、原料である水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液の溶媒と同じであるが、本発明の効果を阻害しない範囲で他の溶媒を加えることもできる。ただし、操作性、取り扱い易さ、汎用性等を考慮すると、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の溶媒は、水であることが好ましい。
【0132】
第２実施形態の製造方法、さらには濾過工程を経ることで、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、金属成分、具体的には、ナトリウム、カリウム、およびアルミニウムの含有量をそれぞれ１ｐｐｂ（質量基準）未満とすることができる。これら金属成分の含有量は、実施例に示す誘導結合プラズマ質量分析法によって測定した値である。【0133】
さらには、前記で説明した濾過操作等を行うことにより、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の含有量をそれぞれ１ｐｐｂ（質量基準）未満とすることができる。これら金属成分の含有量も、実施例に示す誘導結合プラズマ質量分析法によって測定した値である。【0134】
そのため、最も好ましくは、次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、ナトリウム、カリウム、アルミニウム、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の含有量がそれぞれ１ｐｐｂ未満であることが好ましい。次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液中における金属成分の形態は特に限定はされず、金属原子あるいはイオンとして含まれていても良く、また酸化物や水酸化物といった微粒子、錯体などの形態であっても良い。【0135】
また、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液のｐＨは、特に制限されるものではなく、使用する用途に応じて、適宜決定すればよい。例えば、ｐＨが１２．５を超えるものである場合には、フォトレジスト除去剤（現像液）として使用することもできるし、半導体素子を形成する際の貴金属層の平坦化に使用することもできる。【0136】
中でも、ｐＨを９．０以上１２．５以下とすることにより、得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液は、貴金属類のエッチング処理に使用することもできる。この場合、高いｐＨの水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液に塩素ガスを供給しながら、ｐＨを９．０以上１２．５以下とすることができるため、製造も容易である。加えて、製造中、あるいは製造後に、濾過操作を行うことにより、より金属成分の含有量を低減することも可能となる。【0137】
また、本発明で得られる次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液には、一般的な安定化剤であるベンゾトリアゾール類、ベンゾフェノン類、オキザニリド類、その他、サリシレート類等の公知の添加剤を配合することもできる。該安定化剤を添加することによって保存安定性が良好となる。【実施例】
【0138】
次に、実施例及び比較例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。先ず、使用した測定装置、及び各成分の製造方法等について説明する。【0139】
＜ｐＨ測定方法＞水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液、および次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液３０ｍＬを、卓上型ｐＨメーター（ＬＡＱＵＡ Ｆ―７３、堀場製作所社製）を用いてｐＨ測定した。ｐＨ測定は、２３℃で安定した後に、実施した。
【0140】
＜有効塩素濃度および次亜塩素酸イオン濃度の算出方法＞次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液を、１００ｍＬ三角フラスコに処理液０．５ｍＬとヨウ化カリウム（富士フイルム和光純薬工業社製、試薬特級）２ｇ、１０質量％酢酸８ｍＬ、超純水１０ｍＬを加え、固形物が溶解するまで撹拌し、褐色溶液を得る。
【0141】
調整した褐色溶液は、０．０２Ｍチオ硫酸ナトリウム溶液（富士フイルム和光純薬工業社製、容量分析用）を用いて溶液の色が褐色から極薄い黄色になるまで酸化還元滴定し、次いで、でんぷん溶液を加え薄紫色の溶液を得る。【0142】
この溶液に、更に０．０２Ｍチオ硫酸ナトリウム溶液を続けて加え、無色透明になった点を終点として有効塩素濃度を算出した。また、得られた有効塩素濃度から次亜塩素酸イオン濃度を算出した。例えば、有効塩素濃度１質量％であれば次亜塩素酸イオン濃度は０．７３質量％となる。【0143】
＜気相部の二酸化炭素濃度の算出方法＞反応溶液内の気相部の二酸化炭素濃度は、ＣＯ２モニター（ＣＵＳＴＯＭ社製、ＣＯ２−Ｍ１）を用いて測定した。
【0144】
＜反応効率＞供給した塩素分子のモル数に対する生成した次亜塩素酸イオンのモル数の割合（％）から反応効率を求めた。加えた塩素が全量反応した場合（分解が起こっていない）は、反応効率は１００％となる。反応中に次亜塩素酸イオンが分解した場合は反応効率が低下する。
【0145】
＜保存安定性の評価方法１＞次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液をグローブバッグ内に移し、グローブバッグ内の二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下になった後、ＰＦＡ製容器に移し替え、密閉した。次に、２３℃の遮光された環境で１０日間保管後、ＰＦＡ製容器内の次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液の次亜塩素酸イオン濃度を測定した。次亜塩素酸イオン濃度比（１０日後濃度／初期濃度）が６０％以上１００％以下を良好、６０％未満を不良とした。
【0146】
＜保存安定性の評価方法２＞次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液をグローブバッグ内に移し、グローブバッグ内の二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下になってからＰＦＡ製容器に移し替えた。次に、二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下であり、２３℃の遮光された環境で３０日間保存後、ＰＦＡ製容器内の次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液中の次亜塩素酸イオン濃度を測定した。次亜塩素酸残存率（３０日経過後の次亜塩素酸イオン濃度／初期次亜塩素酸イオン濃度）が５０％以上を良好とし、５０％未満では、実用上使用が困難となる問題を発生させることがあるため、不良と評価した。
【0147】
＜ルテニウムのエッチング速度の算出方法＞シリコンウエハ上にバッチ式熱酸化炉を用いて酸化膜を形成し、その上にスパッタ法を用いてルテニウムを２００Å（±１０％）成膜した。四探針抵抗測定器（ロレスタ‐ＧＰ、三菱ケミカルアナリテック社製）によりシート抵抗を測定して膜厚に換算した。具体的には、得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を３０ｍｌ、ビーカーに準備し、次いで、ｐＨが１２超である次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液については無機酸、有機酸で所望のｐＨとなるように希釈し、測定溶液を得た。この測定溶液に１０×２０ｍｍにカットしたルテニウム付きウエハの各サンプル片を、１分間浸漬し、処理前後の膜厚変化量を浸漬した時間で除した値をエッチング速度として算出し、ルテニウムエッチング速度として評価した。エッチング速度はpHが大きい程遅くなることが分かっている。したがって各ｐＨにおいて実用上使用が可能な範囲を次のように決めた。ｐＨ９．１のときはルテニウムエッチング速度３００Å／分以上を良好とし、３００Å／分未満を不良と評価した。ｐＨ９．５のときは１００Å／分以上を良好とし、１００Å／分未満を不良と評価した。ｐＨ１０．５のときは２０Å／分以上を良好とし、２０Å／分未満を不良と評価した。ｐＨ１１．０のときは５Å／分以上を良好とし、５Å／分未満を不良と評価した。
【0148】
＜次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液中の金属濃度測定方法＞次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液中の金属濃度測定には、高分解能誘導結合プラズマ質量分析を用いた。
【0149】
２５ｍＬのポリフルオロアルキルエーテル（ＰＦＡ）製メスフラスコ（ＡｓＯｎe製、ＰＦＡメスフラスコ）に、超純水と１．２５ｍＬの高純度硝酸（関東化学社製、Ｕｌｔｒａｐｕｒｅ−１００硝酸）を加えた。次いで、ピペット（ＡｓＯｎｅ社製、ピペットマンＰ１０００）とフッ素樹脂製ピペットチップ（ＡｓＯｎｅ製、フッ素樹脂ピペットチップ）を用いて次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液０．２５ｍＬを採取し、ＰＦＡメスフラスコに加えて撹拌した。次いで、超純水でメスアップし、１００倍希釈した測定試料を準備した。さらに、高分解能誘導結合プラズマ質量分析装置（ＴｈｅｒｍｏＦｉｓｈｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製、Ｅｌｅｍｅｎｔ２）を使用し、検量線法で金属量を定量した。なお、マトリックスによる感度増減を確認するため、測定溶液に２ｐｐｂとなるよう不純物を添加したものも測定した。なお、測定条件は、ＲＦ出力が１５００Ｗ、アルゴンガス流量はプラズマガスが１５Ｌ／分、補助ガスが１．０Ｌ／分、ネブライザーガスが０．７Ｌ／分であった。【0150】
＜実施例１＞＜次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液調整＞
２Ｌのガラス製三ツ口フラスコ（コスモスビード社製）にＣＯ２含有量が２ｐｐｍである２５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液２５３ｇ、イオン交換水７４７ｇを混合して、ＣＯ２含有量が０．５ｐｐｍであり、６．３質量％のＴＭＡＨ水溶液を得た。このときのｐＨは１３．８であった。なお、実験室内のＣＯ２濃度は３５０ｐｐｍであった。
【0151】
次いで、図１に示すように、三ツ口フラスコ１１の内に回転子１４（ＡｓＯｎｅ社製、全長３０ｍｍ×径８ｍｍ）を入れ、一つの開口部に温度計保護管１２（コスモスビード社製、底封じ型）と熱電対１３を投入し、もう一つの開口部に塩素ガスボンベ、および窒素ガスボンベに接続され、任意で塩素ガス／窒素ガスの切換えが可能な状態にしたＰＦＡ製チューブ１５（フロン工業株式会社製、F-８０１１−０２）の先端を該溶液底部に浸漬させ、残りの一つの開口部は５質量％の水酸化ナトリウム水溶液１７で満たしたガス洗浄瓶１６（ＡｓＯｎｅ社製、ガス洗浄瓶、型番２４５０／５００）に接続した。次に、二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ未満の窒素ガスをＰＦＡ製チューブから、０．２８９Ｐａ・ｍ３／秒（０℃換算時）で２０分間流すことで気相部の二酸化炭素を追いだした。この時、フラスコ内の気相部の二酸化炭素濃度は、１ｐｐｍ以下であった。【0152】
その後、マグネットスターラー（ＡｓＯｎｅ社製、Ｃ−ＭＡＧ ＨＳ１０）を三ツ口フラスコ下部に設置して３００ｒｐｍで回転、撹拌し、三ツ口フラスコ外周部を氷水１０で冷却しながら、塩素ガス（フジオックス社製、仕様純度９９．４％）を０．０６４Ｐａ・ｍ３／秒（０℃換算時）で１８０分間、供給し、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を得た。この時、反応中の液温は１１℃であった。【0153】
得られた溶液はガラス製三ツ口フラスコに入った状態で大気と接触しないようにグローブバッグ内に移し、グローブバッグ内の二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下になった後、１ＬのＰＦＡ製容器に移し替えた。【0154】
＜評価＞二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下となっているグローブバッグ中で、得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液薬液３０ｍＬをフッ素樹脂容器に注ぎ、ｐＨと有効塩素濃度を評価し、ｐＨは１３．０、次亜塩素酸イオン濃度は１．５９質量％となっていることを確認した。
【0155】
次いで、二酸化炭素濃度１ｐｐｍ以下、保管温度２３℃の環境下で１０日間保存した次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液薬液３０ｍＬをフッ素樹脂容器に注ぎ、ｐＨと有効塩素濃度を評価した。この時、ｐＨは１３．０、次亜塩素酸イオン濃度は１．５９質量％となっており、ｐＨと有効塩素濃度が大きく変化していないことを確認した。【0156】
＜実施例２〜７＞実施例２〜７は、（Ａ）ＴＭＡＨ溶液の質量濃度と（Ｂ）ＴＭＡＨ溶液のｐＨ、（Ｃ）塩素の供給量と（Ｄ）供給速度、（Ｅ）反応温度、（Ｆ）気相中の二酸化炭素濃度が、表１に示した条件となるように調整した他は、実施例１と同様の方法で次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を調製し、評価を行った。なお、実施例７では反応中の冷却は行わず、反応温度は２５℃から３５℃に上昇した。
【0157】
＜比較例１＞２Ｌのガラスビーカー（ＡｓＯｎｅ社製）にＣＯ２含有量が２ｐｐｍである２５質量％のＴＭＡＨ水溶液２３３ｇ、イオン交換水７６７ｇを混合して５．８質量％のＴＭＡＨ水溶液を得た。このときのｐＨは１３．８であった。次いで、図３に示すようにガラスビーカー２１内に回転子２４（ＡｓＯｎｅ社製、全長３０ｍｍ×径８ｍｍ）を入れ、次いで温度計保護管２２（コスモスビード社製、底封じ型）と熱電対２３を投入し、塩素ガスボンベに接続されたＰＦＡチューブ２５（フロン工業株式会社製、Ｆ−８０１１−０２）の先端を該溶液底部に浸漬させた。この時、気相部の二酸化炭素濃度は、３５０ｐｐｍであった。
【0158】
その後、マグネットスターラー（ＡｓＯｎｅ社製、Ｃ−ＭＡＧ ＨＳ１０）をガラスビーカー下部に設置して３００ｒｐｍで回転させながら、ガラスビーカー外周部を氷水２８で冷却しながら塩素ガス（フジオックス社製、仕様純度９９．４％）を０．０６４Ｐａ・ｍ３／秒（０℃換算時）で１８０分間、供給し、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を得た。この時、反応中の液温は１１℃であった。【0159】
得られた溶液は大気と接触しないようにグローブバッグ内に移し、グローブバッグ内の二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下になった後、１ＬのＰＦＡ製容器に移し替えた。【0160】
＜比較例２〜３＞比較例２〜３は、（Ａ）水酸化テトラメチルアンモニウム溶液の質量濃度と（Ｂ）水酸化テトラメチルアンモニウム溶液のｐＨ、（Ｃ）塩素の供給量と（Ｄ）供給速度、（Ｅ）反応温度、（Ｆ）気相中の二酸化炭素濃度が、表１に示した条件となるように調整した他は、比較例１と同様の方法で次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を調製し、評価を行った。
【0161】
評価結果を表２に示した。なお、表中、ＴＭＡＨは水酸化テトラメチルアンモニウム溶液を示す。【0162】
【表1】
【0163】
【表2】
【0164】
＜実施例１１＞＜次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液調整＞
図２に示すように、容量２Ｌのポリテトラフルオロエチレン製の反応容器（ＡｓＯｎｅ社製、反応用円筒型容器Ｃ型２０００ｃｃ）にポリテトラフルオロエチレン製ハーフジョイント４９（ＡｓＯｎｅ社製、ハーフメスジョイントＩ型６φ）を複数接続できるように加工した反応容器３２を準備し、該反応容器３２に２５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液２５３ｇ、超純水７４７ｇを混合して６．３質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を得た。この水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に含まれるナトリウム、カリウム、アルミニウム、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の含有量はそれぞれ１ｐｐｂ未満であることを確認した。また、二酸化炭素濃度は５ｐｐｍ（質量基準）であった。また、このときのｐＨ（２３℃）は１３．８であった。
【0165】
該反応容器３２の中心に撹拌棒３７（ＡｓＯｎｅ社製、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製 撹拌棒・攪拌羽付き、全長４５０ｍｍ×径８ｍｍ）を設置し、上部を撹拌モーター３６（新東科学社製、スリーワンモーターＢＬｈ６００）で固定した。反応中の温度をモニタリングできるように、反応容器３２に温度計３５をセットした。【0166】
塩素ガス（塩素ガス導入管３９）／窒素ガス（窒素ガス供給管４１）の切換えが可能な状態にしたテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体製のガス導入管４０（フロン工業社製、ＰＦＡチューブ）の先端を該溶液底部（水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液３３）に浸漬させた。【0167】
また、一つのハーフジョイントは、塩素ガス排出管４６を介して、５質量％の水酸化ナトリウム水溶液で満たした塩素ガストラップ４７（ＡｓＯｎｅ社製、ガス洗浄瓶）に接続した。【0168】
また、一つのハーフジョイントとマグネットポンプ４３（ＡｓＯｎｅ社製、テフロン（登録商標）で表面を被覆したマグネットポンプ）の入口側を反応液移送管４２である、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体製チューブ（フロン工業社製、ＰＦＡチューブ）で接続し、次いで出口側を濾過フィルター４４（日本インテグリス社製、フロロガードＡＴ、孔径０．１μｍ）、および反応液移送管４２と同じ材質からなる反応液返送管４５で接続した。【0169】
次に、二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ未満の窒素ガスを、窒素ガス供給管４１、ガス供給管４０（テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体製チューブ（フロン工業社製、ＰＦＡチューブ））を介して０．２９Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃで２０分間流すことにより、反応容器３２内における気相部の二酸化炭素を追いだした。【0170】
その後、前記撹拌モーター３６を３００ｒｐｍで回転し、反応容器３２の外周部を反応浴４８（氷水）で冷却しながら、塩素ガス（市販品；仕様純度９９．９９９％ 水分量０．５ｐｐｍ（質量基準）以下、二酸化炭素１ｐｐｍ（質量基準）以下）を０．０６４Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃで１８０分間、供給して次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を得た（塩素ガスの全使用量６８１０ｍＬ。）。この時、反応中の液温は１１℃であった。また、塩素ガスを供給しながら反応を行う際に、ポンプ４３を起動し、濾過操作を行いながら次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を製造した（反応溶液のｐＨ（２３℃）が１３．５以下となった場合においても、濾過操作を実施した。）。【0171】
得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液のｐＨ、次亜塩素酸イオン濃度を評価し、ｐＨは１３．０、次亜塩素酸イオン濃度は１．５９質量％であった。次いで、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液中の金属濃度を＜次亜塩素酸第４級アルキルアンモニウム溶液中の金属原子濃度測定方法＞に従って測定したところ、金属の含有量は、いずれも１ｐｐｂ未満であった。結果を表４に示す。【0172】
＜実施例１２、１３＞実施例１２、１３は、表３に示す条件、すなわち、
（Ａ）ＴＭＡＨ水溶液の質量濃度（ただし、ナトリウム、カリウム、アルミニウム、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の含有量が１ｐｐｂ未満であり、二酸化炭素は２ｐｐｍのものを使用した。）が、表３に示した条件となるように調整した他は実施例１１と同様にして、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を製造し、その金属含有量を調べた。
【0173】
ただし、実施例１２においては、全塩素ガスを供給した後、塩素ガスの供給を止めてからポンプ４３を起動して濾過操作を行った。実施例１３においては、該濾過操作を行わなかった。結果を表４に示した。【0174】
＜比較例１１＞反応容器３２として、１０００ｍＬのガラス製反応容器（柴田科学社製、１Ｌセパラブル反応容器）に摺合わせサイズ１９／３８ｍｍのガラス製側管を加工した物を使用した以外は、実施例１１と同じ条件で次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を製造した。比較例１１においては、製造中に濾過を実施した。条件を表３に示し、結果を表４に示した。
【0175】
＜比較例１２＞反応容器３２として、１０００ｍＬのガラス製三ツ口フラスコ（ＡｓＯｎｅ社製、三口ガラスフラスコ）を使用し、表３に示した条件で次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を製造した。その他の条件は、実施例１２に従った。また、実施例１２と同じ条件で濾過を行った。結果を表４に示した。
【0176】
＜比較例１３＞反応容器３２として、１０００ｍＬのガラス製三ツ口フラスコ（ＡｓＯｎｅ社製、三口ガラスフラスコ）を使用した以外は、表３に示した条件で次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液を製造した。その他の条件は、実施例１３に従った。結果を表４に示した。
【0177】
【表3】
【0178】
【表4】
【0179】
＜実施例１４＞実施例１１で得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液１００ｍＬに、３５．０質量％の高純度塩酸を０．８ｍＬ加え、ｐＨ（２３℃）を９．６に調整した（ＰＦＡ製の容器内で調製した。）。得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液は、ナトリウム、カリウム、アルミニウム、マグネシウム、鉄、ニッケル、銅、銀、カドミウム、および鉛の含有量は、それぞれ１ｐｐｂ未満であることを確認した。
【0180】
＜ルテニウムのエッチング性能評価＞シリコンウエハ上にバッチ式熱酸化炉を用いて酸化膜を形成し、その上にスパッタ法を用いてルテニウムを１０００Å（±１０％）成膜した。四探針抵抗測定器（ロレスタ‐ＧＰ、三菱ケミカルアナリテック社製）によりシート抵抗を測定して膜厚に換算した。
【0181】
実施例１４で得られたｐＨ９．６の次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液３０ｍＬをビーカー（ＰＦＡ製のビーカー）に入れ、洗浄液中に１０×２０ｍｍとした各サンプル片を、１分間浸漬し、処理前後の膜厚変化量を浸漬した時間で除した値をエッチング速度として算出したところ、エッチング速度は１００Å／分以上であった。【0182】
＜実施例２１＞実施例１と同様にして、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を得た。得られた水溶液はガラス製三ツ口フラスコに入った状態で大気と接触しないようにグローブバッグ内に移し、グローブバッグ内の二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下になってから１ＬのＰＦＡ容器に移し替えた。
【0183】
二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下となっているグローブバッグ中で、得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液薬液３０ｍＬをＰＦＡ製容器に注ぎ、上述の「ｐＨ測定方法」を用いて製造直後のｐＨと、上述の「有効塩素濃度および次亜塩素酸イオン濃度の算出方法」を用いて製造直後の有効塩素濃度を測定した。得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液のｐＨは１３．０、有効塩素濃度は２．１８質量％であった。【0184】
＜保存安定性の評価方法２＞次いで二酸化炭素濃度１ｐｐｍ以下、保存温度２３℃の環境下で、ｐＨ１３．０で３０日間保存した次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液中の、ｐＨと有効塩素濃度を評価したところ、ｐＨは１３．０、有効塩素濃度は２．１８質量％となっており、経時変化していないことを確認した。
【0185】
３５質量％の半導体用高純度塩酸（関東化学社製、高純度試薬ウルトラピュアＨＣｌ）８．８ｍLを、製造直後、及び保存３０日間経過後の次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液に添加し、撹拌して、それぞれｐＨ９．５となるように希釈した。【0186】
得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液の希釈後のｐＨを測定したところ、ｐＨ９．５であることが確認できた。また、有効塩素濃度を測定したところ、２．１８質量％であり、希釈前後で変化していないことが確認できた。【0187】
ｐＨ９．５になるよう希釈した次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液について、前述したルテニウムのエッチング速度の算出方法を用いてエッチング速度を評価したところ、１００Å／分以上であることが分かった。【0188】
＜実施例２２〜２７、比較例２１、参考例＞実施例２２〜２７、比較例２１、参考例は、（Ａ）水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）溶液の質量濃度、（Ｂ）ＴＭＡＨ溶液のｐＨ、（Ｆ）希釈する溶液、（Ｇ）希釈する溶液の濃度、（Ｈ）希釈する溶液の添加量が表５に示した条件となるように変更した以外は、実施例２１と同様の方法で調整し、評価を行った。ただし、保存３０日経過後の次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液のｐＨが１０以下であった場合は、該次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム水溶液の希釈を行わずに、ルテニウムのエッチング速度の算出方法を用いてエッチング速度を評価した。得られた結果を表６に示した。
【0189】
＜実施例２８＞参考例と同様にして、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液を得た。得られた水溶液はガラス製三ツ口フラスコに入った状態で大気と接触しないようにグローブバッグ内に移し、グローブバッグ内の二酸化炭素濃度が１ｐｐｍ以下になってから１ＬのＰＦＡ容器に移し替えた。
【0190】
グローブバッグ内で３５質量％の半導体用高純度塩酸１００ｍLを、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液１０００ｇに添加し、撹拌した。上述の「ｐＨ測定方法」を用いてｐＨと、上述の「有効塩素濃度および次亜塩素酸イオン濃度の算出方法」を用いて有効塩素濃度を測定した。得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液のｐＨは１３．０、有効塩素濃度は１．９８質量％であった。【0191】
次いで二酸化炭素濃度１ｐｐｍ以下、保存温度２３℃の環境下で、ｐＨ１３．０で３０日間保存した次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液中の、ｐＨと有効塩素濃度を評価したところ、ｐＨは１３．０、有効塩素濃度は１．９８質量％となっており、経時変化していないことを確認した。【0192】
３５質量％の半導体用高純度塩酸８．８ｍLを、次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液に添加し、撹拌した。【0193】
得られた次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液の希釈後のｐＨを測定したところ、ｐＨ９．５であることが確認できた。また、有効塩素濃度を測定したところ、１．９８質量％であり、希釈前後で変化していないことが確認できた。【0194】
ｐＨ９．５になるよう希釈した次亜塩素酸テトラメチルアンモニウム溶液について、前述したルテニウムのエッチング速度の算出方法を用いてエッチング速度を評価したところ、１００Å／分以上であることが分かった。【0195】
【表5】
【0196】
【表6】
【符号の説明】
【0197】
１０ 氷水１１ 三ツ口フラスコ
１２ 温度計保護管
１３ 熱電対
１４ 回転子
１５ ＰＦＡ製チューブ
１６ ガス洗浄瓶
１７ 5質量%水酸化ナトリウム水溶液
１８ 流量計
１９ ウォーターバス
２１ ガラスビーカー
２２ 温度計保護管
２３ 熱電対
２４ 回転子
２５ ＰＦＡ製チューブ
２６ 流量計
２７ ウォーターバス
２８ 氷水
３１ 反応装置
３２ 反応容器
３３ 水酸化第４級アルキルアンモニウム溶液（反応前）
３４ 反応容器の内面
３５ 温度計
３６ 攪拌モーター
３７ 撹拌棒
３８ 撹拌羽
３９ 塩素ガス供給管
４０ ガス導入管
４１ 窒素ガス供給管
４２ 反応液移送管
４３ ポンプ
４４ 濾過フィルター
４５ 反応液返送管
４６ 塩素ガス排出管
４７ 塩素ガストラップ
４８ 反応浴
４９ ハーフジョイント