特許6983900高圧ウエハ処理システム及び関連方法

発明の名称　高圧ウエハ処理システム及び関連方法

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（235件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6983900

公報発行日　2021年12月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6983900

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6983900「高圧ウエハ処理システム及び関連方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録