特許6984587ミスト発生装置、ミスト成膜装置およびミスト発生方法

発明の名称　ミスト発生装置、ミスト成膜装置およびミスト発生方法

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 94 位（79件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 121 位（57件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6984587

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6984587

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