特許 6984969 高さ測定用冶具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6984969

(24)【登録日】2021年11月29日

(45)【発行日】2021年12月22日

(54)【発明の名称】高さ測定用冶具

(51)【国際特許分類】

   B24B 49/00 20120101AFI20211213BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20211213BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20211213BHJP

【ＦＩ】

   B24B49/00

   B24B7/04 A

   H01L21/304 631

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2017-153169(P2017-153169)

(22)【出願日】2017年8月8日

(65)【公開番号】特開2019-30932(P2019-30932A)

(43)【公開日】2019年2月28日

【審査請求日】2020年6月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(72)【発明者】

【氏名】服部 真人

【審査官】 須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１４１７２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１２３６５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６１−０１４３０３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／０１２８８４９（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ３／００−７／３０

Ｂ２４Ｂ２１／００−５１／００

Ｈ０１Ｌ２１／３０４；２１／４６３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルを支持面で支持できる回転可能なテーブルベースと、被加工物を研削又は研磨する加工工具を装着できるホイールマウントが先端に固定されたスピンドルと、を備える加工装置において、該ホイールマウントに固定した接触式ゲージを該加工工具の回転軌道に沿って走査させて該保持面又は該支持面の高さを測定する際に用いられる高さ測定用治具であって、
該保持面又は該支持面を覆い、複数の開口部が形成されたプレートと、
該プレートから突出する凸状の複数の位置付け部と、を備え、
該位置付け部は、該プレートを該チャックテーブル又は該テーブルベースに対する所定の位置に位置付ける機能を有し、
該開口部は、該チャックテーブル又は該テーブルベースに対する該所定の位置に該プレートが位置付けられた際に該保持面又は該支持面の測定対象領域を露出するように該回転軌道に沿って形成され、
該開口部は、該接触式ゲージが該開口部を通して該測定領域に接触できる大きさであることを特徴とする高さ測定用治具。

【請求項2】

複数の環状凹部が同心円状に形成された該支持面を有する該テーブルベースの該支持面の高さを測定する際に用いられる請求項１に記載の高さ測定用冶具であって、
該プレートは、該環状凹部を覆うことで該接触式ゲージが該環状凹部に落下するのを防止する機能を有することを特徴とする高さ測定用治具。

【請求項3】

該複数の位置付け部は、該プレートの一方の面に形成された複数の第１の位置付け部と、該プレートの他方の面に形成された複数の第２の位置付け部と、を含み、
該複数の第１の位置付け部のそれぞれは、該プレートの該一方の面が該保持面に接するように該プレートが該チャックテーブルに対する所定の位置に位置付けられたときに該チャックテーブルの側面に接触して該プレートの該チャックテーブルに対する位置関係の変化を抑制する機能を有し、
該複数の第２の位置付け部のそれぞれは、該プレートの該他方の面が該支持面に接するように該プレートが該テーブルベースに対する所定の位置に位置付けられたときに該支持面に形成された凹部に挿入されて該プレートの該テーブルベースに対する位置関係の変化を抑制する機能を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高さ測定用治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル面の所定の位置で該テーブル面の高さを測定する際に用いられる冶具に関する。

【背景技術】

【0002】

シリコンやガリウムヒ素、サファイア、ガラス等からなる板状の被加工物からデバイスを含むデバイスチップを形成する工程では、該被加工物を研削する研削装置や該被加工物を研磨する研磨装置等の各種の加工装置が使用される。該加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該被加工物を加工する加工ユニットと、を備え、該チャックテーブル上に保持された該被加工物を該加工ユニットで加工する。

【0003】

該チャックテーブルは、テーブルベースにより支持される。該テーブルベースの上面は平坦な支持面となっており、該支持面の上にチャックテーブルが固定される。被加工物は、該テーブルベースの支持面上に固定されたチャックテーブルの上に保持された状態で該加工ユニットにより加工される。

【0004】

該加工ユニットは、該鉛直方向に略平行なスピンドルと、該スピンドルの下端に配されたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に装着された加工工具と、を備える。該加工工具は、例えば、下面に研削砥石を備える研削ホイールや下面に研磨パッドを備える研磨ホイール等である。

【0005】

被加工物の加工時には、該スピンドルを回転させて該加工工具を回転させるとともに該チャックテーブルを回転させ、該加工ユニットを鉛直方向下方に移動させる。該加工工具に装着された該研削砥石又は研磨パッドが該被加工物に接触すると、該被加工物が加工される。

【0006】

被加工物のより適切な加工を実現するために、テーブルベース、チャックテーブル及び加工ユニットには様々な改善が為されている。例えば、研削装置においては、該被加工物が均一な厚さとなるように研削するために、極めて小さな勾配の側面を有する円錐の該側面の形状を保持面の形状としたチャックテーブルが使用される（特許文献１参照）。

【0007】

また、加工を開始する際にテーブルベース、チャックテーブル及び加工ユニットが所定の位置関係となっていなければ、加工に偏りが生じる場合がある。そのため、加工装置では被加工物を適切に加工できるように、テーブルベース、チャックテーブル及び加工ユニットの位置や傾き等が予め調整される。

【0008】

該調整では、例えば、テーブルベースの支持面の複数の箇所で高さを測定して該支持面の傾きを確認する。また、テーブルベースの支持面上にチャックテーブルを固定し、該チャックテーブルの保持面の複数の箇所で高さを測定して該保持面の傾きを確認する。

【0009】

該支持面や該保持面等のテーブル面の高さの測定は、該加工ユニットのホイールマウントに装着される接触式ゲージを使用して実施される。例えば、加工工具が装着される前のホイールマウントに該接触式ゲージを装着し、スピンドルを回転させることで該接触式ゲージの下端のゲージヘッドを測定対象となる該テーブル面の所定の箇所に接触させる。すると、加工における加工工具の回転軌道に沿って該ゲージヘッドを該テーブル面に接触させて該テーブル面の高さを測定できる（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２００７−２２２９８６号公報

【特許文献2】特開２０１３−１４１７２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

ホイールマウントに装着された接触式ゲージによるテーブル面の高さの測定は、例えば、該テーブル面の中央部と、該中央部を通る該加工工具の回転軌道上の該テーブル面の端部の２箇所と、の計３点で実施される。該測定は、該加工ユニットを備える加工装置の使用開始時やメンテナンス時、チャックテーブルの交換時等に実施される。加工装置の使用を開始した後で該テーブル面の傾きが変化した場合に変化が生じたことを正しく検出するために、測定のタイミングによらず常に同じ３点で測定が実施されるのが好ましい。

【0012】

しかしながら、測定のタイミング次第では測定を実施する作業者が同一人物になるとは限らず、また、テーブル面には該３点を示すような目印等は形成されていないため、測定が毎回同一箇所で実施されるとは限らない。

【0013】

また、該テーブルベースの該支持面には、チャックテーブルの保持面に負圧を伝えるための経路となる溝が設けられている。そのため、該接触式ゲージを移動させる際に該ゲージヘッドが該溝に落ち込んで高さの変化が大きくなり、接触式ゲージの測定データの安定性が悪化する場合がある。さらに、該支持面には、該溝以外にもねじ穴等の凹凸形状が設けられる場合があり、該ゲージヘッドが該凹凸形状に衝突して該ゲージヘッドが損傷を受ける恐れがある。

【0014】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、測定対象となるテーブル面の所定の位置に接触式ゲージのゲージヘッドを位置付けて、該テーブル面の高さの測定を安定的に実施できる測定用冶具を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明の一態様によれば、板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルを支持面で支持できる回転可能なテーブルベースと、被加工物を研削又は研磨する加工工具を装着できるホイールマウントが先端に固定されたスピンドルと、を備える加工装置において、該ホイールマウントに固定した接触式ゲージを該加工工具の回転軌道に沿って走査させて該保持面又は該支持面の高さを測定する際に用いられる高さ測定用治具であって、該保持面又は該支持面を覆い、複数の開口部が形成されたプレートと、該プレートから突出する凸状の複数の位置付け部と、を備え、該位置付け部は、該プレートを該チャックテーブル又は該テーブルベースに対する所定の位置に位置付ける機能を有し、該開口部は、該チャックテーブル又は該テーブルベースに対する該所定の位置に該プレートが位置付けられた際に該保持面又は該支持面の一部を露出するように該回転軌道に沿って形成され、該開口部は、該接触式ゲージが該開口部を通して該保持面又は該支持面の該一部に接触できる大きさであることを特徴とする高さ測定用治具が提供される。

【0016】

なお、複数の環状凹部が同心円状に形成された該支持面を有する該テーブルベースの該支持面の高さを測定する際に用いられる本発明の一態様に係る高さ測定用冶具であって、該プレートは、該環状凹部を覆うことで該接触式ゲージが該環状凹部に落下するのを防止する機能を有することを特徴とする高さ測定用治具もまた本発明の一態様である。

【0017】

また、本発明の一態様において、該複数の位置付け部は、該プレートの一方の面に形成された複数の第１の位置付け部と、該プレートの他方の面に形成された複数の第２の位置付け部と、を含み、該複数の第１の位置付け部のそれぞれは、該プレートの該一方の面が該保持面に接するように該プレートが該チャックテーブルに対する所定の位置に位置付けられたときに該チャックテーブルの側面に接触して該プレートの該チャックテーブルに対する位置関係の変化を抑制する機能を有し、該複数の第２の位置付け部のそれぞれは、該プレートの該他方の面が該支持面に接するように該プレートが該テーブルベースに対する所定の位置に位置付けられたときに該支持面に形成された凹部に挿入されて該プレートの該テーブルベースに対する位置関係の変化を抑制する機能を有してもよい。

【発明の効果】

【0018】

本発明の一態様に係る高さ測定用冶具は、該テーブル面を覆うプレートと、該プレートから突出する凸状の複数の位置付け部と、を備え、該テーブル面上の所定の位置に載せられて使用される。該高さ測定用冶具は、該位置付け部が形成された面を下方に向けられた状態で該テーブル面上に載せられる。

【0019】

複数の該位置付け部は、該プレートが該テーブル面上の適切な位置に位置付けられていない場合にいずれかの該位置付け部が該テーブル面に当たる位置に配設されている。そのため、該位置付け部が該テーブル面に当たらない位置に該プレートを位置付けることで、該プレートが所定の位置に位置付けられる。すなわち、複数の該位置付け部は、該プレートを該チャックテーブル又は該テーブルベースに対する所定の位置に位置付ける機能を備える。

【0020】

該プレートには、複数の開口部が形成されており、該プレートがチャックテーブル又はテーブルベース上の所定の位置に位置付けられた時、該開口部により該テーブル面の特定の一部が露出される。該テーブル面の高さを測定する際は、接触式ゲージのゲージヘッドを該開口部により露出された該一部に接触させて、該一部の高さを測定する。

【0021】

該高さ測定用冶具を使用すると、該テーブル面の高さの測定の度に毎回同じ該特定の一部が該開口部により露出される。そのため、測定のタイミングや測定者によらずにテーブル面の同じ部分を安定的に測定できる。

【0022】

したがって、本発明の一態様によると、測定対象となるテーブル面の所定の位置に接触式ゲージのゲージヘッドを位置付けて、該テーブル面の高さの測定を安定的に実施できる測定用冶具が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】研削装置を模式的に示す斜視図である。

【図2】研削ユニットによる被加工物の研削加工を模式的に示す斜視図である。

【図3】研削ユニットによる被加工物の研削加工を模式的に示す部分断面図である。

【図4】図４（Ａ）は、接触式ゲージが装着されたホイールマウントを模式的に示す部分断面図であり、図４（Ｂ）は、高さ測定用冶具の第１の面側を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｃ）は、高さ測定用冶具の第２の面側を模式的に示す斜視図である。

【図5】図５（Ａ）は、チャックテーブル及び高さ測定用冶具を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、チャックテーブル上に位置付けられた高さ測定用冶具を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｃ）は、テーブルベース及び高さ測定用冶具を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｄ）は、テーブルベース上に位置付けられた田坂さ測定用冶具を模式的に示す斜視図である。

【図6】高さ測定用冶具が位置付けられたチャックテーブルの保持面の高さを接触式ゲージにより測定する様子を模式的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係る高さ測定用冶具は、研削装置や研磨装置等の加工装置において、該加工装置が備えるチャックテーブルの保持面又は該加工装置が備えるテーブルベースの支持面等のテーブル面の高さを測定する際に使用される。図１は、本実施形態に係る高さ測定用冶具が使用される加工装置の一例として研削装置を模式的に示す斜視図である。

【0025】

研削装置２の装置基台４の上面には、開口４ａが設けられている。該開口４ａ内には、被加工物を吸引保持するチャックテーブル６と、該チャックテーブル６を支持するテーブルベース６ｂと、が上面に載るＸ軸移動テーブル８が備えられている。該Ｘ軸移動テーブル８は、図示しないＸ軸方向移動機構によりＸ軸方向に移動可能である。該Ｘ軸移動テーブル８は、Ｘ軸方向移動機構により被加工物が着脱される搬入出領域１０と、該被加工物が研削加工される加工領域１２と、に位置付けられる。

【0026】

該テーブルベース６ｂの上面は、該チャックテーブル８が載せられる支持面６ｃ（図５（Ｃ）参照）となる。該テーブルベース６ｂの支持面６ｃには、例えば、同心円状に配列された複数の溝（環状凹部）６ｄ（図３及び図５（Ｃ）参照）が形成されている。該テーブルベース６ｂは、一端が該溝６ｄに通じ他端が吸引源３６（図３参照）に接続された吸引路６ｆ（図３参照）を内部に備える。

【0027】

該テーブルベース６ｂの上にはチャックテーブル６が載せられる。該チャックテーブル６の上面は、被加工物が載せられる保持面６ａとなる。チャックテーブル６の上部には多孔質部材が配されている。該チェックテーブル６の該多孔質部材の下方には、該チャックテーブル６の底面に通じる通気口が形成されている。該テーブルベース６ｂの上にチャックテーブル６が載せられると、該通気口は、該テーブルベース６ｂの該溝６ｄ及び吸引路６ｆを通じて該吸引源３６に連通する。

【0028】

該吸引源３６を作動させると、該保持面６ａ上に載せられた被加工物に負圧が作用して、該被加工物はチャックテーブル６に吸引保持される。また、該チャックテーブル６が載る該テーブルベース６ｂは、該保持面６ａに垂直な軸の周りに回転できる。

【0029】

該加工領域１２の上方には、該被加工物を研削加工する研削ユニット（加工ユニット）１４が配設される。装置基台４の後方側には支持部１６が立設されており、この支持部１６により研削ユニット１４が支持されている。支持部１６の前面には、Ｚ軸方向に伸長する一対のＺ軸ガイドレール１８が設けられ、それぞれのＺ軸ガイドレール１８には、Ｚ軸移動プレート２０がスライド可能に取り付けられている。

【0030】

Ｚ軸移動プレート２０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール１８に平行なＺ軸ボールねじ２２が螺合されている。Ｚ軸ボールねじ２２の一端部には、Ｚ軸パルスモータ２４が連結されている。Ｚ軸パルスモータ２４でＺ軸ボールねじ２２を回転させれば、Ｚ軸移動プレート２０は、Ｚ軸ガイドレール１８に沿ってＺ軸方向に移動する。

【0031】

Ｚ軸移動プレート２０の前面側下部には、被加工物の研削加工を実施する研削ユニット１４が固定されている。Ｚ軸移動プレート２０をＺ軸方向に移動させれば、研削ユニット１４はＺ軸方向（加工送り方向）に移動できる。

【0032】

研削ユニット１４は、基端側に連結されたモータにより回転するスピンドル２８を有する。該モータはスピンドルハウジング２６内に備えられている。該スピンドル２８の先端側にはホイールマウント２８ａが配設されており、該ホイールマウント２８ａの下面には、該スピンドル２８の回転に従って回転する研削ホイール（加工工具）３０が装着される。該研削ホイール３０の下面には、研削砥石３２が備えられている。

【0033】

研削ユニット１４についてさらに詳述する。図２は、研削ユニット１４による被加工物の研削加工を模式的に示す斜視図である。図２に示す通り、チャックテーブル６の保持面６ａ上に吸引保持された被加工物７を研削加工する際、該チャックテーブル６が載る該テーブルベース６ｂを回転させるとともに、該研削ホイール３０を回転させながら研削ホイール３０を下降させる。すると、被加工物１の被研削面に該研削砥石３２が当てられて、該被加工物７が研削加工される。

【0034】

図３は、研削ユニットによる被加工物の研削加工を模式的に示す部分断面図である。図３には、ホイールマウント２８ａ及び研削ホイール３０の一部の断面と、テーブルベース６ｂ及びチャックテーブル６の断面と、が示されている。図３に示す通り、ホイールマウント２８ａには、該研削ホイール（加工工具）３０を該ホイールマウント２８ａに装着するために使用される固定具３４が挿通される挿通孔３４ａが形成されている。

【0035】

例えば、該固定具３４の先端にはねじ山が形成されており、該研削ホイール３０の上面には、内壁にねじ溝を備える複数の穴３０ａが該挿通孔３４ａに対応する位置に形成されている。該挿通孔３４ａに挿通された該固定具３４が該研削ホイール３０の該穴３０ａに締め込まれることで該研削ホイール３０は該ホイールマウント２８ａに装着される。

【0036】

例えば、該研削ホイール３０を該ホイールマウント２８ａに装着する間に、該チャックテーブル６の該保持面６ａが該研削砥石３２の研削面に対して平行となるように、テーブルベース６ｂ、チャックテーブル６及び研削ユニット１４の位置や傾き等が予め調整される。

【0037】

該調整では、例えば、該テーブルベース６ｂの該支持面６ｃの複数の箇所で高さを測定して該支持面６ｃの傾きを確認する。また、該テーブルベース６ｂの該支持面６ｃ上に該チャックテーブル６を固定し、該チャックテーブル６の該保持面６ａの複数の箇所で高さを測定して該保持面６ａの傾きを確認する。該研削ユニット１４のホイールマウント２８ａに装着された接触式ゲージを使用して該支持面６ｃや該保持面６ａ等のテーブル面の高さの測定を実施する。

【0038】

図４（Ａ）は、該接触式ゲージ３８が装着されたホイールマウント２８ａを模式的に示す部分断面図である。図４（Ａ）に示す通り、該接触式ゲージ３８の上部は、該ホイールマウント２８ａの挿通孔３４ａに挿入可能な大きさに形成されている。例えば、該挿通孔３４ａの内壁にねじ溝が形成されている場合、該接触式ゲージ３８の該上部にねじ山を形成すると、該上部を該挿通孔３４ａに締め込むことで該接触式ゲージ３８を該ホイールマウント２８ａに装着できる。

【0039】

該接触式ゲージ３８の下端には、高さの測定対象となる該テーブル面に接触するゲージヘッド３８ａが配設されており、該ゲージヘッド３８ａを該テーブル面に接触させると該テーブル面の高さを測定できる。該接触式ゲージ３８には指示部３８ｂが設けられており、測定結果は該指示部３８ｂにより示される。

【0040】

該接触式ゲージ３８は、例えば、研削ホイール３０が装着される前のホイールマウント２８ａに装着され、該スピンドル２８を回転させることで、該ゲージヘッド３８ａを測定対象となる該テーブル面の所定の箇所に接触させる。該スピンドル２８を回転させると加工における研削砥石３２の軌道に沿って該ゲージヘッド３８ａを該テーブル面に接触させて測定することができる。

【0041】

該接触式ゲージ３８によるテーブル面の高さの測定は、例えば、該テーブル面の中央部と、該中央部を通る該研削砥石３２の回転軌道上の該テーブル面の端部の２箇所と、の計３点で実施される。該測定は、該研削装置２の使用開始時やメンテナンス時、チャックテーブル６の交換時等に実施される。該研削装置２の使用を開始した後で該テーブル面の傾きに変化が生じた場合に該変化が生じたことを正確に検出するために、測定のタイミングによらず常に同じ３点で測定が実施されるのが好ましい。

【0042】

しかしながら、測定のタイミング次第では測定を同一人物が実施するとは限らず、また、テーブル面には該３点を示すような目印等は形成されないため、測定を毎回同一箇所で実施できるとは限らない。

【0043】

また、該テーブルベース６ｂの該支持面６ｃには溝６ｄが設けられている。そのため、該接触式ゲージ３８を移動させる際に該ゲージヘッド３８ａが該溝６ｄに落ち込んで高さが大きく変化してしまい、測定データの安定性が悪化する場合がある。

【0044】

さらに、該支持面６ｃには、該溝６ｄ以外にも、例えば、テーブルベース６ｂをＸ軸移動テーブル８上に固定するねじ用のねじ穴や、チャックテーブル６をテーブルベース６ｂに固定するねじ用のねじ穴等の凹凸形状が設けられる。該支持面６ｃに該凹凸形状が設けられると、該ゲージヘッド３８ａが該凹凸形状に衝突して該ゲージヘッド３８ａが損傷を受ける恐れがある。そこで、該測定の際に本実施形態に係る高さ測定用冶具を使用する。

【0045】

次に、本実施形態に係る高さ測定用冶具について説明する。図４（Ｂ）は、高さ測定用冶具１の第１の面１ａ側を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｃ）は、高さ測定用冶具１の第２の面１ｂ側を模式的に示す斜視図である。該高さ測定用冶具１は、テーブルベース６ｂの支持面６ｃや、チャックテーブル６の保持面６ａを覆う大きさの略円板状のプレート５ｃを有する。該プレート５ｃには、複数の開口部３が形成されている。

【0046】

該高さ測定用冶具１の第１の面１ａ側には、該プレート５ｃから突出する凸状の複数の第１の位置付け部５ａが形成されている。また、該高さ測定用冶具１の第２の面１ｂ側には、該プレート５ｃから突出する凸状の複数の第２の位置付け部５ｂが形成されている。

【0047】

該チャックテーブル６の保持面６ａの高さを測定する際には、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す通り、該第２の面１ｂ側を下方に向けて、該高さ測定用冶具１を該保持面６ａの上に載せる。図５（Ａ）は、チャックテーブル及び高さ測定用冶具を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、チャックテーブル上に位置付けられた高さ測定用冶具を模式的に示す斜視図である。

【0048】

該第２の面１ｂ側に形成された複数の該第２の位置付け部５ｂは、該保持面６ａの外径よりも僅かに大きい径の円（不図示）の円周上に並ぶように配設される。特に、該複数の該第２の位置付け部５ｂのそれぞれは、チャックテーブル６の保持面６ａを外周側から取り囲むことができる位置に配設される。すると、プレート５ｃが該保持面６ａ上の適切な位置に位置付けられていない場合にいずれかの該第２の位置付け部５ｂが該保持面６ａに当たる。

【0049】

該高さ測定用冶具１を該保持面６ａ上に載せる際には、該複数の第２の位置付け部５ｂが該保持面６ａに当たらず該第２の面１ｂが該保持面６ａに接する位置に該プレート５ｃを位置付けるように載せる。すると、該高さ測定用冶具１は該保持面６ａ上の所定の位置に位置付けられる。すなわち、複数の該第２の位置付け部５ｂは、該プレート５ｃを該チャックテーブル６に対する所定の位置に位置付ける機能を備える。

【0050】

また、このように該保持面６ａ上に載せられた該高さ測定用冶具１を該保持面６ａに平行な面内のいずれかの方向に移動させようとしても、該第２の位置付け部５ｂが該チャックテーブル６に接触するため移動が妨げられる。すなわち、第２の位置付け部５ｂは、該プレート５の該チャックテーブル６に対する位置関係の変化を抑制する機能を備える。

【0051】

複数の該開口部３は、例えば、該プレート５ｃの中央部と、該プレート５ｃの外周部の２か所と、の計３か所に該研削ホイール（加工工具）３０の回転軌道に沿って並ぶように形成される。そのため、接触式ゲージ３８が装着されたホイールマウント２８ａを該高さ測定用冶具１の上方に位置付け、スピンドル２８を回転させて該ホイールマウント２８ａを軌道３８ｃ（図６参照）に沿って回転させると、ゲージヘッド３８ａを該開口部３に挿入できる。

【0052】

図５（Ｂ）に示す通り、該保持面６ａ上の所定の位置に高さ測定用冶具１を位置付けたとき、該開口部３により該保持面６ａの所定の箇所が露出する。該保持面６ａの高さを測定する際に該高さ測定用冶具１を該保持面６ａ上の所定の位置に位置付けると、該開口部３により高さの測定箇所を規定できる。そのため、該高さ測定用冶具１を使用すると該保持面６ａの測定を毎回同じ箇所で実施することができ、高さの測定を安定的に実施することができる。

【0053】

また、該テーブルベース６ｂの支持面６ｃの高さを測定する際には、図５（Ｃ）及び図５（Ｄ）に示す通り、該第１の面１ａ側を下方に向けて、該高さ測定用冶具１を該支持面６ｃの上に載せる。図５（Ｃ）は、テーブルベース６ｂ及び高さ測定用冶具１を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｄ）は、テーブルベース６ｂ上に位置付けられた高さ測定用冶具１を模式的に示す斜視図である。

【0054】

該第１の面１ａ側に形成された複数の該第１の位置付け部５ａは、該支持面６ｃに形成された溝（環状凹部）６ｄや凹部６ｅの位置に合わせて配設される。該複数の第１の位置付け部５ａを該溝６ｄや凹部６ｅに挿入させ該第１の面１ａを該支持面６ｃに接触させるように該高さ測定用冶具１を該支持面６ｃ上に載せると、該高さ測定用冶具１が該支持面６ｃ上の所定の位置に位置付けられる。したがって、該複数の該第１の位置付け部５ａは、該プレート５ｃを所定の位置に位置付ける機能を備える。

【0055】

また、該高さ測定用冶具１を該支持面６ｃに平行な面内のいずれかの方向に移動させようとしても、該第１の位置付け部５ａが該溝６ｄや凹部６ｅの壁面に接触するため移動が妨げられる。すなわち、該複数の第１の位置付け部５ａは、該プレート５ｃの該テーブルベース６ｂに対する位置関係の変化を抑制する機能を備える。

【0056】

図５（Ｄ）に示す通り、該支持面６ｃ上の所定の位置に高さ測定用冶具１を位置付けたとき、該開口部３により該支持面６ｃの所定の箇所が露出する。該支持面６ｃの高さを測定する際に該高さ測定用冶具１を該支持面６ｃ上の所定の位置に位置付けると、該開口部３により高さの測定箇所を規定できる。そのため、該高さ測定用冶具１を使用すると該支持面６ｃの測定を毎回同じ箇所で実施することができ、該高さの測定を安定的に実施することができる。

【0057】

さらに、該テーブルベース６ｂの該支持面６ｃに形成された溝６ｄや凹部６ｅ等はプレート５ｃにより覆われる。そのため、スピンドル２８を回転させてホイールマウント２８ａに装着された該接触式ゲージ３８を移動させるとき、ゲージヘッド３８ａは溝６ｄや凹部６ｅ等には落ち込まず該プレート５ｃ上を移動する。したがって、ゲージヘッド３８ａの高さの変化が小さいため、該接触式ゲージ３８による測定を安定的に実施できる。なお、該プレート５ｃの厚さは、例えば、該溝６ｄや凹部６ｅの深さよりも小さい。

【0058】

ここで、本実施形態に係る高さ測定用冶具１を使用して該チャックテーブル６の保持面６ａの所定の位置で実施する高さの測定について図６を用いて説明する。図６は、高さ測定用冶具１が位置付けられたチャックテーブル６の保持面６ａの高さを接触式ゲージ３８により測定する様子を模式的に示す斜視図である。

【0059】

まず、図６に示す通り、研削装置２の研削ユニット１４のホイールマウント２８ａの挿通孔３４ａに接触式ゲージ３８を装着する。また、該高さ測定用冶具１の第２の面１ｂ側を下方に向けて、第２の位置付け部５ｂが該保持面６ａに当たらないように該保持面６ａ上に該高さ測定用冶具１を載せる。すると、チャックテーブル６の保持面６ａ上の所定の位置に該高さ測定用冶具１が位置付けられ、保持面６ａの所定の被測定箇所が開口部３により露出される。

【0060】

次に、スピンドル２８を回転させて最初の開口部３にゲージヘッド３８ａを挿入して該保持面６ａに接触させると、該保持面６ａの高さが測定されて該指示部３８ｂに測定結果が示される。

【0061】

指示部３８ｂに示された測定結果を読み取って記録した後、該スピンドル２８を回転させて、該ゲージヘッド３８ａを軌道３８ｃに沿って次々に開口部３に挿入して、同様に指示部３８ｂに示された測定結果を読み取って記録する。保持面６ａのうち開口部３により露出されたすべての箇所で高さを測定すると、該測定結果から該保持面６ａの傾きを算出できる。

【0062】

テーブルベース６ｂの支持面６ｃの所定の箇所で高さの測定を実施する際には、該高さ測定用冶具１の第１の面１ｂを下方に向けて、該支持面６ｃ上の所定の位置に該高さ測定用冶具１を位置付け、同様に開口３により露出した箇所において測定を実施する。

【0063】

なお、高さの測定の結果、該保持面６ａ又は該支持面６ｃが所定の方向から傾いていることが検出された場合、例えば、該保持面６ａ又は該支持面６ｃが所定の方向に向くようにチャックテーブル６又はテーブルベース６ｂの傾きを調整する。または、所定の方向に向いた該保持面６ａ又は該支持面６ｃを形成するように該保持面６ａ又は該支持面６ｃの研削加工または研磨加工を実施する。

【0064】

以上に説明する通り、本実施形態に係る高さ測定用冶具１を使用すると、測定対象となるテーブル面の所定の位置に接触式ゲージ３８のゲージヘッド３８ａを位置付けられるため、該テーブル面の高さの測定を安定的に実施できる。

【0065】

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態に係る高さ測定用冶具１では、第１の面１ａ側に複数の第１の位置付け部５ａを配設するとともに第２の面１ｂ側に複数の第２の位置付け部５ｂを配設する場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。

【0066】

上記実施形態に係る高さ測定用冶具１は、テーブルベース６ｂの支持面６ｃの高さの測定と、チャックテーブル６の保持面６ａの高さの測定と、のいずれの測定においても使用できるが、本発明の一態様はこれに限定されない。

【0067】

例えば、第１の面１ａ側に複数の第１の位置付け部５ａを配設する一方で、第２の面１ｂ側に第２の位置付け部５ｂを配設しなくてもよい。または、第２の面１ｂ側に複数の第２の位置付け部５ｂを配設する一方で、第１の面１ａ側に第１の位置付け部５ａを配設しなくてもよい。これらの場合、テーブルベース６ｂの支持面６ｃの高さの測定と、チャックテーブル６の保持面６ａの高さの測定と、のいずれか一方にのみに使用できる高さ測定用冶具１となる。

【0068】

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0069】

２ 研削装置
４ 装置基台
４ａ 開口
６ チャックテーブル
６ａ 保持面
６ｂ テーブルベース
６ｃ 支持面
６ｄ 溝
６ｅ 凹部
６ｆ 吸引路
８ Ｘ軸移動テーブル
１０ 搬入出領域
１２ 加工領域
１４ 研削ユニット
１６ 支持部
１８ Ｚ軸ガイドレール
２０ Ｚ軸移動プレート
２２ Ｚ軸ボールねじ
２４ Ｚ軸パルスモータ
２６ スピンドルハウジング
２８ スピンドル
２８ａ ホイールマウント
３０ 研削ホイール
３０ａ 穴
３２ 研削砥石
３４ 固定具
３４ａ 挿通孔
３６ 吸引源
３８ 接触式ゲージ
３８ａ ゲージヘッド
３８ｂ 指示部
３８ｃ 軌道
１ 高さ測定用冶具
１ａ，１ｂ 面
３ 開口部
５ａ，５ｂ 位置付け部
５ｃ プレート
７ 被加工物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】