【図1A】図１Ａは、実施形態１、２に係るコレットを示す概略側面図である。

【図1B】図１Ｂは、図１Ａに示すコレットの概略断面図である。

【図1C】図１Ｃは、図１Ａに示すコレットの先端部を拡大した概略斜視図である。

【図1D】図１Ｄは、図１Ａに示すコレットの先端部の端面側から見た概略図である。

【図1E】図１Ｅは、図１Ｃの１Ｅ−１Ｅ線における概略断面図である。

【図2A】図２Ａは、実施形態１、２に係る半導体素子の概略上面図である。

【図2B】図２Ｂは、図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線における概略断面図である。

【図3A】図３Ａは、実施形態１、２に係るコレットと半導体素子を重ねた状態を示す概略図である。

【図3B】図３Ｂは、実施形態１、２に係る半導体素子をコレットで吸着した状態を示す概略断面図である。

【図4A】図４Ａは、実施形態３、４に係るコレットの先端部を拡大した概略斜視図である。

【図4B】図４Ｂは、図４Ａに示すコレットの先端部の端面側から見た概略図である。

【図4C】図４Ｃは、図４Ａの４Ｃ−４Ｃ線における概略断面図である。

【図5A】図５Ａは、実施形態３、４に係る半導体素子の概略上面図である。

【図5B】図５Ｂは、図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線における概略断面図である。

【図6A】図６Ａは、実施形態３、４に係るコレットと半導体素子を重ねた状態を示す概略図である。

【図6B】図６Ｂは、実施形態３、４に係る半導体素子をコレットで吸着した状態を示す概略断面図である。

【図7A】図７Ａは、実施形態５、６に係るコレットの先端部を拡大した概略斜視図である。

【図7B】図７Ｂは、図７Ａに示すコレットの先端部の端面側から見た概略図である。

【図7C】図７Ｃは、図７Ａの７Ｃ−７Ｃ線における概略断面図である。

【図8A】図８Ａは、実施形態５、６に係る半導体素子の概略上面図である。

【図8B】図８Ｂは、図８Ａの８Ｂ−８Ｂ線における概略断面図である。

【図9】図９は、実施形態５、６に係るコレットと半導体素子を重ねた状態を示す概略図である。

【図10】図１０は、変形例に係る半導体素子の概略上面図である。

【図11A】図１１Ａは、変形例に係るコレットの先端部の端面側から見た概略図である。

【図11B】図１１Ｂは、変形例に係るコレットの先端部の端面側から見た概略図である。

【図12A】図１２Ａは、変形例に係るコレットと半導体素子を重ねた状態を示す概略図である。

【図12B】図１２Ｂは、変形例に係るコレットと半導体素子を重ねた状態を示す概略図である。