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特許6985692化学洗浄方法及び粒子捕集装置
発明の名称 化学洗浄方法及び粒子捕集装置
出願人 荏原工業洗浄株式会社 （識別番号 591172663）
特許公開件数ランキング 7735 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 6167 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人大阪大学 （識別番号 504176911）
特許公開件数ランキング 432 位（27件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 303 位（17件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6985692
公報発行日 2021年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6985692
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