特許6985758プラズマ処理装置

発明の名称　プラズマ処理装置

出願人　国立大学法人大阪大学　（識別番号 504176911）

　　　　特許公開件数ランキング 432 位（27件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 313 位（17件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6985758

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6985758

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