特許6986930基板研磨装置および研磨方法

発明の名称　基板研磨装置および研磨方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 205 位（142件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6986930

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6986930

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6986930「基板研磨装置および研磨方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録