特許 6986934 ノズルおよび塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6986934

(24)【登録日】2021年12月2日

(45)【発行日】2021年12月22日

(54)【発明の名称】ノズルおよび塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/02 20060101AFI20211213BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20211213BHJP

【ＦＩ】

   B05C5/02

   B05C11/10

【請求項の数】12

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2017-217667(P2017-217667)

(22)【出願日】2017年11月10日

(65)【公開番号】特開2019-89008(P2019-89008A)

(43)【公開日】2019年6月13日

【審査請求日】2020年8月6日

(73)【特許権者】

【識別番号】000220239

【氏名又は名称】東京応化工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100179833

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 将尚

(74)【代理人】

【識別番号】100189337

【弁理士】

【氏名又は名称】宮本 龍

(74)【代理人】

【識別番号】100188558

【弁理士】

【氏名又は名称】飯田 雅人

(72)【発明者】

【氏名】近藤 士朗

【審査官】 塩屋 雅弘

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−０３９６８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０９９７４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−１７９４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−０７３９５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０７２８５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／０２４７７９４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０５Ｃ５／００−２１／００

Ｂ０５Ｄ１／００−７／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

塗布液を吐出する吐出口に連通し前記塗布液を流通させる流路が設けられた第一ノズル本体と、
前記流路に連通し前記塗布液に含まれる気泡を排出させる脱気路が設けられ、かつ、前記第一ノズル本体と対向する第二ノズル本体と、を含み、
前記流路と前記吐出口との間には吐出用接続路が形成され、
長尺の前記第一ノズル本体の長手方向と直交する断面視で、前記流路の内壁における最も低い位置は、前記吐出用接続路と前記流路との接続位置よりも低い
ノズル。

【請求項2】

前記第二ノズル本体には、前記流路に前記塗布液を供給させる供給路が設けられている
請求項１に記載のノズル。

【請求項3】

前記供給路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の中央部に位置する
請求項２に記載のノズル。

【請求項4】

前記流路は、
前記供給路に連通し前記供給路から供給される前記塗布液を分散させる分散路を含み、
前記脱気路は、前記分散路に連通している
請求項２又は３に記載のノズル。

【請求項5】

前記分散路は、
前記供給路との連通部から長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の端部側に向かうにつれて上側に位置するように傾斜する傾斜部と、
前記第一ノズル本体の長手方向における前記傾斜部の端部から下方に屈曲して延びる下方延出部と、によって画定され、
前記脱気路は、前記傾斜部と前記下方延出部との屈曲部寄りに接続されている
請求項４に記載のノズル。

【請求項6】

前記分散路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向に沿って直線状に形成され、
前記脱気路は、前記第一ノズル本体の長手方向における前記分散路の端部に接続されている
請求項４に記載のノズル。

【請求項7】

前記分散路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の中心位置を基準として、前記第一ノズル本体の長手方向において対称な形状を有する
請求項４から６の何れか一項に記載のノズル。

【請求項8】

前記第一ノズル本体および前記第二ノズル本体の前記吐出口とは反対側の面には、前記第一ノズル本体および前記第二ノズル本体を連結する連結部材が設けられている
請求項１から７の何れか一項に記載のノズル。

【請求項9】

前記第二ノズル本体には、前記吐出口の幅を調整可能な調整機構が設けられている
請求項１から８の何れか一項に記載のノズル。

【請求項10】

前記調整機構は、長尺の前記第二ノズル本体の長手方向に並ぶ複数の調整部材を含む
請求項９に記載のノズル。

【請求項11】

隣り合う２つの前記調整部材の間隔は、前記第二ノズル本体の長手方向における前記第二ノズル本体の端部側ほど狭い
請求項１０に記載のノズル。

【請求項12】

基板を搬送する基板搬送部と、
請求項１から１１の何れか一項に記載のノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから塗布液を塗布する塗布部と、を含む
塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ノズルおよび塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイ等の表示パネルを構成するガラス基板上には、配線、電極およびカラーフィルタ等の微細なパターンが形成されている。例えばこのようなパターンは、フォトリソグラフィ法等の方法によって形成される。フォトリソグラフィ法は、レジスト材料を基板に塗布する塗布工程、塗布後にレジスト材料で形成された膜（以下「レジスト膜」という。）を露光する露光工程、および露光工程の後にレジスト膜を現像する現像工程を含む。

【0003】

例えば、塗布工程では、塗布液を吐出するノズルを備えた塗布装置が用いられる。例えば、特許文献１には、供給孔から供給される塗布液を吐出方向に直交する左右方向（幅方向）の外側に広げるためのマニホールドを備えたノズルが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１４−１８８４３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、流路内を流動する塗布液内に気泡が混入した場合、塗膜に気泡に起因したスジムラが発生することがある。特に、塗布液として高粘度の液体を用いた場合、塗布液に含まれる気泡を除去することが困難となる。

【0006】

以上のような事情に鑑み、本発明は、流路内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することが可能なノズルを提供することを目的とする。加えて、このようなノズルを備えることで、スジムラの発生を抑え、高品質の塗膜を形成することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様に係るノズルは、塗布液を吐出する吐出口に連通し前記塗布液を流通させる流路が設けられた第一ノズル本体と、前記流路に連通し前記塗布液に含まれる気泡を排出させる脱気路が設けられ、かつ、前記第一ノズル本体と対向する第二ノズル本体と、を含むことを特徴とする。

【0008】

この構成によれば、流路が設けられた第一ノズル本体と対向する第二ノズル本体に脱気路が設けられることで、流路内の塗布液を脱気路に向けてスムーズに流通させることができる。したがって、流路内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することができる。加えて、脱気路の設定自由度の向上およびノズルのコンパクト化を図ることができる。加えて、流路および脱気路の形成領域が第一ノズル本体と第二ノズル本体とに分散されるため、ノズル全体の強度・剛性バランスを確保することができる。

【0009】

上記のノズルにおいて、前記第二ノズル本体には、前記流路に前記塗布液を供給させる供給路が設けられていてもよい。
この構成によれば、脱気路および供給路のそれぞれが第二ノズル本体に設けられることで、脱気路に接続される脱気配管および供給路に接続される供給配管のそれぞれをノズルの片側に集約することができる。したがって、脱気路および供給路のそれぞれを互いに異なるノズル本体に設けた場合と比較して、各種配管の配索を簡素化することができる。

【0010】

上記のノズルにおいて、前記供給路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の中央部に位置してもよい。
この構成によれば、供給路を長尺の第一ノズル本体の長手方向における第一ノズル本体の端部に配置した場合と比較して、塗布液を流路全域に充填しやすい。

【0011】

上記のノズルにおいて、前記流路は、前記供給路に連通し前記供給路から供給される前記塗布液を分散させる分散路を含み、前記脱気路は、前記分散路に連通していてもよい。
この構成によれば、供給路を経て分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することができる。

【0012】

上記のノズルにおいて、前記分散路は、前記供給路との連通部から長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の端部側に向かうにつれて上側に位置するように傾斜する傾斜部と、前記第一ノズル本体の長手方向における前記傾斜部の端部から下方に屈曲して延びる下方延出部と、によって画定され、前記脱気路は、前記傾斜部と前記下方延出部との屈曲部寄りに接続されていてもよい。
この構成によれば、分散路の内壁における最も高い位置が屈曲部の位置となるため、分散路内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は傾斜部と下方延出部との屈曲部に向けて浮力により浮上する。したがって、分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。

【0013】

上記のノズルにおいて、前記分散路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向に沿って直線状に形成され、前記脱気路は、前記第一ノズル本体の長手方向における前記分散路の端部に接続されていてもよい。
この構成によれば、分散路が直線状に形成されていることで、塗布液の流動が滞りなく円滑に行われるため、分散路内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は分散路の端部に向かう。したがって、分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。

【0014】

上記のノズルにおいて、前記分散路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の中心位置を基準として、前記第一ノズル本体の長手方向において対称な形状を有していてもよい。
この構成によれば、分散路内に対する塗布液の流動を第一ノズル本体の長手方向の両側で生じさせることができるため、気泡は分散路の両端部に向かう。したがって、分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡をより一層効果的に除去することができる。

【0015】

上記のノズルにおいて、前記第一ノズル本体および前記第二ノズル本体の前記吐出口とは反対側の面には、前記第一ノズル本体および前記第二ノズル本体を連結する連結部材が設けられていてもよい。
この構成によれば、塗布液の吐出の邪魔になることなく、ノズルを補強することができる。

【0016】

上記のノズルにおいて、前記第二ノズル本体には、前記吐出口の幅を調整可能な調整機構が設けられていてもよい。
この構成によれば、流路の邪魔になることなく、吐出口の幅を調整することができる。

【0017】

上記のノズルにおいて、前記調整機構は、長尺の前記第二ノズル本体の長手方向に並ぶ複数の調整部材を含んでいてもよい。
この構成によれば、長尺の第二ノズル本体の長手方向において局所的に吐出口の幅を調整することができる。

【0018】

上記のノズルにおいて、隣り合う２つの前記調整部材の間隔は、前記第二ノズル本体の長手方向における前記第二ノズル本体の端部側ほど狭くてもよい。
ところで、第一ノズル本体および第二ノズル本体を長手方向における端部同士で連結する場合、隣り合う２つの調整部材の間隔が第二ノズル本体の長手方向において等間隔であると、前記端部（連結部分）において吐出口の幅を調整することが困難となる可能性がある。これに対し、この構成によれば、隣り合う２つの調整部材の間隔が第二ノズル本体の長手方向における第二ノズル本体の端部側ほど狭いことで、第一ノズル本体および第二ノズル本体を長手方向における端部同士で連結する場合であっても、前記端部において吐出口の幅を容易に調整することができる。

【0019】

本発明の一態様に係る塗布装置は、基板を搬送する基板搬送部と、上記ノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから塗布液を塗布する塗布部と、を含むことを特徴とする。

【0020】

この構成によれば、上記ノズルを備えることで、スジムラの発生を抑え、高品質の塗膜を形成することが可能な塗布装置を提供することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、流路内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することが可能なノズルを提供することができる。加えて、このようなノズルを備えることで、スジムラの発生を抑え、高品質の塗膜を形成することが可能な塗布装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】第一実施形態に係る塗布装置の斜視図。

【図2】第一実施形態に係る塗布装置の正面図。

【図3】第一実施形態に係るノズルの分解斜視図。

【図4】第一実施形態に係るノズルの正面図。

【図5】図４のＶ−Ｖ断面を含む図。

【図6】第一実施形態に係るノズルの下面図。

【図7】第一実施形態に係るノズルの作用を説明するための図。

【図8】第二実施形態に係るノズルの分解斜視図。

【図9】第二実施形態に係るノズルの正面図。

【図10】図９のＸ−Ｘ断面を含む図。

【図11】第二実施形態に係るノズルの作用を説明するための図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。

【0024】

＜第一実施形態＞
＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１は、基板５に塗布液を塗布する装置である。例えば、基板５は、液晶パネルなどに用いられるガラス基板である。基板５は、矩形板状をなしている。塗布装置１は、基板５を搬送する基板搬送部２と、塗布液を塗布する塗布部３と、塗布部３を管理する管理部４と、を備える。

【0025】

＜基板搬送部＞
基板搬送部２は、Ｙ方向に長手を有する。基板搬送部２は、Ｙ方向に基板５を搬送する。Ｙ方向は、塗布装置１における基板搬送方向である。
基板搬送部２は、架台７、ステージ８および搬送機構９を備える。

【0026】

＜架台＞
架台７は、Ｙ方向に長手を有する。架台７は、ステージ８及び搬送機構９を支持する。例えば、架台７は、床面上に載置されている。
架台７は、Ｘ方向の中央に位置する架台本体７ａと、架台本体７ａの−Ｘ方向側に位置する第一架台側部７ｂと、架台本体７ａの＋Ｘ方向側に位置する第二架台側部７ｃと、を備える。

【0027】

架台本体７ａは、ステージ８を支持する。
第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃは、搬送機構９を支持する。第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれには、Ｙ方向に延在する一対の溝７ｄ，７ｅ（図２参照）が設けられている。

【0028】

図２に示すように、一対の溝７ｄ，７ｅは、Ｘ方向に並んで配置されている。以下、一対の溝７ｄ，７ｅのうちＸ方向内側に位置する溝７ｄを「内溝７ｄ」、Ｘ方向外側に位置する溝７ｅを「外溝７ｅ」ともいう。内溝７ｄは、外溝７ｅよりも上方に位置している。内溝７ｄは、外溝７ｅよりもステージ８寄りに位置している。

【0029】

＜搬送機構＞
搬送機構９は、基板５をＹ方向に搬送する。搬送機構９は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれの上部に一つずつ設けられている。搬送機構９は、ステージ８を挟んで一対設けられている。一対の搬送機構９は、ステージ８のＸ方向中央に対して線対称となっている。

【0030】

図１に示すように、搬送機構９は、スライダ９ａと、基板５を保持する基板保持部９ｂと、ステージ８の側方でＹ方向に延びるレール９ｃと、を備える。
例えば、スライダ９ａは、リニアモータ（不図示）を内蔵している。スライダ９ａは、リニアモータの駆動によって、レール９ｃに沿って移動するようになっている。

【0031】

図２に示すように、基板保持部９ｂは、基板５のＸ方向側の側縁部を片持ちで保持する。基板保持部９ｂは、基板５においてステージ８よりもＸ方向外側にはみ出した部分を保持する。
基板保持部９ｂは、スライダ９ａにおけるステージ８側の端部に設けられている。図１に示すように、基板保持部９ｂは、Ｙ方向に並んで複数（例えば本実施形態では４つ）設けられる。例えば、基板保持部９ｂには、基板５を吸着して保持する吸着パッド（不図示）が設けられていてもよい。

【0032】

レール９ｃは、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれにおけるステージ８側の上端部に設けられている。

【0033】

各搬送機構９は、それぞれ独立して基板５を搬送可能である。そのため、第一架台側部７ｂ側の搬送機構９と、第二架台側部７ｃ側の搬送機構９とによって、異なる基板５を保持することができる。これにより、各搬送機構９によって基板５を交互に搬送することができるため、スループット（例えば、単位時間当たりの基板の搬送速度）を向上することができる。
なお、上記基板５の半分程度の面積を有する基板を搬送する場合には、２つの搬送機構９で基板を１枚ずつ保持することができるため、２つの搬送機構９をＹ方向に並進させることによって、２枚の基板を同時に搬送することができる。

【0034】

＜塗布部＞
図１に示すように、塗布部３は、門型フレーム１０、ノズル５０、センサ１５、供給部２０および廃液部３０を備える。

【0035】

＜門型フレーム＞
図２に示すように、門型フレーム１０は、Ｚ方向に延びる柱状をなす一対の支柱部材１０ａと、Ｘ方向に延びて一対の支柱部材１０ａの間をわたす架橋部材１０ｂと、を備える。
各支柱部材１０ａは、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃにそれぞれ支持されている。

【0036】

架橋部材１０ｂのＸ方向両端部は、一対の支柱部材１０ａの上端部にそれぞれ接続されている。これにより、門型フレーム１０は、ステージ８をＸ方向に跨ぐように設けられている。架橋部材１０ｂは、支柱部材１０ａに対してＺ方向に昇降可能（図２中矢印ｕ方向に移動可能）とされている。例えば、架橋部材１０ｂには、一対の支柱部材１０ａに対して架橋部材１０ｂを上下移動可能なスライダが設けられていてもよい。

【0037】

門型フレーム１０は、フレーム移動機構１１に接続されている。フレーム移動機構１１は、Ｙ方向に延びるレール部材１２と、駆動機構１３と、を備える。
レール部材１２は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃの外溝７ｅ内に１つずつ設けられている。
駆動機構１３は、門型フレーム１０に接続されている。塗布部３は、駆動機構１３の駆動によって、レール部材１２に沿ってＹ方向（図１中矢印ｎ方向）に移動可能とされている。

【0038】

＜ノズル＞
図２に示すように、ノズル５０は、Ｘ方向（図中矢印ｖ方向）に長手を有する長尺状をなしている。ノズル５０は、スリットノズルである。ノズル５０は、門型フレーム１０の架橋部材１０ｂの下端部（−Ｚ方向側の端部）に着脱可能に取り付けられている。

【0039】

＜センサ＞
架橋部材１０ｂの下端部には、Ｘ方向に沿って複数（例えば本実施形態では３つ）のセンサ１５が設けられている。センサ１５は、ノズル先端５１ａと、ノズル先端５１ａに対向する対向面（例えばノズル５０の下方に配置された基板５の上面）との間の距離（Ｚ方向の間隔）を測定する。

【0040】

＜供給部＞
図１に示すように、供給部２０は、ノズル５０に塗布液を供給可能なポンプ２１と、ポンプ２１に塗布液を供給可能な供給源２２と、を備える。

【0041】

供給源２２は、塗布液を貯留する貯留タンク２２ａを備える。貯留タンク２２ａには、窒素ガス等の不活性ガスを導入可能な配管２４が接続されている。配管２４は、不図示のバルブを介して加圧源２３に接続されている。バルブの開閉制御によって、貯留タンク２２ａ内の圧力が調整される。供給源２２は、貯留タンク２２ａ内の圧力調整によって、所定量の塗布液をポンプ２１に向けて供給する。

【0042】

例えば、塗布液は、樹脂基板及び層間絶縁膜等を形成するための液状体を用いる。本実施形態において、塗布液は、１〜１０Ｐａ・ｓ程度の粘度を有するポリイミドを含む液状体を用いる。一般に、液晶表示装置に用いられるＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体は、０．０１Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する。したがって、ポリイミドを含む液状体は、ＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体と比較して高い粘度を有する。なお、塗布液として、ポリイミドを含む液状体以外の液状体を用いてもよい。例えば、塗布液として、フォトレジスト等の薬液（液体）を用いてもよい。

【0043】

供給部２０は、塗布液の供給路（流路）を形成する複数の配管２４〜２６を備える。上述の通り、塗布液は、供給源２２からノズル５０に向けて流れる。以下、塗布液が流れる方向において、供給源２２側を「上流側」、ノズル５０側を「下流側」ということがある。供給源２２は、上流側から順に、配管２５、ポンプ２１および供給配管２６を介してノズル５０に接続されている。

【0044】

＜廃液部＞
廃液部３０は、ノズル５０からの廃液を貯留する第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２を備える。第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２は、供給部２０を挟んでノズル５０の長手方向に離反している。第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２のそれぞれには、塗布液の廃液路（流路）を形成する第一廃液配管３３および第二廃液配管３４が接続されている。ノズル５０からの廃液は、第一廃液配管３３および第二廃液配管３４のそれぞれを通じて第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２のそれぞれに向けて流れる。

【0045】

＜管理部＞
管理部４は、基板５に吐出される塗布液の吐出量が一定になるようにノズル５０を管理する。図１に示すように、管理部４は、塗布部３よりも−Ｙ方向側に設けられている。管理部４は、予備吐出機構４１、ディップ槽４２、ノズル洗浄装置４３、収容部４４および保持部材４５を備える。

【0046】

予備吐出機構４１は、塗布液を予備的に吐出する。例えば、予備吐出機構４１は、塗布部３が塗布処理領域に配置される状態で、ノズル５０に最も近くなる位置に設けられている。
ディップ槽４２の内部には、シンナーなどの溶剤が貯留されている。

【0047】

ノズル洗浄装置４３は、ノズル５０の吐出口６０（図２参照）近傍をリンス洗浄する。ノズル洗浄装置４３は、Ｘ方向に移動する洗浄機構と、洗浄機構を移動させる移動機構（何れも不図示）と、を備える。

【0048】

収容部４４は、予備吐出機構４１、ディップ槽４２およびノズル洗浄装置４３を収容している。
図２に示すように、収容部４４のＸ方向の長さは、門型フレーム１０の支柱部材１０ａ間の距離よりも小さい。門型フレーム１０は、収容部４４の上方で、収容部４４を跨いでＹ方向に移動可能とされている。門型フレーム１０を収容部４４の上方に移動した状態で、ノズル５０は、収容部４４内の予備吐出機構４１、ディップ槽４２及びノズル洗浄装置４３（図１参照）に接近可能である。

【0049】

図２に示すように、保持部材４５は、収容部４４のＸ方向両端部を下方から支持している。
保持部材４５は、管理部移動機構４６に接続されている。管理部移動機構４６は、Ｙ方向に延びるレール部材４７と、駆動機構４８と、を備える。
レール部材４７は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃの内溝７ｄ内に１つずつ設けられている。
駆動機構４８は、保持部材４５に接続されている。管理部４は、駆動機構４８の駆動によって、レール部材４７に沿ってＹ方向（図１中矢印ｍ方向）に移動可能とされている。

【0050】

＜ノズル詳細＞
図４に示すように、ノズル５０は、長尺のノズル本体５１と、ノズル本体５１の上端に設けられた連結部材５２と、ノズル本体５１の長手方向（以下「ノズル長手方向」ともいう。）の両端に設けられた一対のサイドプレート５３，５４と、を備える。図１および図２においては、連結部材５２を簡略化して図示している。

【0051】

図５の断面視で、ノズル本体５１は、Ｙ方向中央ほど下方に位置するように突出する下方突出部を備える。下方突出部の下端（以下「ノズル先端５１ａ」という。）には、塗布液を吐出する吐出口６０が形成されている。吐出口６０は、ノズル長手方向に延びている。

【0052】

図５に示すように、ノズル本体５１には、塗布液を吐出する吐出口６０と、吐出口６０に連通する流路６１と、吐出口６０と流路６１とを接続する吐出用接続路６９と、流路６１に連通する脱気路６２（図４参照）と、流路６１に塗布液を供給させる供給路６３と、吐出口６０の幅を調整するための凹溝７２と、が設けられている。

【0053】

図５に示すように、ノズル本体５１は、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を備える。第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６は、シム（不図示）を挟んでＹ方向に対向して配置されている。ノズル本体５１は、第一ノズル本体５５の面５５ｆ（Ｙ方向内側面）と、第二ノズル本体５６の面５６ｆ（Ｙ方向内側面）と、を対向させ、第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６との間にシム（不図示）を挟持した状態で組み立てられている。

【0054】

＜第一ノズル本体＞
図３に示すように、第一ノズル本体５５は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第一ノズル本体５５の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第一ノズル本体５５の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。

【0055】

例えば、第一ノズル本体５５は、ステンレス鋼などの金属材料で形成されている。図５に示すように、第一ノズル本体５５において、第二ノズル本体５６と対向する面５５ｆ（Ｙ方向内側面）には、ノズル５０において流路６１を構成する凹部５５ａが設けられている。すなわち、流路６１は、第一ノズル本体５５に設けられている。

【0056】

図４に示すように、流路６１は、供給路６３に連通し、塗布液が供給される入口部６１ａと、入口部６１ａに供給される塗布液を分散させる分散路６４と、を含む。
入口部６１ａは、供給路６３と分散路６４とを連通する連通部である。入口部６１ａは、ノズル本体５１の上下中央部においてノズル長手方向の中心位置に配置されている。

【0057】

図４に示すように、分散路６４は、入口部６１ａからノズル長手方向における第一ノズル本体５５の端部側に向かうにつれて上側に位置するように傾斜する傾斜部６５と、ノズル長手方向における傾斜部６５の端部から下方に屈曲して延びる下方延出部６６と、によって画定されている。
分散路６４は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、ノズル長手方向において対称な形状を有する。

【0058】

＜第二ノズル本体＞
図３に示すように、第二ノズル本体５６は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第二ノズル本体５６の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第二ノズル本体５６の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。

【0059】

例えば、第二ノズル本体５６は、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。第二ノズル本体５６は、第一ノズル本体５５と同じ材料を用いて形成されている。第二ノズル本体５６において、第一ノズル本体５５と対向する面５６ｆ（Ｙ方向内側面）は、平面状となっている。第二ノズル本体５６には、ノズル５０において供給路６３および脱気路６２を構成する複数（例えば本実施形態では３つ）の貫通孔５６ａが設けられている。すなわち、供給路６３および脱気路６２は、第二ノズル本体５６に設けられている。

【0060】

図５に示すように、供給路６３は、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図４に示すように、供給路６３は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に位置している。供給路６３には、供給配管２６（図１参照）が接続されている。供給路６３は、第一ノズル本体５５の入口部６１ａに連通している。

【0061】

図４に示すように、脱気路６２は、ノズル長手方向に離反して一対設けられている。一対の脱気路６２は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の両端部に位置している。以下、一対の脱気路６２のうちノズル長手方向において第二ノズル本体５６の第一端部に位置する脱気路６２ａを「第一脱気路６２ａ」、第二ノズル本体５６の第二端部に位置する脱気路６２ｂを「第二脱気路６２ｂ」ともいう。

【0062】

図３に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図４に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第一ノズル本体５５の分散路６４に連通している。第一脱気路６２ａは、第一ノズル本体５５の第一端部における傾斜部６５と下方延出部６６との屈曲部６７寄りに接続されている。第二脱気路６２ｂは、第一ノズル本体５５の第二端部における傾斜部６５と下方延出部６６との屈曲部６７寄りに接続されている。第一脱気路６２ａには、第一廃液配管３３（図１参照）が接続されている。第二脱気路６２ｂには、第二廃液配管３４（図１参照）が接続されている。

【0063】

図３に示すように、第二ノズル本体５６において、供給路６３および脱気路６２の下方には、凹溝７２が設けられている。図５に示すように、凹溝７２は、第二ノズル本体５６のＹ方向外側面からＹ方向内側に向けて窪んでいる。図３に示すように、凹溝７２は、ノズル長手方向に延在する直線状をなしている。

【0064】

＜ノズル本体の内部構造＞
図５の断面視で、ノズル本体５１においては、第一ノズル本体５５の凹部５５ａと第二ノズル本体５６の面５６ｆとで囲まれた空間が流路６１となる。図５の断面視で、第一ノズル本体５５の面５５ｆと第二ノズル本体５６の面５６ｆとの間の隙間であって、流路６１と吐出口６０との間に形成される隙間は、吐出用接続路６９となる。

【0065】

吐出口６０は、第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６とシム（不図示）とが組み合わされた状態において流路６１の−Ｚ側端部に形成された開口である。吐出口６０は、ノズル長手方向に沿ってスリット状に形成されている。
例えば、ノズル長手方向における吐出口６０の寸法は、基板５（図２参照）のＸ方向の寸法よりも小さくてもよい。これにより、基板５の周辺領域に塗布液が塗布されることを抑制することができる。

【0066】

図５に示すように、ノズル本体５１においては、流路６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されている。ノズル本体５１の内部には、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２に鋭角状をなす鋭角部５５ｂが設けられている。鋭角部５５ｂは、流路６１内の塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側へと供給する。

【0067】

鋭角部５５ｂは、第一ノズル本体５５のうち吐出用接続路６９を構成する面５５ｆと流路６１の内壁面の一部とで構成されている。例えば、鋭角部５５ｂの角度Ａ１は、１５°以上９０°以下の範囲に設定するのが好ましい。これにより、鋭角部５５ｂにおいて塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側に送り込むことが可能となる。塗布液の切り出しを効果的に行う観点からは、鋭角部５５ｂの角度Ａ１は、２０°以上４０°以下の範囲に設定するのがより好ましい。

【0068】

＜連結部材＞
図５に示すように、連結部材５２は、ノズル本体５１の吐出口６０とは反対側の面（上面）に設けられている。連結部材５２は、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結する。図４に示すように、連結部材５２は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。例えば、連結部材５２は、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。連結部材５２は、ノズル本体５１と同じ材料を用いて形成されている。

【0069】

連結部材５２は、ノズル本体５１の上面の外形と同一の外形の矩形板状をなす天板である。図３に示すように、連結部材５２の四隅のそれぞれには、連結部材５２を厚み方向に貫通する貫通孔５２ｈが設けられている。第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６のそれぞれの上面の隅部には、各貫通孔５２ｈに対応する位置に雌ネジ部５５ｍ，５６ｍが設けられている。例えば、連結部材５２の各貫通孔５２ｈにボルト（不図示）を挿通して第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６の各雌ネジ部５５ｍ，５６ｍに螺着することによって、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結することができる。連結部材５２の上面には、供給部２０および廃液部３０が設けられている（図２参照）。

【0070】

＜サイドプレート＞
図４に示すように、一対のサイドプレート５３，５４は、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部に位置している。以下、一対のサイドプレート５３，５４のうちノズル長手方向においてノズル本体５１の第一端部に位置するサイドプレート５３を「第一サイドプレート５３」、ノズル本体５１の第二端部に位置するサイドプレート５４を「第二サイドプレート５４」ともいう。

【0071】

図３に示すように、第一サイドプレート５３および第二サイドプレート５４のそれぞれは、ノズル本体５１をＹ方向に見た断面の輪郭形状と同一の形状を有している。例えば、第一サイドプレート５３および第二サイドプレート５４のそれぞれは、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。

【0072】

第一サイドプレート５３は、流路６１および凹溝７２の第一端部側を閉じる板部材である。
第二サイドプレート５４は、流路６１および凹溝７２の第二端部側を閉じる板部材である。

【0073】

＜調整機構＞
図６に示すように、第二ノズル本体５６には、吐出口６０の幅を調整可能な調整機構７０が設けられている。図６においては、ノズル本体５１における第二サイドプレート５４の側の端部を示す。図示はしないが、ノズル本体５１における第一サイドプレート５３の側の端部においても、第二サイドプレート５４の側の端部と同一の構成を有するため、説明を省略する。

【0074】

調整機構７０は、ノズル長手方向に並ぶ複数の調整部材７１を備える。図５に示すように、各調整部材７１は、Ｚ方向で凹溝７２と重なる位置に位置されている。各調整部材７１は、供給路６３および脱気路６２（図４参照）を避けた位置に配置されている。例えば、調整部材７１は、調整ネジである。

【0075】

例えば、調整部材７１を回動させることより、凹溝７２の側壁面を押圧して吐出口６０の幅を調整することができる。図６に示すように、隣り合う２つの調整部材７１の間隔は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど狭くなっている。すなわち、複数の調整部材７１は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど密になるように配置されている。複数の調整部材７１は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の両端部以外の部分（ノズル長手方向中央寄りの部分）において等間隔に配置されている。

【0076】

＜塗布動作＞
塗布装置１の塗布動作の一例について説明する。
図１に示すように、まず、塗布装置１の塗布動作においては、基板５をステージ８に搬入する。
次に、搬送機構９を用いて基板５を搬送しつつ塗布液を塗布する。
そして、塗布液を塗布した基板５を搬出する。このような動作を、一対の搬送機構９を用いて交互に行う。

【0077】

例えば、ステージ８に搬入された基板５を基板保持部９ｂで保持した後、スライダ９ａをレール９ｃに沿ってＹ方向に移動させる。基板５は、スライダ９ａの移動に伴ってＹ方向に移動する。

【0078】

基板５の搬送方向先端がノズル５０の吐出口６０（図２参照）の位置に到達したとき、ノズル５０の吐出口６０から基板５へ向けて塗布液を吐出する。塗布液の吐出は、ノズル５０の位置を固定させた状態で、スライダ９ａによって基板５を搬送させることで、吐出口６０と基板５の上面との相対位置を変更しながら行う。

【0079】

＜ノズルの作用＞
図７は、第一実施形態に係るノズル５０の作用を説明するための図である。図７においては、連結部材５２、供給部２０および廃液部３０などの図示を省略する。
図１に示すポンプ２１を用い、ノズル５０に接続された供給配管２６を介して、ノズル５０に塗布液が供給される。図７に示すように、塗布液は、供給配管２６（図１参照）から供給路６３および入口部６１ａを経て流路６１内に供給される。流路６１内に供給された塗布液は、ノズル長手方向における流路６１の両端端側に素早く充填される。

【0080】

塗布液は、ポンプ２１（図１参照）により加圧されているため、吐出用接続路６９に向けて押し出される。図７では、吐出用接続路６９に向けて押し出される塗布液を符号ＬＡで示し、脱気路６２に向けて押し出される塗布液を符号ＬＢで示している。

【0081】

このとき、ノズル５０は、図５の断面視で、流路６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されているため、流路６１内が加圧されないと塗布液が吐出用接続路６９の中に流入し難くなる。そのため、流路６１内に供給された塗布液がすぐに吐出用接続路６９に流入することなく、まず流路６１の全域にわたって充填され、内圧が高まったうえで吐出用接続路６９に流入することとなる。したがって、ノズル長手方向における吐出口６０の全域において塗布液の吐出量に差が出にくく、ムラなく塗布液を塗布することができる。

【0082】

ところで、本実施形態で用いる塗布液は、チキソトロピー（thixotropy）性を有している。そのため、塗布液に対してずり（ひずみ）をかけると、塗布液の高分子鎖がのびて、からまっていた高分子鎖がほどけることで抵抗（粘性）が低下する。
一般的にずりを大きくすると、高分子鎖が各所で切断（構造破壊）され、粘性がさらに低下してしまう。一度、切断された高分子鎖はなかなか元に戻らないため、ずりを除去しても粘性はしばらく低下したままとなってしまう。特に塗布液として粘度が高い塗布液を用いると、ずりによって塗布量にバラつきが生じるといった問題が発生する。

【0083】

これに対し、本実施形態のノズル５０は、図５に示したように、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２に鋭角部５５ｂを備える。鋭角部５５ｂは塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側へと送り込む。鋭角部５５ｂにより切り出された塗布液には上述のずりが与えられないため、ずりを塗布液に与えることなく塗布を行うことが可能である。つまり、本実施形態のノズル５０においては、塗布液のチキソトロピー性を考慮する必要がない。

【0084】

さらに、上述のように、ノズル５０においては、流路６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されており、流路６１内に充填された塗布液の圧力が高まりやすい。高まった圧力は、塗布液を好適に脱気路６２に向けて押し出すため、上述の鋭角部５５ｂによる切り出し効果を得やすくすることができる。また、上述した高まった圧力は、図７に示すように塗布液ＬＢと共に気泡の排出を促すことができる。

【0085】

塗布液ＬＢは、このように脱気路６２内を流動し、廃液配管３３，３４を介して廃液ボトル３１，３２に排出される（図１参照）。廃液配管３３，３４は、塗布液ＬＢに含まれる気泡を流通させる脱気配管としても機能する。

【0086】

一方、流路６１内に塗布液を供給するポンプ２１（図１参照）が、流路６１内の塗布液を加圧し、この加圧によって塗布液が吐出用接続路６９に押し出される。吐出用接続路６９に押し出された塗布液ＬＡは、鋭角部５５ｂにより切り出されることで上述のずりが与えられない状態で吐出口６０から吐出される。したがって、本実施形態によれば、塗布液ＬＡのチキソトロピー性を考慮せずに、ムラの発生を抑えた塗布を行うことができる。

【0087】

上述のように塗布液に含まれる気泡は、脱気路６２を介して外部に排出されるため、吐出口６０からは、好適に気泡が除かれた塗布液ＬＡが吐出される。

【0088】

ノズル５０においては、供給路６３および脱気路６２がそれぞれ直線状に形成されているため、以上のような塗布液ＬＡ，ＬＢの流動が滞りなく円滑に行われる。

【0089】

図１に示すように、ノズル５０から吐出される塗布液は、基板５の移動に伴い、基板５上に塗布される。すなわち、基板５が塗布を吐出する吐出口６０（図２参照）の下を通過することにより、基板５の所定の領域に塗布膜が形成される。

【0090】

以上のように、本実施形態のノズル５０は、塗布液を吐出する吐出口６０に連通し塗布液を流通させる流路６１が設けられた第一ノズル本体５５と、流路６１に連通し塗布液に含まれる気泡を排出させる脱気路６２が設けられ、かつ、第一ノズル本体５５と対向する第二ノズル本体５６と、を含む。

【0091】

この構成によれば、流路６１が設けられた第一ノズル本体５５と対向する第二ノズル本体５６に脱気路６２が設けられることで、流路６１内の塗布液を脱気路６２に向けてスムーズに流通させることができる。したがって、流路６１内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することができる。加えて、脱気路６２の設定自由度の向上およびノズル５０のコンパクト化を図ることができる。加えて、流路６１および脱気路６２の形成領域が第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６とに分散されるため、ノズル５０全体の強度・剛性バランスを確保することができる。

【0092】

また、第二ノズル本体５６には、流路６１に塗布液を供給させる供給路６３が設けられていることで、以下の効果を奏する。
この構成によれば、脱気路６２および供給路６３のそれぞれが第二ノズル本体５６に設けられることで、脱気路６２に接続される廃液配管３３，３４および供給路６３に接続される供給配管２６のそれぞれをノズル５０の片側に集約することができる。したがって、脱気路６２および供給路６３のそれぞれを互いに異なるノズル本体に設けた場合と比較して、各種配管の配索を簡素化することができる。

【0093】

また、供給路６３は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に位置していることで、供給路６３をノズル長手方向における第一ノズル本体５５の端部に配置した場合と比較して、塗布液を流路６１全域に充填しやすい。

【0094】

また、流路６１は、供給路６３に連通し供給路６３から供給される塗布液を分散させる分散路６４を含み、脱気路６２は、分散路６４に連通していることで、供給路６３を経て分散路６４内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することができる。

【0095】

また、分散路６４は、供給路６３との連通部からノズル長手方向における第一ノズル本体５５の端部側に向かうにつれて上側に位置するように傾斜する傾斜部６５と、ノズル長手方向における傾斜部６５の端部から下方に屈曲して延びる下方延出部６６と、によって画定され、脱気路６２は、傾斜部６５と下方延出部６６との屈曲部６７寄りに接続されていることで、以下の効果を奏する。
この構成によれば、分散路６４の内壁における最も高い位置が屈曲部６７の位置となるため、分散路６４内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は傾斜部６５と下方延出部６６との屈曲部６７に向けて浮力により浮上する。したがって、分散路６４内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。

【0096】

また、分散路６４は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、第一ノズル本体５５の長手方向において対称な形状を有していることで、以下の効果を奏する。
この構成によれば、分散路６４内に対する塗布液の流動をノズル長手方向の両側で生じさせることができるため、気泡は分散路６４の両端部に向かう。したがって、分散路６４内を流動する塗布液に含まれる気泡をより一層効果的に除去することができる。

【0097】

また、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６の吐出口６０とは反対側の面には、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結する連結部材５２が設けられていることで、塗布液の吐出の邪魔になることなく、ノズル５０を補強することができる。
加えて、連結部材５２は、ノズル本体５１の上面の外形と同一の外形の矩形板状をなす天板であることで、以下の効果を奏する。連結部材５２の上面を供給部２０および廃液部３０の設置スペースとして活用することができる。
ところで、図２に示すように、ノズル５０の上側に連結部材５２が設けられ、かつ、ノズル５０の一面側（−Ｙ方向側）に架橋部材１０ｂが設けられていると、各種配管の引き回しが複雑化する可能性がある。これに対し、この構成によれば、脱気路６２および供給路６３のそれぞれが第二ノズル本体５６に設けられることで、脱気路６２に接続される廃液配管３３，３４および供給路６３に接続される供給配管２６のそれぞれをノズル５０の他面側（＋Ｙ方向側）に集約することができる。したがって、各種配管の引き回しを簡素化することができる。加えて、連結部材５２の上面の設置スペースから延びる各種配管の全長の短縮化および拡径化を図ることができる。加えて、連結部材５２に各種配管を配索するための孔等を設ける必要がないため、連結部材５２の強度・剛性を確保することができる。

【0098】

また、第二ノズル本体５６には、吐出口６０の幅を調整可能な調整機構７０が設けられていることで、流路６１の邪魔になることなく、吐出口６０の幅を調整することができる。

【0099】

また、調整機構７０は、ノズル長手方向に並ぶ複数の調整部材７１を含んでいることで、ノズル長手方向において局所的に吐出口６０の幅を調整することができる。

【0100】

また、隣り合う２つの調整部材７１の間隔は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど狭いことで、以下の効果を奏する。
ところで、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６をノズル長手方向における端部同士で連結する場合、隣り合う２つの調整部材７１の間隔が第二ノズル本体５６の長手方向において等間隔であると、前記端部（連結部分）において吐出口６０の幅を調整することが困難となる可能性がある。これに対し、この構成によれば、隣り合う２つの調整部材７１の間隔がノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど狭いことで、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を長手方向における端部同士で連結する場合であっても、前記端部において吐出口６０の幅を容易に調整することができる。

【0101】

本実施形態の塗布装置１は、基板５を搬送する基板搬送部２と、上記ノズル５０を備え、搬送される基板５にノズル５０から塗布液を塗布する塗布部３と、を含む。

【0102】

この構成によれば、上記ノズル５０を備えることで、スジムラの発生を抑え、高品質の塗膜を形成することが可能な塗布装置１を提供することができる。

【0103】

＜第二実施形態＞
第二実施形態は、塗布装置におけるノズルの構造が第一実施形態と異なる。第二実施形態において、第一実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

【0104】

＜ノズル詳細＞
図９に示すように、第二実施形態に係るノズル２５０は、長尺のノズル本体２５１と、ノズル本体２５１の上端に設けられた連結部材５２と、ノズル長手方向の両端に設けられた一対のサイドプレート５３，５４と、を備える。

【0105】

図１０に示すように、ノズル本体２５１には、塗布液を吐出する吐出口６０と、吐出口６０に連通する流路２６１と、吐出口６０と流路２６１とを接続する吐出用接続路６９と、流路２６１に連通する脱気路６２（図９参照）と、流路２６１に塗布液を供給させる供給路６３と、吐出口６０の幅を調整するための凹溝７２と、が設けられている。

【0106】

第一ノズル本体５５において、第二ノズル本体５６と対向する面５５ｆ（Ｙ方向内側面）には、ノズル２５０において流路２６１を構成する凹部２５５ａが設けられている。すなわち、流路２６１は、第一ノズル本体５５に設けられている。

【0107】

図９に示すように、流路２６１は、供給路６３に連通し、供給路６３から供給される塗布液を分散させる分散路２６４を含む。
分散路２６４は、ノズル長手方向に沿って直線状に形成されている。分散路２６４は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、ノズル長手方向において対称な形状を有する。

【0108】

図８に示すように、第二ノズル本体５６において、第一ノズル本体５５と対向する面５６ｆ（Ｙ方向内側面）は、平面状となっている。第二ノズル本体５６には、ノズル２５０において供給路６３および脱気路６２を構成する複数（例えば本実施形態では３つ）の貫通孔５６ａが設けられている。すなわち、供給路６３および脱気路６２は、第二ノズル本体５６に設けられている。

【0109】

図１０に示すように、供給路６３は、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図９に示すように、供給路６３は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に位置している。供給路６３は、第一ノズル本体５５の分散路２６４の長手方向中央部に連通している。

【0110】

図８に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第一ノズル本体５５の分散路２６４の端部に連通している。第一脱気路６２ａは、第一ノズル本体５５の第一端部における分散路２６４に接続されている。第二脱気路６２ｂは、第一ノズル本体５５の第二端部における分散路２６４に接続されている。

【0111】

ノズル本体２５１においては、流路２６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路２６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されている。ノズル本体２５１の内部には、吐出用接続路６９と流路２６１との接続位置Ｐ２に鋭角状をなす鋭角部５５ｂが設けられている。鋭角部５５ｂは、流路２６１内の塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側へと供給する。

【0112】

＜ノズルの作用＞
図１１は、第二実施形態に係るノズル２５０の作用を説明するための図である。図１１においては、連結部材５２、供給部２０および廃液部３０などの図示を省略する。
図１に示すポンプ２１を用い、ノズル２５０に接続された供給配管２６を介して、ノズル２５０に塗布液が供給される。図１１に示すように、塗布液は、供給配管２６（図１参照）から供給路６３を経て流路２６１内に供給される。流路２６１内に供給された塗布液は、ノズル長手方向における流路２６１の両端端側に素早く充填される。

【0113】

塗布液は、ポンプ２１（図１参照）により加圧されているため、吐出用接続路６９に向けて押し出される。図１１では、吐出用接続路６９に向けて押し出される塗布液を符号ＬＡで示し、脱気路６２に向けて押し出される塗布液を符号ＬＢで示している。

【0114】

このとき、ノズル２５０は、図１０の断面図で、流路２６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路２６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されているため、流路２６１内が加圧されないと塗布液が吐出用接続路６９の中に流入し難くなる。そのため、流路２６１内に供給された塗布液がすぐに吐出用接続路６９に流入することなく、まず流路２６１の全域にわたって充填され、内圧が高まったうえで吐出用接続路６９に流入することとなる。したがって、ノズル長手方向における吐出口６０の全域において塗布液の吐出量に差が出にくく、ムラなく塗布液を塗布することができる。

【0115】

本実施形態のノズル２５０は、図１０に示したように、吐出用接続路６９と流路２６１との接続位置Ｐ２に鋭角部５５ｂを備えるため、ずりを塗布液に与えることなく塗布を行うことが可能である。つまり、本実施形態のノズル２５０においても、塗布液のチキソトロピー性を考慮する必要がない。

【0116】

さらに、上述のように、ノズル２５０においては、流路２６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路２６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されており、流路２６１内に充填された塗布液の圧力が高まりやすい。高まった圧力は、塗布液を好適に脱気路６２に向けて押し出すため、上述の鋭角部５５ｂによる切り出し効果を得やすくすることができる。また、上述した高まった圧力は、図１１に示すように塗布液ＬＢと共に気泡の排出を促すことができる。

【0117】

塗布液ＬＢは、このように脱気路６２内を流動し、廃液配管３３，３４を介して廃液ボトル３１，３２に排出される（図１参照）。廃液配管３３，３４は、塗布液ＬＢに含まれる気泡を流通させる脱気配管としても機能する。

【0118】

一方、流路２６１内に塗布液Ｌを供給するポンプ２１（図１参照）が、流路２６１内の塗布液を加圧し、この加圧によって塗布液が吐出用接続路６９に押し出される。吐出用接続路６９に押し出された塗布液ＬＡは、鋭角部５５ｂにより切り出されることで上述のずりが与えられない状態で吐出口６０から吐出される。したがって、本実施形態によれば、塗布液ＬＡのチキソトロピー性を考慮せずに、ムラの発生を抑えた塗布を行うことができる。

【0119】

上述のように塗布液に含まれる気泡は、脱気路６２を介して外部に排出されるため、吐出口６０からは、好適に気泡が除かれた塗布液ＬＡが吐出される。

【0120】

ノズル２５０においては、供給路６３および脱気路６２がそれぞれ直線状に形成されているため、以上のような塗布液ＬＡ，ＬＢの流動が滞りなく円滑に行われる。

【0121】

以上のように、本実施形態によれば、分散路２６４は、ノズル長手方向に沿って直線状に形成され、脱気路６２は、ノズル長手方向における分散路２６４の端部に接続されていることで、以下の効果を奏する。
この構成によれば、分散路２６４が直線状に形成されていることで、塗布液の流動が滞りなく円滑に行われるため、分散路２６４内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は分散路２６４の端部に向かう。したがって、分散路２６４内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。

【0122】

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、供給路６３をノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に配置した例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、供給路６３をノズル長手方向における第一ノズル本体５５の端部に配置してもよい。

【0123】

上記実施形態においては、分散路６４がノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、第一ノズル本体５５の長手方向において対称な形状を有している例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、分散路６４がノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、第一ノズル本体５５の長手方向において非対称な形状を有していてもよい。

【0124】

上記実施形態においては、ノズル本体５１の上面に連結部材５２が設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル本体５１の上面に連結部材５２が設けられていなくてもよい。例えば、ノズル本体５１の上面を供給部２０および廃液部３０の設置スペースとして活用してもよい。

【0125】

上記実施形態においては、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部に一対のサイドプレート５３，５４が設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部にサイドプレートが設けられていなくてもよい。

【0126】

上記実施形態においては、第二ノズル本体５６に吐出口６０の幅を調整可能な調整機構７０を設けた例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二ノズル本体５６に調整機構７０が設けられていなくてもよい。例えば、調整機構７０は、第一ノズル本体５５に設けられていてもよい。例えば、厚みの異なる複数のシムを用意しておき、シムを取り替えることで、吐出口６０の幅を調整してもよい。

【0127】

上記実施形態においては、架橋部材１０ｂには、一対の支柱部材１０ａに対して架橋部材１０ｂを上下移動可能なスライダが設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ステージ８には、基板６を昇降可能な昇降ピンが設けられていていてもよい。

【0128】

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

【符号の説明】

【0129】

１…塗布装置 ２…基板搬送部 ３…塗布部 ５…基板 ５０，２５０…ノズル ５２…連結部材 ５５…第一ノズル本体 ５６…第二ノズル本体 ６０…吐出口 ６１，２６１…流路 ６２…脱気路 ６３…供給路 ６４，２６４…分散路 ６５…傾斜部 ６６…下方延出部 ６７…屈曲部 ７０…調整機構 ７１…調整部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】