特許6986947基板処理装置、温度制御方法及び温度制御プログラム

発明の名称　基板処理装置、温度制御方法及び温度制御プログラム

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 36 位（601件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（798件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6986947

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6986947

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