特許6987184基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 180 位（62件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 250 位（40件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6987184

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6987184

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