特許6987215エピタキシャル堆積プロセスのための注入アセンブリ

発明の名称　エピタキシャル堆積プロセスのための注入アセンブリ

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（235件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6987215

公報発行日　2021年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6987215

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