特許6989623金属シリサイドの選択的堆積

発明の名称　金属シリサイドの選択的堆積

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（531件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 35 位（521件）（共同出願を含む）

出願人　ザ　リージェンツ　オブ　ザ　ユニバーシティ　オブ　カリフォルニア　（識別番号 506115514）

　　　　特許公開件数ランキング 322 位（121件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 336 位（80件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6989623

公報発行日　2022年1月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6989623

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