特開 2022-107989 検査装置及びテープ拡張装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022107989

(43)【公開日】2022-07-25

(54)【発明の名称】検査装置及びテープ拡張装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20220715BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 X

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021002743

(22)【出願日】2021-01-12

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】川口 吉洋

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA31

5F063CB06

5F063CB29

5F063DD67

5F063DD73

5F063DE32

(57)【要約】

【課題】隣接するチップの間隔を容易に確認できる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、テープに貼付されたワークピースを囲むようにテープに貼付された環状のフレームを保持するテーブルと、フレーム及びテープを介してテーブルに保持されたワークピースの第１面又は第１面とは反対側の第２面に光を照射する光源と、第１面と第２面とのうちの光源により光が照射されていない一方を撮像して画像を生成するカメラと、カメラで生成された画像に写る２つの隣接するチップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、閾値で分けられる輝度の区分に応じて画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、閾値を変更して閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含む。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面側がテープに貼付された状態の板状のワークピースを分割予定ラインに沿って分割することで得られる２つの隣接するチップの間隔を確認する際に用いられる検査装置であって、
該ワークピースを囲むように該テープに貼付された環状のフレームを保持するテーブルと、
該フレーム及び該テープを介して該テーブルに保持された該ワークピースの該第１面又は該第１面とは反対側の第２面に光を照射する光源と、
該第１面と該第２面とのうちの該光源により光が照射されていない一方を撮像して画像を生成するカメラと、
該カメラで生成された画像に写る２つの隣接する該チップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、
該閾値で分けられる該輝度の区分に応じて該画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、
該評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、
該閾値を変更して該閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含む検査装置。

【請求項2】

該閾値変更部によって変更された該閾値が該閾値記憶部に記憶された場合に、
該評価画像生成部は、変更された該閾値に対応する該評価画像を再び生成し、
該画像表示部は、該評価画像生成部で再び生成された該評価画像を該表示装置に表示させる請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

該閾値変更部は、該表示装置に表示されるスライダーのつまみ部の位置に応じて該閾値を変更する請求項１又は請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれかに記載の検査装置と、
該テーブルに該フレームが保持された状態で該テープを拡張するテープ拡張ユニットと、を含むテープ拡張装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状のワークピースを分割して得られるチップの間隔を確認する際に用いられる検査装置、及びこの検査装置を含むテープ拡張装置に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、各種の機能を持つデバイスを備えたデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコンやサファイア等の材料でなるウェーハを分割予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した上で、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することにより得られる。

【0003】

ウェーハのような板状のワークピースを複数のチップへと分割する際には、例えば、このワークピースを透過する波長のレーザービームを分割予定ラインに集光させて、ワークピースを分割予定ラインで改質する（例えば、特許文献１参照）。その後、外部からワークピースに力を加えることで、改質されて脆くなった分割予定ラインに対応する領域を境にワークピースが複数のチップへと分割される。

【0004】

ところで、上述の方法でワークピースを分割する前には、力を加えることによって拡張する性質（拡張性）を持つテープをワークピースに貼付しておくのが一般的である。予めワークピースにテープを貼付しておくことで、ワークピースを分割した後に複数のチップがテープで保持された状態となるので、ワークピース（複数のチップ）を取り扱い易くなる。また、テープを拡張させる向きの力（張力）をテープに加えることで、隣接するチップの間に隙間を形成することもできる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００２－１９２３７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、テープに加わる張力の大きさをテープ内の全ての領域において一定にするのは容易でない。したがって、隣接するチップの間に形成される隙間の大きさは、必ずしもワークピースの全体で等しくならない。例えば、隣接するチップの隙間が小さいと、搬送の際にチップ同士が接触して破損したり、テープからチップを適切にピックアップできなくなったりする。

【0007】

よって、本発明の目的は、隣接するチップの間隔を容易に確認できる検査装置、及びこの検査装置を含むテープ拡張装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一側面によれば、第１面側がテープに貼付された状態の板状のワークピースを分割予定ラインに沿って分割することで得られる２つの隣接するチップの間隔を確認する際に用いられる検査装置であって、該ワークピースを囲むように該テープに貼付された環状のフレームを保持するテーブルと、該フレーム及び該テープを介して該テーブルに保持された該ワークピースの該第１面又は該第１面とは反対側の第２面に光を照射する光源と、該第１面と該第２面とのうちの該光源により光が照射されていない一方を撮像して画像を生成するカメラと、該カメラで生成された画像に写る２つの隣接する該チップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、該閾値で分けられる該輝度の区分に応じて該画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、該評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、該閾値を変更して該閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含む検査装置が提供される。

【0009】

好ましくは、該閾値変更部によって変更された該閾値が該閾値記憶部に記憶された場合に、該評価画像生成部は、変更された該閾値に対応する該評価画像を再び生成し、該画像表示部は、該評価画像生成部で再び生成された該評価画像を該表示装置に表示させる。また、好ましくは、該閾値変更部は、該表示装置に表示されるスライダーのつまみ部の位置に応じて該閾値を変更する。

【0010】

本発明の別の一側面によれば、上述の検査装置と、該テーブルに該フレームが保持された状態で該テープを拡張するテープ拡張ユニットと、を含むテープ拡張装置が提供される。

【発明の効果】

【0011】

分割された後の板状のワークピースの第１面又は第２面に光を照射し、その反対側からワークピースを撮影して画像を生成すると、この画像に写る２つの隣接するチップの間の画素の輝度は、チップの間隔に依存することになる。例えば、チップの間隔が大きいと、チップの間の画素の輝度は高くなり、チップの間隔が小さいと、チップの間の画素の輝度は低くなる。

【0012】

このような前提の下、本発明の一側面にかかる検査装置は、カメラで生成された画像に写る２つの隣接するチップの間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部と、閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価画像を生成する評価画像生成部と、評価画像を表示装置に表示させる画像表示部と、閾値を変更して閾値記憶部に記憶させる閾値変更部と、を含んでいる。

【0013】

よって、この検査装置は、任意の閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価画像を生成し、表示装置に表示させることができる。すなわち、検査装置は、基準となるチップの間隔に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価画像を生成し、表示装置に表示させることができる。そして、オペレーターは、表示装置に表示される評価画像に基づいて、隣接するチップの間隔を容易に確認できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、検査装置を含むテープ拡張装置等を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、テープ拡張装置を模式的に示す断面図である。

【図3】図３は、検査装置を構成する制御ユニットの機能的な構造の一部を示す機能ブロック図である。

【図4】図４は、複数のチップへと分割された後のワークピースを撮影して画像を取得する様子を模式的に示す断面図である。

【図5】図５は、生成される画像の例を模式的に示す図である。

【図6】図６は、タッチスクリーンに表示されるスライダー及び評価用の画像の例を模式的に示す図である。

【図7】図７は、タッチスクリーンに表示されるスライダー及び評価用の画像の別の例を模式的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態の検査装置２を含むテープ拡張装置４等を模式的に示す斜視図であり、図２は、テープ拡張装置４等を模式的に示す断面図である。なお、図１では、検査装置２及びテープ拡張装置４の一部の要素が機能ブロックで示されている。

【0016】

図１に示すように、本実施形態の検査装置２が検査の対象とする板状のワークピース１１は、例えば、シリコンやサファイア等の材料でなる円盤状のウェーハである。このワークピース１１の表面（第２面）１１ａ側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＥＤ（Light Emitting Diode）等のデバイスが形成されている。

【0017】

ワークピース１１は、分割の際の起点となるように分割予定ラインにおいて改質されており、この分割予定ラインに対応する領域は、他の領域に比べて脆くなっている。そのため、外部からワークピース１１に力を加えれば、ワークピース１１は、分割予定ラインに沿って複数のチップへと分割される。なお、ワークピース１１を分割予定ラインで改質する際には、ワークピース１１を透過する波長のレーザービームを対象の領域に集光させる方法が用いられる。

【0018】

例えば、このワークピース１１の裏面（第１面）１１ｂ側には、力を加えると拡張する性質（拡張性）を持つエキスパンドテープ（テープ）１３が貼付されている。また、エキスパンドテープ１３の外周部には、ワークピース１１を囲む環状のフレーム１５が貼付されている。つまり、エキスパンドテープ１３の直径及びフレーム１５の中央に位置する開口部の直径は、ワークピース１１の直径よりも大きい。このように、本実施形態では、ワークピース１１がエキスパンドテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。

【0019】

なお、ワークピース１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、他のセラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板をワークピース１１として用いることもできる。同様に、ワークピース１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。ワークピース１１には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、エキスパンドテープ１３は、ワークピース１１の表面１１ａ側に貼付されても良い。

【0020】

本実施形態のテープ拡張装置４は、上述のエキスパンドテープ１３を拡張する際に用いられる。エキスパンドテープ１３を拡張すると、ワークピース１１には、このエキスパンドテープ１３から力が加わり、ワークピース１１は、複数のチップへと分割される。そして、本実施形態の検査装置２は、ワークピース１１を分割予定ラインに沿って分割することで得られる２つの隣接するチップの間隔を確認（検査）する際に用いられる。

【0021】

図１及び図２に示すように、本実施形態のテープ拡張装置４は、例えば、このテープ拡張装置４（検査装置２）を構成する種々の要素を支持する基台６を備えている。基台６には、図２に示すように、基台６の上面６ａで円形に開口する孔（凹部）６ｂが形成されており、孔６ｂには、エキスパンドテープ１３を拡張できるテープ拡張ユニット８の拡張ドラム１０が部分的に挿入されている。

【0022】

拡張ドラム１０は、円筒状のドラム部１０ａと、ドラム部１０ａの外側の側面から突出する環状のフランジ部１０ｂと、を備えている。ドラム部１０ａの外側の側面の直径（外径）は、孔６ｂの直径よりも僅かに小さく、また、フレーム１５の中央に位置する開口部の直径（内径）よりも小さく、更に、ドラム部１０ａの内側の側面の直径（内径）は、ワークピース１１の直径よりも大きい。

【0023】

フランジ部１０ｂより下方に位置するドラム部１０ａの一部は、基台６の上面６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに拡張ドラム１０を回転させることができる状態で孔６ｂに挿入されている。なお、ドラム部１０ａは、フランジ部１０ｂの下面が基台６の上面６ａと接触するように孔６ｂに挿入される。

【0024】

フランジ部１０ｂの上面には、拡張ドラム１０とともにテープ拡張ユニット８を構成する昇降機構１２が配置されている。昇降機構１２は、例えば、流体を利用するアクチュエーターであり、フランジ部１０ｂの上面に下部が固定される筒状のシリンダーケース１４と、上部が露出するようにシリンダーケース１４に挿入されるピストンロッド１６と、を備えている。

【0025】

例えば、外部からシリンダーケース１４に流体を供給したり、シリンダーケース１４から外部に流体を排出したりすることで、ピストンロッド１６を上下に移動させることができる。なお、アクチュエーターに利用される流体には、空気等の気体や、オイル等の液体がある。本実施形態のテープ拡張装置４は、このテープ拡張ユニット８と検査装置２とで構成されている。

【0026】

ピストンロッド１６の上端部には、フレーム１５を保持できる環状のテーブル１８が固定されている。テーブル１８の中央に位置する開口部の直径（内径）は、ドラム部１０ａの外側の側面の直径よりも大きく、ドラム部１０ａの上部は、テーブル１８の開口部内に配置されている。そのため、昇降機構１２のピストンロッド１６を上下に移動させると、ドラム部１０ａの上部がテーブル１８の開口部内に配置された状態で、拡張ドラム１０に対するテーブル１８の高さが変化する。

【0027】

テーブル１８の外周部には、テーブル１８の上面に載せられるフレーム１５を固定するための複数のクランプ２０が設けられている。フレーム１５は、例えば、ワークピース１１の表面１１ａが上を向くようにテーブル１８の上面に載せられ、複数のクランプ２０でテーブル１８に固定される。なお、ワークピース１１の表面１１ａが下を向くようにフレーム１５をテーブル１８に固定することもできる。

【0028】

例えば、フレーム１５がテーブル１８に固定された状態で、昇降機構１２によりテーブル１８を下降させれば、ドラム部１０ａの上端部で突き上げるようにしてエキスパンドテープ１３を拡張できる。ワークピース１１は分割予定ラインで改質されており、ワークピース１１の分割予定ラインに対応する領域は、他の領域に比べて脆い。よって、エキスパンドテープ１３を拡張すると、ワークピース１１に力が加わり、ワークピース１１は、分割予定ラインに沿って複数のチップへと分割される。

【0029】

図１に示すように、拡張ドラム１０の近傍には、モーター等の回転機構２２と、この回転機構２２に連結され基台６の上面６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに回転するプーリー２４と、が配置されている。プーリー２４及びフランジ部１０ｂの外周面には、無端ベルト２６が架けられている。回転機構２２によってプーリー２４を回転させることで、テープ拡張ユニット８と、テーブル１８と、を基台６の上面６ａに対して概ね垂直な回転軸の周りに回転させることができる。

【0030】

また、拡張ドラム１０の近傍には、昇降機構２８が配置されている。昇降機構２８は、例えば、流体を利用するアクチュエーターであり、基台６に固定される筒状のシリンダーケース３０と、一端側が露出するように他端側がシリンダーケース１４に挿入されるＬ字状の支持アーム３２と、を備える。例えば、シリンダーケース３０に流体を供給したり、シリンダーケース３０から流体を排出したりすることで、支持アーム３２を上下に移動させることができる。

【0031】

支持アーム３２の一端部には、フレーム１５及びエキスパンドテープ１３を介してテーブル１８に保持されるワークピース１１の上を向いた表面１１ａ（又は裏面１１ｂ）を撮影して画像（画像のデータ）を生成できるカメラ３４が固定されている。このカメラ３４は、表面１１ａ（又は裏面１１ｂ）の全体が写った画像を生成できるように、例えば、ドラム部１０ａより内側の領域の直上に配置される。

【0032】

カメラ３４の具体的な構造に制限はない。例えば、ワークピース１１を透過し難い任意の波長の光に感度を持つＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサーやＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサー等の２次元光センサーと、レンズと、を備えるカメラ３４を用いることができる。

【0033】

ドラム部１０ａの内側には、テーブル１８に保持されるワークピース１１に下方から光を照射できる光源３６が配置されている。光源３６は、代表的には、ワークピース１１を透過し難い任意の波長の光を放射できるＬＥＤである。また、この光源３６は、光が照射される裏面１１ｂ（又は表面１１ａ）の全体で概ね均一な照度を実現できるように構成されることが望ましい。

【0034】

テープ拡張装置４（検査装置２）を構成する昇降機構１２、回転機構２２、昇降機構２８、カメラ３４、光源３６等の要素は、それぞれ、制御ユニット３８に接続されている。制御ユニット３８は、例えば、処理装置と、記憶装置と、を含むコンピュータによって構成され、エキスパンドテープ１３の拡張や、チップの間隔の確認に必要な一連の工程に合わせて、上述した各要素を制御する。

【0035】

処理装置は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）であり、上述した要素を制御するために必要な種々の処理を行う。記憶装置は、例えば、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含む。この制御ユニット３８の機能は、例えば、記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置が動作することによって実現される。ただし、制御ユニット３８の機能は、ハードウェアのみによって実現されても良い。

【0036】

制御ユニット３８には、更に、ユーザーインターフェースとなるタッチスクリーン（表示装置、入力装置）４０が接続されている。タッチスクリーン４０には、例えば、制御ユニット３８から送られる画像等が表示される。また、例えば、チップの間隔の確認に利用される情報は、このタッチスクリーン４０を介して制御ユニット３８に入力される。

【0037】

なお、表示装置と入力装置とが一体になったタッチスクリーン４０の代わりに、液晶ディスプレイ等の表示装置と、キーボードやマウス等の入力装置と、がそれぞれ制御ユニット３８に接続されても良い。また、表示装置と入力装置とは、テープ拡張装置４（検査装置２）を構成する要素である必要はなく、テープ拡張装置４（検査装置２）の外部に設けられることがある。例えば、スマートフォン等を表示装置や入力装置として代用しても良い。

【0038】

図３は、検査装置２を構成する制御ユニット３８の機能的な構造の一部を示す機能ブロック図である。図３に示すように、制御ユニット３８は、複数のチップへと分割された後のワークピース１１が写った画像を取得できるように各要素の動作を制御する画像取得部３８ａを含む。例えば、オペレーターがタッチスクリーン４０等を用いてチップの間隔を確認（検査）する旨の指示を制御ユニット３８に入力すると、画像取得部３８ａは、各要素の動作を制御して、ワークピース１１が写った画像を取得する。

【0039】

図４は、複数のチップ１７へと分割された後のワークピース１１を撮影して画像を取得する様子を模式的に示す断面図である。画像取得部３８ａは、まず、光源３６への電力の供給を制御して、この光源３６に光２１を放射させる。例えば、光源３６から放射された光２１の一部は、エキスパンドテープ１３を透過し、ワークピース１１の下を向いた裏面１１ｂに照射される。

【0040】

ワークピース１１内で互いに隣接する２つのチップ１７の間には、隙間１９が形成されている。よって、エキスパンドテープ１３を透過した光２１の一部は、隙間１９を通過して上方のカメラ３４に入射する。一方で、ワークピース１１の裏面１１ｂに照射された光２１の大部分は、ワークピース１１を透過せず、カメラ３４に入射しない。

【0041】

この状態で、画像取得部３８ａは、カメラ３４等の動作を制御して、ワークピース１１の上を向いた表面１１ａの全体をカメラ３４に撮影させる。つまり、光２１が照射されていない表面１１ａの全体がカメラ３４により撮影される。これにより、カメラ３４は、ワークピース１１の表面１１ａの全体が写った画像を生成できる。

【0042】

図５は、カメラ３４により生成される画像２３の例を模式的に示す図である。なお、図５では、説明の便宜上、画像２３内のチップ１７に対応する暗い領域が白色で表され、画像２３内の隣接するチップ１７の隙間１９に対応する明るい領域が黒色で表されている。つまり、画像２３内のワークピース１１に対応する領域では、明暗が反転されている。取得された画像２３は、カメラ３４から制御ユニット３８へと送られ、制御ユニット３８の画像記憶部３８ｂに記憶される。

【0043】

図４に示すように、制御ユニット３８は、カメラ３４により生成される画像２３を加工して評価用の画像（評価画像）を生成する評価画像生成部３８ｃを含む。評価画像生成部３８ｃは、例えば、画像２３内のチップ１７の隙間１９に対応する明るい領域を抽出し、この隙間１９に対応する領域を構成する画素（つまり、隣接するチップ１７の間の画素）の輝度の大きさに応じて、各画素に色を付す。

【0044】

制御ユニット３８は、各画素の輝度の大きさを判定する際に用いられる１又は複数の閾値（輝度の閾値）を記憶する閾値記憶部３８ｄを含んでいる。評価画像生成部３８ｃは、例えば、予め閾値記憶部３８ｄに記憶されている閾値を参照し、各画素の輝度と閾値とを比較して、各画素の輝度が、閾値で分けられる複数の区分（輝度の区分）のいずれに属するかを判定する。

【0045】

例えば、ある画素の輝度が、閾値記憶部３８ｄに記憶された閾値以上の大きさ（又は閾値を超える大きさ）の第１区分に属する場合に、評価画像生成部３８ｃは、この画素に第１色を付す。また、ある画素の輝度が、閾値未満の大きさ（又は閾値以下の大きさ）の第２区分に属する場合に、評価画像生成部３８ｃは、この画素に第１色とは異なる第２色を付す。なお、画素に付される第１色や第２色は、オペレーターが容易に区別できるように選択されることが望ましい。

【0046】

閾値記憶部３８ｄに異なる複数の閾値が記憶されている場合の処理も、同様である。例えば、閾値記憶部３８ｄに異なる２つの閾値が記憶されている場合には、評価画像生成部３８ｃは、２つの閾値で分けられる３つの区分に応じて、対象の画素に異なる３つの色のいずれかを付す。

【0047】

なお、閾値記憶部３８ｄには、対象の画素の性質や属性に応じて選択的に適用される複数の閾値が記憶されても良い。例えば、互いに交差する複数の分割予定ラインが設定されているワークピース１１を分割すると、第１方向に延びる分割予定ラインに沿う隙間１９と、第１方向に対して交差する第２方向に延びる分割予定ラインに沿う隙間１９と、が形成されることになる。

【0048】

このような場合には、第１方向に延びる隙間１９と、第２方向に延びる隙間１９と、に異なる基準を適用して隣接するチップの間隔を評価したいことがある。そこで、第１方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に適用される閾値と、第２方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に適用される閾値と、をそれぞれ閾値記憶部３８ｄに記憶させる。これにより、隣接するチップの間隔をより適切に評価できるようになる。

【0049】

評価画像生成部３８ｃで生成される評価用の画像は、元の画像２３と同様に、画像記憶部３８ｂに記憶される。制御ユニット３８は、評価用の画像等をタッチスクリーン４０に表示させる画像表示部３８ｅを含む。画像表示部３８ｅは、例えば、評価用の画像が画像記憶部３８ｂに記憶される度に、記憶された評価用の画像をタッチスクリーン４０に表示させる。

【0050】

制御ユニット３８は、評価用の画像を生成する際に用いられる閾値を変更して閾値記憶部３８ｄに記憶させる閾値変更部３８ｆを更に含む。例えば、オペレーターがタッチスクリーン４０を用いて変更後の新たな閾値に関する情報を制御ユニット３８に入力すると、閾値変更部３８ｆは、この情報に基づき、既に記憶されている閾値を置き換えるように変更後の閾値を閾値記憶部３８ｄに記憶させる。

【0051】

なお、画像表示部３８ｅは、閾値変更部３８ｆの指示に基づき、閾値に関する情報を入力する際に用いられる入力欄をタッチスクリーン４０に表示させる。本実施形態では、入力欄として、つまみ部を直線的に移動させることで値を選択（変更）できるスライダーが採用される。すなわち、閾値変更部３８ｆは、スライダーのつまみ部の位置に応じて閾値を変更する。ただし、画像表示部３８ｅは、数値等を直に入力できる入力欄をタッチスクリーン４０に表示させても良い。

【0052】

閾値変更部３８ｆによって変更後の閾値が閾値記憶部３８ｄに記憶されると、評価画像生成部３８ｃは、変更後の閾値を用いて評価用の画像を再び生成する。変更後の閾値を用いて再び生成された評価用の画像は、同様に、画像記憶部３８ｂに記憶される。そして、画像表示部３８ｅは、この評価用の画像をタッチスクリーン４０に表示させる。

【0053】

図６は、タッチスクリーン４０に表示されるスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ、及び評価用の画像（評価画像）２５の例を模式的に示す図である。タッチスクリーン４０の表示領域４０ａには、図６に示すように、４種類のスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄが表示されている。

【0054】

例えば、スライダー２７ａは、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第１閾値を変更する際に用いられ、スライダー２７ｃは、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第２閾値を変更する際に用いられる。つまり、図６の例では、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する２つの閾値が閾値記憶部３８ｄに記憶されている。

【0055】

また、例えば、スライダー２７ｂは、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第３閾値を変更する際に用いられ、スライダー２７ｄは、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する第４閾値を変更する際に用いられる。つまり、図６の例では、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素に関する２つの閾値が閾値記憶部３８ｄに記憶されている。

【0056】

図６に示すように、４つの閾値の全てが２０．０に設定された状態では、隙間１９に対応する領域の全ての画素２５ａに同じ第１色（例えば、緑色）が付された画像２５が生成される。これは、隙間１９に対応する領域の全ての画素２５ａの輝度が、例えば、各閾値（２０．０）以上の大きさの区分に属していることを示す。なお、図６では、説明の便宜上、画素２５ａに第１色が付された様子が実線で表現されている。

【0057】

次に、オペレーターがスライダー２７ａのつまみ部を移動させて、第１閾値が５０．０に変更された場合を想定する。図７は、この場合にタッチスクリーン４０に表示されるスライダー２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ、及び評価用の画像（評価画像）２９の例を模式的に示す図である。

【0058】

図７に示すように、第１閾値が５０．０に設定されると、横方向に延びる隙間１９に対応する領域の画素には、第１閾値と第２閾値とで分けられる３つの区分（輝度の区分）に応じて異なる色が付される。例えば、ワークピース１１の主に外周側の領域では、隙間１９に対応する領域の画素２９ａに、第１閾値以上かつ第２閾値以上の区分に属していることを示す第１色（例えば、緑色）が付される。なお、図７では、説明の便宜上、画素２９ａに第１色が付された様子が実線で表現されている。

【0059】

また、例えば、ワークピース１１の主に中央側の領域では、隙間１９に対応する領域の画素２９ｂに、第１閾値と第２閾値との間の区分（つまり、第１閾値未満かつ第２閾値以上の区分）に属していることを示す第２色（例えば、赤色）が付される。図７では、画素２９ｂに第２色が付された様子が破線で表現されている。なお、画像２９内には、第１閾値未満かつ第２閾値未満の区分に属し第３色が付される画素は存在しない。また、縦方向に延びる隙間１９に対応する領域の全ての画素に、第１色が付されている。

【0060】

上述のように、分割された後の板状のワークピース１１の裏面（第１面）１１ｂに光を照射し、その反対側からワークピース１１を撮影して画像２３を生成すると、この画像２３に写る２つの隣接するチップ１７の間の画素の輝度は、隣接するチップ１７の間隔に依存する。例えば、隣接するチップ１７の間隔が大きいと、隣接するチップ１７の間の画素の輝度は高くなり、隣接するチップ１７の間隔が小さいと、隣接するチップ１７の間の画素の輝度は低くなる。

【0061】

このような前提の下で、本実施形態にかかる検査装置２は、カメラ３４で生成された画像２３に写る２つの隣接するチップ１７の間の画素の輝度の閾値を記憶する閾値記憶部３８ｄと、閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップの間の画素に異なる色が付された評価用の画像（評価画像）２５、２９を生成する評価画像生成部３８ｃと、評価用の画像２５、２９をタッチスクリーン（表示装置）４０に表示させる画像表示部３８ｅと、閾値を変更して閾値記憶部３８ｄに記憶させる閾値変更部３８ｆと、を含んでいる。

【0062】

よって、本実施形態の検査装置２は、任意の閾値で分けられる輝度の区分に応じてチップ１７の間の画素に異なる色が付された評価用の画像２５、２９を生成し、タッチスクリーン４０に表示させることができる。すなわち、検査装置２は、基準となるチップ１７の間隔に応じてチップ１７の間の画素に異なる色が付された評価用の画像２５、２９を生成し、タッチスクリーン４０に表示させることができる。そして、オペレーターは、タッチスクリーン４０に表示される評価用の画像２５、２９に基づいて、隣接するチップ１７の間隔を容易に確認できる。

【0063】

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、ワークピース１１が分割予定ラインで改質されており、このワークピース１１に力を加えることで、ワークピース１１が複数のチップ１７へと分割される場合を例に挙げて説明したが、本発明の検査装置２は、任意の方法で複数のチップへと分割されたワークピース内の隣接するチップの間隔を確認する際に用いることができる。

【0064】

その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0065】

２ ：検査装置
４ ：テープ拡張装置
６ ：基台
６ａ ：上面
６ｂ ：孔（凹部）
８ ：テープ拡張ユニット
１０ ：拡張ドラム
１０ａ ：ドラム部
１０ｂ ：フランジ部
１２ ：昇降機構
１４ ：シリンダーケース
１６ ：ピストンロッド
１８ ：テーブル
２０ ：クランプ
２２ ：回転機構
２４ ：プーリー
２６ ：無端ベルト
２８ ：昇降機構
３０ ：シリンダーケース
３２ ：支持アーム
３４ ：カメラ
３６ ：光源
３８ ：制御ユニット
３８ａ ：画像取得部
３８ｂ ：画像記憶部
３８ｃ ：評価画像生成部
３８ｄ ：閾値記憶部
３８ｅ ：画像表示部
３８ｆ ：閾値変更部
４０ ：タッチスクリーン（表示装置、入力装置）
４０ａ ：表示領域
１１ ：ワークピース
１１ａ ：表面（第２面）
１１ｂ ：裏面（第１面）
１３ ：エキスパンドテープ（テープ）
１５ ：フレーム
１７ ：チップ
１９ ：隙間
２１ ：光
２３ ：画像
２５ ：評価用の画像（評価画像）
２５ａ ：画素
２７ａ ：スライダー
２７ｂ ：スライダー
２７ｃ ：スライダー
２７ｄ ：スライダー
２９ ：評価用の画像（評価画像）
２９ａ ：画素
２９ｂ ：画素

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】